半导体炉管机台加热器制造技术

本技术提供半导体炉管机台加热器，该半导体炉管机台加热器，包括加热器外框，加热器外框内部设置有电阻丝元件组，加热器外框顶部设置有顶部连接件，加热器外框底部设置有底部连接件，加热器外框内部设置有用于电阻丝元件组的报警机构，报警机构包括安装杆，安装杆一侧外壁分别固定连接有烟雾报警器和温度感应器。本技术提供的半导体炉管机台加热器解决了现有半导体炉管机台加热器使用时，其内部的电阻丝容易发生烧坏和熔断的情况，然而该加热器内部不具备温度感应装置，使得加热器内部电阻丝燃烧不便于被机台自身检测到，也不便于工作人员第一时间进行处理，容易造成炉管机台加热器损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体炉管加热器，具体为半导体炉管机台加热器。

技术介绍

1、半导体炉管机台被广泛地应用于半导体制造产业，该种设备的加热器通常为整体结构，其电阻丝结构普遍采用水平环绕、串联式结构。

2、授权公告号：cn109951906a公开了半导体炉管机台加热器，该半导体炉管机台加热器将现有加热器整体更换的模式变更为每个电阻丝元件可独立拆卸和更换，通过设置多个外部接点，便于查找电阻丝故障部位，也便于检测、安装和拆卸，该半导体炉管机台加热器使用时，其内部的电阻丝容易发生烧坏和熔断的情况，然而该加热器内部不具备温度感应装置，使得加热器内部电阻丝燃烧不便于被机台自身检测到，也不便于工作人员第一时间进行处理，容易造成炉管机台加热器的损坏。

3、因此，有必要提供新的半导体炉管机台加热器解决上述技术问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术提供具有检测到炉管机台加热器内部温度异常的半导体炉管机台加热器。

2、本技术提供的半导体炉管机台加热器，包括加热器外框，所述加热器外框内部设置有电阻丝元件组，所述加热器外框顶部设置有顶部连接件，所述加热器外框底部设置有底部连接件，所述加热器外框内部设置有用于电阻丝元件组的报警机构。

3、所述报警机构包括安装杆，所述安装杆一侧外壁分别固定连接有烟雾报警器和温度感应器，所述加热器外框内部开设有安装孔，所述安装杆延伸出加热器外框一端固定连接有封板，所述封板一侧外壁固定有报警器，所述封板一侧外壁固定连接有拉环。</p>

4、为了达到对加热器外框内部多处电阻丝元件组进行温度异常检测的效果，作为本技术提供半导体炉管机台加热器，优选的，所述报警机构设置有若干个，若干个所述报警机构位于加热器外框内部呈左右对称分布。

5、为了达到防止电阻丝元件组产生高温热量发生泄漏的效果，作为本技术提供半导体炉管机台加热器，优选的，所述加热器外框在安装孔内壁固定有隔热板，所述隔热板内部开设有通孔，所述通孔尺寸与安装杆尺寸相适配，所述通孔内壁与安装杆外壁活动连接。

6、为了达到对安装杆进行安装固定的效果，作为本技术提供半导体炉管机台加热器，优选的，所述加热器外框在安装孔内壁固定连接有固定环，所述固定环内壁固定连接有弹性环，所述安装杆外壁固定连接有弹性圈，所述弹性圈一侧外壁与弹性环一侧外壁活动连接，所述弹性环内壁与安装杆外壁活动连接。

7、为了达到对弹性圈进行限位的效果，作为本技术提供半导体炉管机台加热器，优选的，所述安装孔内部、位于安装杆外表面固定连接有限位板，所述限位板一侧外壁均与弹性环外壁和固定环外壁活动连接。

8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

9、该半导体炉管机台加热器，通过采用报警机构，将安装杆插入加热器外框开设的安装孔内，通过烟雾报警器和温度感应器能检测到加热器外框内部电阻丝元件组区域的温度变化和烟尘量变化，在炉管机台出现温度异常和烟雾异常时能第一时间感应到，并通过报警器发生的声音提醒工作人员，以便工作人员第一时间进行处理，降低加热器外框内电阻丝元件组的损坏程度，解决了现有半导体炉管机台加热器使用时，其内部的电阻丝容易发生烧坏和熔断的情况，然而该加热器内部不具备温度感应装置，使得加热器内部电阻丝燃烧不便于被机台自身检测到，也不便于工作人员第一时间进行处理，容易造成炉管机台加热器损坏的问题。

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【技术保护点】

1.半导体炉管机台加热器，其特征在于：包括加热器外框（1），所述加热器外框（1）内部设置有电阻丝元件组（2），所述加热器外框（1）顶部设置有顶部连接件（3），所述加热器外框（1）底部设置有底部连接件（4），所述加热器外框（1）内部设置有用于电阻丝元件组（2）的报警机构；

2.根据权利要求1所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于：所述报警机构设置有若干个，若干个所述报警机构位于加热器外框（1）内部呈左右对称分布。

3.根据权利要求1所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于：所述加热器外框（1）在安装孔（104）内壁固定有隔热板（108），所述隔热板（108）内部开设有通孔（109），所述通孔（109）尺寸与安装杆（101）尺寸相适配，所述通孔（109）内壁与安装杆（101）外壁活动连接。

4.根据权利要求1所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于：所述加热器外框（1）在安装孔（104）内壁固定连接有固定环（110），所述固定环（110）内壁固定连接有弹性环（111），所述安装杆（101）外壁固定连接有弹性圈（112），所述弹性圈（112）一侧外壁与弹性环（111）一侧外壁活动连接，所述弹性环（111）内壁与安装杆（101）外壁活动连接。

5.根据权利要求4所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于：所述安装孔（104）内部、位于安装杆（101）外表面固定连接有限位板（113），所述限位板（113）一侧外壁均与弹性环（111）外壁和固定环（110）外壁活动连接。

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【技术特征摘要】

1.半导体炉管机台加热器，其特征在于：包括加热器外框（1），所述加热器外框（1）内部设置有电阻丝元件组（2），所述加热器外框（1）顶部设置有顶部连接件（3），所述加热器外框（1）底部设置有底部连接件（4），所述加热器外框（1）内部设置有用于电阻丝元件组（2）的报警机构；

2.根据权利要求1所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于：所述报警机构设置有若干个，若干个所述报警机构位于加热器外框（1）内部呈左右对称分布。

3.根据权利要求1所述的半导体炉管机台加热器，其特征在于：所述加热器外框（1）在安装孔（104）内壁固定有隔热板（108），所述隔热板（108）内部开设有通孔（109），所述通孔（109）尺寸与安装杆（101）尺寸相适配...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭健，陈胜文，王旋，
申请(专利权)人：成都兴合顺新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：