一种用于人工晶体炉的抽气口隔套制造技术

一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，涉及人工晶体制备技术领域，本技术通过在管道主体（1）的内缘面设置保温套管（5），且保温套管的外缘面与管道主体的内缘面之间留有间隙（3），此时管道主体的冷气传导不到保温套管上，本技术通过保温套管隔离由炉底传导至与炉底接触部位管道主体的冷气，有效的避免了挥发物冷凝沉积在此部位的现象等，本技术具有结构简便，使用效果好等特点，适合大范围的推广和应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及人工晶体炉，尤其涉及一种用于人工晶体炉的抽气口隔套。

技术介绍

1、已知的，人工晶体炉在工作过程中大多需要往炉室内通入保护性气体，通过流动的保护性气体将炉室内的挥发物带出炉室，为了使保护性气体在炉室内流通，很多晶体炉都会在炉室的炉底上设置至少一个抽气口隔套，抽气口隔套的下端连通炉底外部的抽气管道。

2、以制备单/多晶硅的晶体炉为例，抽气口隔套设置在晶体炉的炉底上，抽气口隔套的上端向上延伸位于炉室的下部，抽气口隔套的下端连接炉底的下面，在使用时，由于炉底的中部通有冷却水，此时与炉底上冷却水道接触的抽气口隔套的部位受到炉底内冷却水的冷却（炉底内的冷气直接传导至与其连接的抽气口隔套上），此部分的温度会低于抽气口隔套其它部位的温度（主要是低于抽气口隔套上部的温度），此时从炉室内抽出的气体会夹杂一些挥发物和杂质，当挥发物经过抽气口隔套时，由于与炉底接触部分抽气口隔套的温度相对较低，挥发物就会由于冷凝的作用凝结在抽气口隔套的管壁上，久而久之，挥发物在此处越积越多，挥发物沉积后在此处就会形成一个硬壳，严重时还会堵死抽气口隔套，导致抽气口隔套无法工作等。

3、因此，如何提供一种避免挥发物在抽气口隔套中冷凝沉积的抽气口隔套就显得尤为重要。

技术实现思路

1、为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，本技术通过在抽气管的内壁设置保温套管，通过保温套管隔离由炉底传导至与炉底接触部位管道主体的冷气，有效的避免了挥发物冷凝沉积在此部位的现象等。</p>

2、为了实现所述的专利技术目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，包括管道主体和保温套管，所述管道主体的外缘面连接炉底上的抽气口，在管道主体的内缘面设有保温套管，所述保温套管的外缘面与管道主体的内缘面之间留有间隙。

4、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与管道主体连接时的第一结构为在保温套管上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台b，在管道主体内缘面的中上部设有限位凸台a，保温套管插接在管道主体内后限位凸台b的下面与限位凸台a的上面抵接。

5、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与管道主体连接时的第二结构为在保温套管外缘面的中上部设有向外延伸的限位凸台b，在管道主体内缘面的中上部设有限位凸台a，保温套管插接在管道主体内后限位凸台b的下面与限位凸台a的上面抵接。

6、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与管道主体连接时的第三结构为在保温套管上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台b，保温套管插接在管道主体内后限位凸台b的下面与管道主体的上端面抵接。

7、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管的内缘面设有保温内管，所述保温内管的外缘面与保温套管的内缘面之间留有间隙。

8、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管与保温内管的连接形式为在保温内管上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台b，在保温套管内缘面的中上部设有限位凸台a，保温内管插接在保温套管内后限位凸台b的下面与限位凸台a的上面抵接。

9、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述管道主体的外缘面设有定位台阶，所述定位台阶的下面抵接炉底的上面。

10、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温套管上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔。

11、所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，所述保温内管上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔。

12、采用上述技术方案，本技术的有益效果是：

13、本技术通过在管道主体的内缘面设置保温套管，且保温套管的外缘面与管道主体的内缘面之间留有间隙，此时管道主体的冷气传导不到保温套管上，本技术通过保温套管隔离由炉底传导至与炉底接触部位管道主体的冷气，有效的避免了挥发物冷凝沉积在此部位的现象等，本技术具有结构简便，使用效果好等特点，适合大范围的推广和应用。

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【技术保护点】

1.一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，包括管道主体（1）和保温套管（5），其特征是：所述管道主体（1）的外缘面连接炉底（8）上的抽气口，在管道主体（1）的内缘面设有保温套管（5），所述保温套管（5）的外缘面与管道主体（1）的内缘面之间留有间隙（3）。

2.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第一结构为在保温套管（5）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B（6），在管道主体（1）内缘面的中上部设有限位凸台A（2），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台B（6）的下面与限位凸台A（2）的上面抵接。

3.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第二结构为在保温套管（5）外缘面的中上部设有向外延伸的限位凸台B（6），在管道主体（1）内缘面的中上部设有限位凸台A（2），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台B（6）的下面与限位凸台A（2）的上面抵接。

4.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第三结构为在保温套管（5）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B（6），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台B（6）的下面与管道主体（1）的上端面抵接。

5.根据权利要求1～4任一权利要求所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）的内缘面设有保温内管（7），所述保温内管（7）的外缘面与保温套管（5）的内缘面之间留有间隙（3）。

6.根据权利要求5所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与保温内管（7）的连接形式为在保温内管（7）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台B（6），在保温套管（5）内缘面的中上部设有限位凸台A（2），保温内管（7）插接在保温套管（5）内后限位凸台B（6）的下面与限位凸台A（2）的上面抵接。

7.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述管道主体（1）的外缘面设有定位台阶（4），所述定位台阶（4）的下面抵接炉底（8）的上面。

8.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔（9）。

9.根据权利要求5所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温内管（7）上端头的孔口设有下端直径小上端直径大的锥形孔（9）。

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【技术特征摘要】

1.一种用于人工晶体炉的抽气口隔套，包括管道主体（1）和保温套管（5），其特征是：所述管道主体（1）的外缘面连接炉底（8）上的抽气口，在管道主体（1）的内缘面设有保温套管（5），所述保温套管（5）的外缘面与管道主体（1）的内缘面之间留有间隙（3）。

2.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第一结构为在保温套管（5）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台b（6），在管道主体（1）内缘面的中上部设有限位凸台a（2），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台b（6）的下面与限位凸台a（2）的上面抵接。

3.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第二结构为在保温套管（5）外缘面的中上部设有向外延伸的限位凸台b（6），在管道主体（1）内缘面的中上部设有限位凸台a（2），保温套管（5）插接在管道主体（1）内后限位凸台b（6）的下面与限位凸台a（2）的上面抵接。

4.根据权利要求1所述的用于人工晶体炉的抽气口隔套，其特征是：所述保温套管（5）与管道主体（1）连接时的第三结构为在保温套管（5）上端头的外缘面设有向外延伸的限位凸台b...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘万金，
申请(专利权)人：洛阳长缨新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：