【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶片抛光，具体提出了一种用于碳化硅晶片的抛光设备。
技术介绍
1、碳化硅晶片是一种半导体材料制成的薄片，其广泛应用于制造半导体或电子器件，碳化硅晶片的基本工艺包括：材料生长、切割、抛光和制备金属电极等步骤。
2、现有在对碳化硅晶片进行抛光处理时，需将转动的碳化硅晶片与转动的打磨盘接触进行抛光操作，其中碳化硅晶片和打磨盘在抛光过程中，二者摩擦产生的热量无法快速散热，使大量热量在碳化硅晶片上聚集，导致碳化硅晶片的温度过高，导致碳化硅晶片表面的结构和性质发生变化，会引起表面质量下降，同时温度过高会增加摩擦和磨损，从而影响碳化硅晶片的抛光效果。
3、因此针对这一现状，需要研发一种用于碳化硅晶片的抛光设备，以满足实际使用的需要。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于针对上述不足，提供一种用于碳化硅晶片的抛光设备，以期望解决现有技术中因碳化硅晶片上温度过高引起抛光效果差的问题。
2、为解决上述的技术问题，本专利技术采用以下技术方案：一种用于碳化硅晶片的抛光设备，包括有支座，所述支座的侧壁安装有控制终端，所述支座的侧壁固接有第一支架，所述第一支架通过电动转轴安装有转动架，所述转动架滑动设置有对称的第一滑动壳，所述第一滑动壳的侧壁固接有双轴电机，所述第一滑动壳的下部转动设置有转动壳，所述双轴电机的其中一个输出轴与所述转动壳之间通过齿轮组传动，所述转动壳限位滑动设置有花键轴，所述第一滑动壳的下侧面固接有对称的第一电动推杆，对称的所述第一电动推杆的伸
3、优选地，所述滑动柱开设有周向均匀分布的第一导气孔和周向均匀分布的第二导气孔，所述第一导气孔和所述第二导气孔交错分布。
4、优选地，所述往复机构包括有往复丝杠，所述往复丝杠固接于所述转动架，所述第一滑动壳设置有用于相邻所述往复丝杠穿过的通孔，所述第一滑动壳转动设置有转动块，所述转动块与相邻的所述往复丝杠螺纹配合，所述第一滑动壳的侧壁通过支撑架转动设置有转动杆，所述转动杆与所述转动块之间通过锥齿轮组传动，所述转动杆固接有第一转动轮，所述双轴电机靠近所述第一转动轮一侧的输出轴限位式转动设置有第二滑动壳，所述第二滑动壳固接有第二转动轮，所述第二转动轮与所述第一转动轮配合。
5、优选地，所述第一滑动壳的下侧面固接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩端通过连接板与所述第二滑动壳转动连接，所述第一转动轮呈圆台形，且所述第一转动轮与所述第二转动轮配合的一侧为竖直设置。
6、优选地，还包括有对称的调节机构，对称的所述调节机构分别设置于相邻的所述第一固定壳上，所述调节机构用于调节所述滑动柱与所述打磨盘之间的压力，所述第一固定壳与相邻的所述滑动柱限位滑动，且所述第一固定壳与相邻的所述滑动柱配合形成充满液压油的圆柱腔，所述调节机构包括有螺纹杆，所述螺纹杆转动设置于相邻的所述第一固定壳上，所述第一固定壳的侧壁固接有第二固定壳，所述第二固定壳与相邻所述第一固定壳和相邻所述滑动柱形成的圆柱腔连通，所述第二固定壳滑动设置有第一滑动架和滑动块，所述第一滑动架与相邻的所述螺纹杆螺纹配合，所述第一滑动架和相邻的所述滑动块之间安装有弹簧。
7、优选地，所述第一滑动架的侧壁设有刻度，所述第一滑动架的刻度与所述第二固定壳的上侧面配合，用于精确调节所述滑动柱与所述打磨盘之间的压力。
8、优选地，还包括有用于控制抛光液循环的导流机构，所述导流机构设置于所述支座上，所述导流机构包括有第二支架，所述第二支架固接于所述支座的侧壁，所述第二支架固接有抽水泵、第一导液管和第二导液管，所述第一导液管和所述第二导液管均与所述抽水泵连通，且所述第一导液管位于所述第二导液管的上部，所述第一导液管设有均匀分布的喷头，所述第二导液管设有滤网。
