一种限制测试机台显微镜载台高度的装置制造方法及图纸

本技术公开了半导体封装测试领域内的一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，包括显微镜，显微镜上设置有固定底座和高度可升降的载台，所述固定底座上设置有限位架，限位架的顶部开设有两个左右对称的通孔，所述载台底部固定设置有两个左右对称的固定螺母，两个固定螺母与两个通孔一一对应设置，每个固定螺母上均螺纹连接有一竖直穿过对应通孔的限位螺栓，限位螺栓的外径小于通孔内径，限位螺栓的螺栓座体位于相应通孔下方，限位螺栓的螺栓座体外径、固定螺母外径均大于通孔内径。本技术采用安装限位架的方式，确保载台在到达安全最高位时，载台无法再上升，防止物镜的镜头刮伤晶圆，可操作性高，实用性强。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于半导体封装测试领域，特别涉及一种限制测试机台显微镜载台高度的装置。

技术介绍

1、cof是运用软质附加电路板作为封装芯片载体将芯片与软性基板电路结合的技术。cof结构简单、可自动生产、减少人工，这些都相对降低了成本，且到目前为止其信赖度仍然比cog高(如：冷热冲击、恒温恒湿等)，这些都是cof构装技术的优点。cof构装将多个ic芯片沿长度方向依次排列设置在软性基板电路（料带）上，而ic芯片是采用晶圆切割制成而来。

2、为了保证ic 芯片的外观结构以及性能参数符合标准，通常采用测试机台的显微镜来观测ic芯片或晶圆的外观结构，不同镜头倍率下，显微镜通过调整载台的高度、聚焦，可使镜头清楚的看到ic芯片或晶圆表面，但是因ic芯片或晶圆产品的规格具有多样性，镜头倍率较多，显微镜无法做到统一限制最高位，存在弊端：1.在人员使用时，存在疏忽，将显微镜载台高度调节过高，导致镜头刮伤晶圆的风险；2.高度调节过高，会损坏显微镜内部的零件。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，采用安装限位架的方式，确保载台在到达安全最高位时，载台无法再上升，防止物镜的镜头刮伤晶圆，可操作性高，实用性强。

2、本技术的目的是这样实现的：一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，包括显微镜，显微镜上设置有固定底座和高度可升降的载台，所述固定底座上设置有限位架，限位架的顶部开设有两个左右对称的通孔，所述载台底部固定设置有两个左右对称的固定螺母，两个固定螺母与两个通孔一一对应设置，每个固定螺母上均螺纹连接有一竖直穿过对应通孔的限位螺栓，限位螺栓的外径小于通孔内径，限位螺栓的螺栓座体位于相应通孔下方，限位螺栓的螺栓座体外径、固定螺母外径均大于通孔内径。

3、本技术通过在显微镜的固定底座上打孔，安装不锈钢的限位架，在限位架顶部开两个圆孔，两根限位螺栓外周套设至少1个限位螺母，将限位螺栓穿过通孔锁在显微镜载台底部固定螺母上，显微镜载台升至最高安全位，限位螺母顶住限位架，载台受限于限位架，无法再升高。与现有技术相比，本技术的有益效果在于：根据载台可以升高的距离，可以增减限位螺栓外周的限位螺母数量；采用安装限位架的方式，确保载台在到达安全最高位时，载台无法再上升，防止物镜的镜头刮伤晶圆，可操作性高，实用性强。本技术用于晶圆测试机台的显微镜上。

4、作为本技术的进一步改进，所述限位架包括两个左右对称的l形支撑架体，支撑架体的水平部通过紧固螺丝与固定底座相固定连接，两个支撑架体上安装有倒u形升降架体，所述通孔开设在升降架体的水平板上。

5、为了便于调节升降架体的高度位置，所述升降架体的两竖直板位于两个支撑架体的竖直部之间，升降架体的两竖直板上均开设有竖直的腰型槽，支撑架体竖直部通过调节螺栓与升降架体的对应竖直板相固定，调节螺栓依次穿过对应支撑架体竖直部、腰型槽设置，调节螺栓端部套设有压紧升降架体对应竖直板的调节螺母。松开调节螺母后，可以调整升降架体的高度位置，再用调节螺栓、调节螺母将升降架体与支撑架体相固定，可以适应不同安全升降行程的显微镜。

6、为了微调载台的升降距离，所述限位螺栓外周套设有至少一个限位螺母，限位螺母支撑在限位螺栓的螺栓座体上，限位螺母外径大于通孔内径。

7、作为本技术的进一步改进，所述显微镜上设置有观察载台上晶圆或ic的目镜。目镜、物镜配合观察载台上晶圆或ic。

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【技术保护点】

1.一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，包括显微镜，显微镜上设置有固定底座和高度可升降的载台，其特征在于，所述固定底座上设置有限位架，限位架的顶部开设有两个左右对称的通孔，所述载台底部固定设置有两个左右对称的固定螺母，两个固定螺母与两个通孔一一对应设置，每个固定螺母上均螺纹连接有一竖直穿过对应通孔的限位螺栓，限位螺栓的外径小于通孔内径，限位螺栓的螺栓座体位于相应通孔下方，限位螺栓的螺栓座体外径、固定螺母外径均大于通孔内径。

2.根据权利要求1所述的一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，其特征在于，所述限位架包括两个左右对称的L形支撑架体，支撑架体的水平部通过紧固螺丝与固定底座相固定连接，两个支撑架体上安装有倒U形升降架体，所述通孔开设在升降架体的水平板上。

3.根据权利要求2所述的一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，其特征在于，所述升降架体的两竖直板位于两个支撑架体的竖直部之间，升降架体的两竖直板上均开设有竖直的腰型槽，支撑架体竖直部通过调节螺栓与升降架体的对应竖直板相固定，调节螺栓依次穿过对应支撑架体竖直部、腰型槽设置，调节螺栓端部套设有压紧升降架体对应竖直板的调节螺母。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，其特征在于，所述限位螺栓外周套设有至少一个限位螺母，限位螺母支撑在限位螺栓的螺栓座体上，限位螺母外径大于通孔内径。

5.根据权利要求1-3任一项所述的一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，其特征在于，所述显微镜上设置有观察载台上晶圆或IC的目镜。

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【技术特征摘要】

1.一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，包括显微镜，显微镜上设置有固定底座和高度可升降的载台，其特征在于，所述固定底座上设置有限位架，限位架的顶部开设有两个左右对称的通孔，所述载台底部固定设置有两个左右对称的固定螺母，两个固定螺母与两个通孔一一对应设置，每个固定螺母上均螺纹连接有一竖直穿过对应通孔的限位螺栓，限位螺栓的外径小于通孔内径，限位螺栓的螺栓座体位于相应通孔下方，限位螺栓的螺栓座体外径、固定螺母外径均大于通孔内径。

2.根据权利要求1所述的一种限制测试机台显微镜载台高度的装置，其特征在于，所述限位架包括两个左右对称的l形支撑架体，支撑架体的水平部通过紧固螺丝与固定底座相固定连接，两个支撑架体上安装有倒u形升降架体，所述通孔开设在升降架体的水平板上。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈飞，蔡寅宇，王徐，邱桐，
申请(专利权)人：江苏汇成光电有限公司，
类型：新型
国别省市：