【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅加工，尤其涉及一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置。
技术介绍
1、碳化硅晶片是一种用于led固体照明和高频率器件制造的材料，碳化硅晶片的生产过程包括晶锭滚磨、多线切割、研磨倒角、晶片抛光、晶片清洗以及晶片最终检测等步骤，而晶片抛光作为其中最为重要的步骤之一，其抛光质量直接影响碳化硅晶片后续使用时的质量。
2、现有碳化硅晶片抛光技术大多都是使碳化硅晶片与抛光轮同向转动，利用其二者之间的相互摩擦完成对碳化硅晶片的抛光，但此类抛光技术对不同直径的碳化硅晶片进行抛光时，碳化硅晶片的边缘速度存在不同的情况，而碳化硅晶片边缘与抛光轮之间的相对速度的变化会引起抛光效果差或过热的问题，严重时会导致碳化硅晶片损坏。
技术实现思路
1、为了克服现有碳化硅晶片抛光技术在抛光过程中存在碳化硅晶片边缘速度不同的情况，从而使得碳化硅晶片的抛光效果差或时碳化硅晶片过热，严重时损坏碳化硅晶片的缺点，本专利技术提供了一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置。
2、为解决上述的技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，包括有架体，所述架体固接有第一支架和第一电动推杆并滑动连接有第三支架，所述第一支架固接有第二支架，所述第二支架转动连接有与所述第一支架转动连接的第一转轴，所述第一转轴固接有下板，所述第二支架设置有与所述第一转轴连接的第一齿轮组，所述第三支架安装有驱动电机，所述驱动电机的输出轴固接有第一传动件，所述第一支架固接有镜像布置的限位框，镜像布置的所述限位
3、作为一种优选，所述第一传动件为圆台形，且所述传动轴的轴线和所述第二传动件的轴线均与所述第一传动件靠近所述移动架一侧的母线平行。
4、作为一种优选，所述夹持机构包括有液压推杆，所述液压推杆安装于所述架体的上侧，所述液压推杆的伸缩端固接有与所述架体滑动连接的移动件，所述移动件内滑动连接有滑动杆，所述移动件与所述滑动杆之间固接有弹性元件，所述滑动杆远离所述液压推杆的一端转动连接有上板。
5、作为一种优选，所述移动机构包括有支撑架，所述支撑架滑动连接于所述架体，所述支撑架与所述第三支架固接，所述支撑架靠近所述液压推杆的一侧固接有固定壳，所述固定壳滑动连接有导向板，所述导向板设置有外壳，所述外壳与所述抛光轮转动连接，所述第三支架设置有用于使所述导向板移动的传动组件。
6、作为一种优选，所述传动组件包括有圆盘，所述圆盘转动连接于所述第三支架的一侧，所述第三支架靠近所述圆盘的一侧设置有第二齿轮组，所述圆盘和所述第二转轴通过所述第二齿轮组传动，所述导向板与所述圆盘之间铰接有连杆，且所述连杆与所述圆盘的铰接处位于所述圆盘的偏心位置。
7、作为一种优选，所述连杆与所述圆盘的铰接处距所述圆盘轴线之间的距离大于所述抛光轮母线长度的一半。
8、作为一种优选，还包括有用于使所述外壳发生偏转的偏转机构，所述偏转机构设置于所述外壳，所述导向板和所述外壳滑动连接，所述偏转机构包括有镜像布置的限位柱，镜像布置的所述限位柱均固接于所述外壳的一侧，所述固定壳靠近所述外壳的一侧固接有限位板，所述限位板设置有第一限位槽和第二限位槽，所述第一限位槽和所述第二限位槽分别与相邻的所述限位柱配合，所述移动杆与所述抛光轮之间固接有万向轴，所述第二支架设置有用于对待加工物进行定心的定心机构。
9、作为一种优选，所述第一限位槽和所述第二限位槽均由限位直槽和镜像布置的限位弧形槽组成，且所述第一限位槽限位弧形槽的弧度小于所述第二限位槽限位弧形槽的弧度。
10、作为一种优选，所述导向板为弧形板，且所述导向板的圆心、所述第一限位槽限位弧形槽的圆心和所述第二限位槽限位弧形槽的圆心均位于所述抛光轮靠近所述第二支架一侧母线中心点的切线上。
11、作为一种优选，所述定心机构包括有第二电动推杆，所述第二电动推杆安装于所述第二支架，所述第二电动推杆的伸缩端固接有滑动板，所述滑动板与所述第一转轴滑动连接，所述滑动板远离所述第一转轴的一侧固接有环形阵列的限位件，所述第二支架转动连接有环形阵列的定位杆，所述定位杆设置有直限位槽，所述限位件与相邻所述定位杆的直限位槽配合。