9、优选地，所述支座的内侧壁呈圆台形，且所述支座的内侧壁设有环形凹槽，所述转动盘的侧壁设有周向等距分布的导流板，所述导流板正对所述支座的环形凹槽。
10、优选地，还包括有对称的吸附机构，对称的所述吸附机构分别设置于相邻的所述滑动柱上，所述吸附机构包括有周向等距的第三固定壳，周向等距的所述第三固定壳均嵌于相邻的所述滑动柱内，所述滑动柱的内部设置有第三导气孔，所述第三导气孔与相邻的所述第三固定壳连通，所述第一固定壳固接有导管，所述导管穿透相邻的所述滑动柱并与其滑动连接，且所述导管与相邻的所述第三导气孔连通，所述第一固定壳的侧壁固接有第四固定壳，所述第四固定壳与相邻的所述导管连通，所述第四固定壳转动设置有固定环，所述固定环设有圆管，所述固定环的圆管固接有第三电动推杆，所述第三电动推杆的伸缩端固接有推杆，所述第三电动推杆的推杆位于所述固定环的圆管内，所述第一支架设有用于调节碳化硅晶片位置的居中组件。
11、优选地，所述居中组件包括有第一固定框，所述第一固定框固接于所述第一支架的侧壁，所述第一固定框设有均匀分布的转动辊，所述第一固定框的下侧固接有第二固定框，所述第二固定框固接有第二伺服电机，所述第二伺服电机的输出轴固接有齿轮，所述第二固定框内滑动设置有中心对称的齿条，中心对称的所述齿条均与所述第二伺服电机上齿轮啮合，所述第一固定框滑动设置有对称的第二滑动架，所述第二滑动架与相邻的所述齿条固接。
12、与现有技术相比，本专利技术具有以下优点：
13、1、本专利技术通过双轴电机和第一伺服电机控制滑动柱和打磨盘匀速转动，确保打磨盘对滑动柱上碳化硅晶片进行均匀打磨抛光；
14、2、通过往复机构中转动块的转动，使滑动柱上碳化硅晶片沿打磨盘半径方向匀速往复移动，加速抛光产生热量的散失，确保碳化硅晶片的抛光效率，同时进一步使打磨盘对碳化硅晶片进行均匀抛光；
15、3、通过调节机构中螺纹杆的转动便于向碳化硅晶片施加不同的压力，对碳化硅晶片进行不同程度的抛光，提高本装置的适用性与实用性，同时压力的调节控制碳化硅晶片与打磨盘之间的摩擦产热，避免二者之间聚集过多热量，来保障抛光后碳化硅晶片的质量；
16、4、通过导流机构中抽水泵的工作，对抛光液进行循环利用，保障打磨盘与碳化硅晶片之间的抛光稳定性，从而提高抛光效率，且抛光液的流动经过碳化硅晶片与打磨盘，进一步对碳化硅晶片与打磨盘进行散热，保障本装置对碳化硅晶片的稳定抛光；
17、5、通过吸附机构中第三固定壳负压固定碳化硅晶片，提高本装置的工作自动化，同时提高工作效率；
18、6、通过居中组件中第二伺服电机的工作，便于碳化硅晶片居中安装至相邻滑动柱上，确保滑动柱对碳化硅晶片施加均匀压力，从而保障碳化硅晶片进行均匀抛光。
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1.一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，包括有支座（1），所述支座（1）的侧壁安装有控制终端（101），所述支座（1）的侧壁固接有第一支架（102），所述第一支架（102）通过电动转轴安装有转动架（103），所述转动架（103）滑动设置有对称的第一滑动壳（104），所述第一滑动壳（104）的侧壁固接有双轴电机（105），所述第一滑动壳（104）的下部转动设置有转动壳（106），所述双轴电机（105）的其中一个输出轴与所述转动壳（106）之间通过齿轮组传动，所述转动壳（106）限位滑动设置有花键轴（107），所述第一滑动壳（104）的下侧面固接有对称的第一电动推杆（108），对称的所述第一电动推杆（108）的伸缩端共同固接有转动环（109），所述转动环（109）转动设置有与所述花键轴（107）固接的第一固定壳（110），所述第一固定壳（110）设置有滑动柱（111），所述滑动柱（111）靠近所述支座（1）的一侧用于安装碳化硅晶片，所述支座（1）的底部固接有第一伺服电机（112），所述第一伺服电机（112）的输出轴固接有转动盘（113），所述转动盘（113）位于所述支座（1）内
2.按照权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，所述滑动柱（111）开设有周向均匀分布的第一导气孔（1111）和周向均匀分布的第二导气孔（1112），所述第一导气孔（1111）和所述第二导气孔（1112）交错分布。
3.按照权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，所述往复机构（2）包括有往复丝杠（201），所述往复丝杠（201）固接于所述转动架（103），所述第一滑动壳（104）设置有用于相邻所述往复丝杠（201）穿过的通孔，所述第一滑动壳（104）转动设置有转动块（202），所述转动块（202）与相邻的所述往复丝杠（201）螺纹配合，所述第一滑动壳（104）的侧壁通过支撑架转动设置有转动杆（203），所述转动杆（203）与所述转动块（202）之间通过锥齿轮组传动，所述转动杆（203）固接有第一转动轮（204），所述双轴电机（105）靠近所述第一转动轮（204）一侧的输出轴限位式转动设置有第二滑动壳（205），所述第二滑动壳（205）固接有第二转动轮（206），所述第二转动轮（206）与所述第一转动轮（204）配合。
4.按照权利要求3所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，所述第一滑动壳（104）的下侧面固接有第二电动推杆（3），所述第二电动推杆（3）的伸缩端通过连接板与所述第二滑动壳（205）转动连接，所述第一转动轮（204）呈圆台形，且所述第一转动轮（204）与所述第二转动轮（206）配合的一侧为竖直设置。
5.按照权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，还包括有对称的调节机构（4），对称的所述调节机构（4）分别设置于相邻的所述第一固定壳（110）上，所述调节机构（4）用于调节所述滑动柱（111）与所述打磨盘（114）之间的压力，所述第一固定壳（110）与相邻的所述滑动柱（111）限位滑动，且所述第一固定壳（110）与相邻的所述滑动柱（111）配合形成充满液压油的圆柱腔，所述调节机构（4）包括有螺纹杆（401），所述螺纹杆（401）转动设置于相邻的所述第一固定壳（110）上，所述第一固定壳（110）的侧壁固接有第二固定壳（402），所述第二固定壳（402）与相邻所述第一固定壳（110）和相邻所述滑动柱（111）形成的圆柱腔连通，所述第二固定壳（402）滑动设置有第一滑动架（403）和滑动块（404），所述第一滑动架（403）与相邻的所述螺纹杆（401）螺纹配合，所述第一滑动架（403）和相邻的所述滑动块（404）之间安装有弹簧（405）。
6.按照权利要求5所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，所述第一滑动架（403）的侧壁设有刻度，所述第一滑动架（403）的刻度与所述第二固定壳（402）的上侧面配合，用于精确调节所述滑动柱（111）与所述打磨盘（114）之间的压力。
7.按照权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，还包括有用于控制抛光液循环的导流机构（5），所述导流机构（5）设置于所述支座（1）上，所述导流机构（5）包括有第二支架（501），所述第二支架（501）固接于所述支座（1）的侧壁，所述第二支架（501）固接有抽水泵（502）、第一导液管（503）和第二导液管（504），所述第一导液管（503）和所述第二导液管（504）均与所述抽水泵（502）连通，且所述第一导液管（50...