12、本专利技术相对于现有技术最少具有以下种类的有益效果：本专利技术通过改变第二传动件与第一传动件的传动比，使得碳化硅晶片边缘处的速度和抛光轮边缘处的速度始终保持相互对应，防止抛光轮在抛光过程中其边缘处的速度和抛光轮边缘处的速度不同而导致碳化硅晶片发生损坏，以此加强对碳化硅晶片在抛光过程中的保护并提高抛光质量；利用弹性元件形变产生的弹力对碳化硅晶片施加下压力，避免使用硬性力对碳化硅晶片进行固定时对其造成损坏，以此提高对碳化硅晶片的保护性；通过使抛光轮上下往复移动，以此使抛光轮的抛光区域与碳化硅晶片均匀接触，防止碳化硅晶片长时间与抛光轮同一区域接触而加剧该区域的磨损程度，以此提高抛光轮的使用寿命和对碳化硅晶片的抛光效果；通过第一限位槽和第二限位槽分别对相邻限位柱的限位，使抛光轮在碳化硅晶片上下边缘处发生偏转，进而使抛光轮对碳化硅晶片的上下边缘进行抛光，防止抛光轮直上直下的运动模式无法对碳化硅晶片的上下边缘进行抛光，以此提高对碳化硅晶片的抛光效果；利用环形阵列的定位杆对碳化硅晶片进行定心，防止碳化硅晶片的轴线与下板相对偏心而导致碳化硅晶片的抛光不均匀，以此提高对碳化硅晶片的抛光效果。
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1.一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，包括有架体（1），所述架体（1）固接有第一支架（2）和第一电动推杆（16）并滑动连接有第三支架（7），所述第一支架（2）固接有第二支架（3），所述第二支架（3）转动连接有与所述第一支架（2）转动连接的第一转轴（4），所述第一转轴（4）固接有下板（5），所述第二支架（3）设置有与所述第一转轴（4）连接的第一齿轮组（6），所述第三支架（7）安装有驱动电机（8），所述驱动电机（8）的输出轴固接有第一传动件（9），所述第一支架（2）固接有镜像布置的限位框（10），镜像布置的所述限位框（10）之间滑动连接有与所述第三支架（7）配合的移动架（11），镜像布置的所述限位框（10）之间转动连接有与所述第一齿轮组（6）连接并与所述移动架（11）滑动连接的传动轴（12），所述传动轴（12）花键连接有与所述移动架（11）和所述第一传动件（9）均配合的第二传动件（13），所述驱动电机（8）的输出轴固接有与所述第三支架（7）转动连接的第二转轴（1401），所述第二转轴（1401）花键连接有移动杆（1402），所述移动杆（1402）设置有抛光轮（15），所述第
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述第一传动件（9）为圆台形，且所述传动轴（12）的轴线和所述第二传动件（13）的轴线均与所述第一传动件（9）靠近所述移动架（11）一侧的母线平行。
3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述夹持机构（17）包括有液压推杆（1701），所述液压推杆（1701）安装于所述架体（1）的上侧，所述液压推杆（1701）的伸缩端固接有与所述架体（1）滑动连接的移动件（1702），所述移动件（1702）内滑动连接有滑动杆（1703），所述移动件（1702）与所述滑动杆（1703）之间固接有弹性元件（1704），所述滑动杆（1703）远离所述液压推杆（1701）的一端转动连接有上板（1705）。
4.根据权利要求3所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述移动机构（18）包括有支撑架（1801），所述支撑架（1801）滑动连接于所述架体（1），所述支撑架（1801）与所述第三支架（7）固接，所述支撑架（1801）靠近所述液压推杆（1701）的一侧固接有固定壳（1802），所述固定壳（1802）滑动连接有导向板（1803），所述导向板（1803）设置有外壳（1804），所述外壳（1804）与所述抛光轮（15）转动连接，所述第三支架（7）设置有用于使所述导向板（1803）移动的传动组件（19）。
5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述传动组件（19）包括有圆盘（1901），所述圆盘（1901）转动连接于所述第三支架（7）的一侧，所述第三支架（7）靠近所述圆盘（1901）的一侧设置有第二齿轮组（1902），所述圆盘（1901）和所述第二转轴（1401）通过所述第二齿轮组（1902）传动，所述导向板（1803）与所述圆盘（1901）之间铰接有连杆（1903），且所述连杆（1903）与所述圆盘（1901）的铰接处位于所述圆盘（1901）的偏心位置。
6.根据权利要求5所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述连杆（1903）与所述圆盘（1901）的铰接处距所述圆盘（1901）轴线之间的距离大于所述抛光轮（15）母线长度的一半。
7.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，还包括有用于使所述外壳（1804）发生偏转的偏转机构（20），所述偏转机构（20）设置于所述外壳（1804），所述导向板（1803）和所述外壳（1804）滑动连接，所述偏转机构（20）包括有镜像布置的限位柱（2001），镜像布置的所述限位柱（2001）均固接于所述外壳（1804）的一侧，所述固定壳（1802）靠近所述外壳（1804）的一侧固接有限位板（2002），所述限位板（2002）设置有第一限位槽（2003）和第二限位槽（2004），所述第一限位槽（2003）和所述第二限位槽（2004）分别与相邻的所述限位柱（2001）配合，所述移动杆（1402）与所述抛光轮（15）之间固接有万向轴（2005），所述第二支架（3）设置有用于对待加工物进行定心的定心机构（21）。
8.根据权利要求7所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述第一限位槽（2003）和所述第二限位槽（2004）均由限位直槽和镜像布置的限...
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，包括有架体（1），所述架体（1）固接有第一支架（2）和第一电动推杆（16）并滑动连接有第三支架（7），所述第一支架（2）固接有第二支架（3），所述第二支架（3）转动连接有与所述第一支架（2）转动连接的第一转轴（4），所述第一转轴（4）固接有下板（5），所述第二支架（3）设置有与所述第一转轴（4）连接的第一齿轮组（6），所述第三支架（7）安装有驱动电机（8），所述驱动电机（8）的输出轴固接有第一传动件（9），所述第一支架（2）固接有镜像布置的限位框（10），镜像布置的所述限位框（10）之间滑动连接有与所述第三支架（7）配合的移动架（11），镜像布置的所述限位框（10）之间转动连接有与所述第一齿轮组（6）连接并与所述移动架（11）滑动连接的传动轴（12），所述传动轴（12）花键连接有与所述移动架（11）和所述第一传动件（9）均配合的第二传动件（13），所述驱动电机（8）的输出轴固接有与所述第三支架（7）转动连接的第二转轴（1401），所述第二转轴（1401）花键连接有移动杆（1402），所述移动杆（1402）设置有抛光轮（15），所述第一电动推杆（16）的伸缩端与所述第三支架（7）固接，所述架体（1）设置有夹持机构（17），所述第二支架（3）设置有移动机构（18）。
2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述第一传动件（9）为圆台形，且所述传动轴（12）的轴线和所述第二传动件（13）的轴线均与所述第一传动件（9）靠近所述移动架（11）一侧的母线平行。
3.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述夹持机构（17）包括有液压推杆（1701），所述液压推杆（1701）安装于所述架体（1）的上侧，所述液压推杆（1701）的伸缩端固接有与所述架体（1）滑动连接的移动件（1702），所述移动件（1702）内滑动连接有滑动杆（1703），所述移动件（1702）与所述滑动杆（1703）之间固接有弹性元件（1704），所述滑动杆（1703）远离所述液压推杆（1701）的一端转动连接有上板（1705）。
4.根据权利要求3所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述移动机构（18）包括有支撑架（1801），所述支撑架（1801）滑动连接于所述架体（1），所述支撑架（1801）与所述第三支架（7）固接，所述支撑架（1801）靠近所述液压推杆（1701）的一侧固接有固定壳（1802），所述固定壳（1802）滑动连接有导向板（1803），所述导向板（1803）设置有外壳（1804），所述外壳（1804）与所述抛光轮（15）转动连接，所述第三支架（7）设置有用于使所述导向板（1803）移动的传动组件（19）。
5.根据权利要求4所述的一种用于碳化硅晶片边缘抛光装置，其特征在于，所述传动组件（19）包括有圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：李旭明，刘治洲，蔡立志，王锡铭，李潇阳，刘岩，
申请(专利权)人：山东粤海金半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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