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，包括有支座（1），所述支座（1）的侧壁安装有控制终端（101），所述支座（1）的侧壁固接有第一支架（102），所述第一支架（102）通过电动转轴安装有转动架（103），所述转动架（103）滑动设置有对称的第一滑动壳（104），所述第一滑动壳（104）的侧壁固接有双轴电机（105），所述第一滑动壳（104）的下部转动设置有转动壳（106），所述双轴电机（105）的其中一个输出轴与所述转动壳（106）之间通过齿轮组传动，所述转动壳（106）限位滑动设置有花键轴（107），所述第一滑动壳（104）的下侧面固接有对称的第一电动推杆（108），对称的所述第一电动推杆（108）的伸缩端共同固接有转动环（109），所述转动环（109）转动设置有与所述花键轴（107）固接的第一固定壳（110），所述第一固定壳（110）设置有滑动柱（111），所述滑动柱（111）靠近所述支座（1）的一侧用于安装碳化硅晶片，所述支座（1）的底部固接有第一伺服电机（112），所述第一伺服电机（112）的输出轴固接有转动盘（113），所述转动盘（113）位于所述支座（1）内，所述转动盘（113）拆卸式安装有打磨盘（114），所述转动架（103）设置有对称的往复机构（2）。
2.按照权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，所述滑动柱（111）开设有周向均匀分布的第一导气孔（1111）和周向均匀分布的第二导气孔（1112），所述第一导气孔（1111）和所述第二导气孔（1112）交错分布。
3.按照权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，所述往复机构（2）包括有往复丝杠（201），所述往复丝杠（201）固接于所述转动架（103），所述第一滑动壳（104）设置有用于相邻所述往复丝杠（201）穿过的通孔，所述第一滑动壳（104）转动设置有转动块（202），所述转动块（202）与相邻的所述往复丝杠（201）螺纹配合，所述第一滑动壳（104）的侧壁通过支撑架转动设置有转动杆（203），所述转动杆（203）与所述转动块（202）之间通过锥齿轮组传动，所述转动杆（203）固接有第一转动轮（204），所述双轴电机（105）靠近所述第一转动轮（204）一侧的输出轴限位式转动设置有第二滑动壳（205），所述第二滑动壳（205）固接有第二转动轮（206），所述第二转动轮（206）与所述第一转动轮（204）配合。
4.按照权利要求3所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，所述第一滑动壳（104）的下侧面固接有第二电动推杆（3），所述第二电动推杆（3）的伸缩端通过连接板与所述第二滑动壳（205）转动连接，所述第一转动轮（204）呈圆台形，且所述第一转动轮（204）与所述第二转动轮（206）配合的一侧为竖直设置。
5.按照权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片的抛光设备，其特征在于，还包括有对称的调节机构（4），对称的所述调节机构（4）分别设置于相邻的所述第一固定壳（110）上，所述调节机构（4）用于调节所述滑动柱（111）与所述打磨盘（114）之间的压力，所述第一固定壳（110）与相邻的所述滑动柱（111）限位滑动，且所述第一固定壳（110）与相邻的所述滑动柱（111）配合形成充满液压油的圆柱腔，所述调节机构（4）包括有螺纹杆（401），所述螺纹杆（401）转动设置于相邻的所述第一固定壳（110）上，所述第一固定壳（110）的侧壁固接有第二固定壳（402），所述第二固定壳（402）与相邻所述第一固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：李旭明，王锡铭，付文川，刘治洲，王飞，贾文欢，
申请(专利权)人：山东粤海金半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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