【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体清洗领域，具体为一种晶圆清洗机混配液装置。
技术介绍
1、晶圆清洗机混配液装置将两种或多种试剂按工艺配比进行混配的耐高温、耐强酸碱腐蚀的容器，多配合槽式清洗机使用。现有技术公开的混配液装置，无法有效的将混配液装置内壁残留物清洁干净，所用零部件引入颗粒及金属离子，且存在进液时液位波动大，致使配比不够精确等问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种晶圆清洗机混配液装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种晶圆清洗机混配液装置，包括混配液装置本体，所述混配液装置本体的上端设置有顶盖，所述顶盖的上端设置有喷淋清洗组件，所述顶盖通过顶盖固定组件与混配液装置本体固定连接，所述顶盖分别有配液管孔、防溢流管孔、液位、温度识别管孔，且和管路密闭连接；所述喷淋清洗组件包括球形喷头、增压器、抽液管、进清洗液管；其中，所述顶盖的上端侧边设置有增压器，所述增压器的上端连接抽液管，所述抽液管连接清洗装置，所述增压器的另一端连接进清洗液管，所述进清洗液管连接球形喷头，所述球形喷头和顶盖固定连接。
2、优选的，混液管贯穿设置于混配液装置本体的内部，所述混液管和混配液装置本体通过顶盖固定连接，所述混液管出口处距混配液装置本体底部距离占混配液箱本体高度的1/7-1/5。
3、优选的，排气防溢流组件包括t型三通阀、双用管、排气管、排溢流液管；其中，所述双用管下端和顶盖固定连接，和混配液装置本体的内部相通，所述双用
4、优选的，液位识别配置贯穿设置于混配液装置本体的内部，所述液位识别配置和混配液装置本体的连接处通过顶盖固定连接，所述液位识别配置下端触及混配液装置本体底部。
5、优选的，温度识别配置贯穿设置于混配液装置本体的内部，所述温度识别配置和混配液装置本体的连接处通过顶盖固定连接，所述温度识别配置下端触及混配液装置本体底部。
6、优选的，所述双用管位于混配液装置本体底端中心，和混配液装置本体固定连接，所述双用管另一端和三通管连接，所述t型三通阀另外两端依次和排混合溶液管、排清洗废液液管连接，所述排混合溶液管连接清洗装置，所述排清洗废液液管连接废液处理装置。
7、优选的，排清洗废液液管内部设置有过滤清堵装置，所述过滤清堵装置包括过滤板，所述过滤板固定安装在排清洗废液液管的内壁上，所述过滤板的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧的另一端固定连接有清堵板，所述清堵板的侧壁上固定连接有清堵棒。
8、本技术提供了一种晶圆清洗机混配液装置。具备以下有益效果：
9、(1)本技术通过设置了喷淋清洗组件，该组件可以提升对于混配液装置的清洁效果，通过增压器将清洁液通过球型多孔喷头240°喷出，可以对混配液罐圆柱型内壁进行全方位清洗，避免混配液罐内壁的溶液残留无法清洁干净的问题。
10、(2)本技术通过设置了顶盖固定组件，该组件可以便于混配液罐开启，方便实现对于球型多孔喷头的维护和更换。
11、(3)本技术通过混液管路高进低出设置，可使试剂在进液同时混合均匀，节省时间，减少高热高压集聚风险，同时能做到加入物料的比例精确。
12、(4)本技术通过过滤清堵装置内部的过滤板在过滤时，与排清洗废液液管内部液体在排放时产生的压力相互配合，实现了清堵棒对过滤板内部杂质的清理，保证了过滤板长期不会拥堵的情况出现。
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1.一种晶圆清洗机混配液装置，包括混配液装置本体(12)，其特征在于：所述混配液装置本体(12)的上端设置有顶盖(13)，所述顶盖(13)的上端设置有喷淋清洗组件(14)，所述顶盖(13)通过顶盖固定组件与混配液装置本体(12)固定连接，所述顶盖分别有配液管孔、防溢流管孔、液位、温度识别管孔，且和管路密闭连接；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：混液管(6)贯穿设置于混配液装置本体(12)的内部，所述混液管(6)和混配液装置本体(12)通过顶盖(13)固定连接，所述混液管(6)出口处距混配液装置本体(12)底部距离占混配液箱本体(12)高度的1/7-1/5。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：排气防溢流组件包括T型三通阀(71)、双用管(72)、排气管(9)、排溢流液管(7)；其中，所述双用管(72)下端和顶盖(13)固定连接，和混配液装置本体(12)的内部相通，所述双用管(72)上端和T型三通阀(71)连接，所述T型三通阀(71)竖直端和排气管(9)连接，所述T型三通阀(71)水平端和排溢流液管(7
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：液位识别配置(16)贯穿设置于混配液装置本体(12)的内部，所述液位识别配置(16)和混配液装置本体(12)的连接处通过顶盖固定连接，所述液位识别配置(16)下端触及混配液装置本体(12)底部。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：温度识别配置(17)贯穿设置于混配液装置本体(12)的内部，所述温度识别配置(17)和混配液装置本体(12)的连接处通过顶盖固定连接，所述温度识别配置(17)下端触及混配液装置本体(12)底部。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：所述双用管(72)位于混配液装置本体(12)底端中心，和混配液装置本体(12)固定连接，所述双用管(72)另一端和三通管连接，所述T型三通阀(71)另外两端依次和排混合溶液管(10)、排清洗废液液管(11)连接，所述排混合溶液管(10)连接清洗装置(18)，所述排清洗废液液管(11)连接废液处理装置。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：排清洗废液液管(11)内部设置有过滤清堵装置(19)，所述过滤清堵装置(19)包括过滤板(191)，所述过滤板(191)固定安装在排清洗废液液管(11)的内壁上，所述过滤板(191)的一侧固定连接有弹簧(192)，所述弹簧(192)的另一端固定连接有清堵板(193)，所述清堵板(193)的侧壁上固定连接有清堵棒(194)。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗机混配液装置，包括混配液装置本体(12)，其特征在于：所述混配液装置本体(12)的上端设置有顶盖(13)，所述顶盖(13)的上端设置有喷淋清洗组件(14)，所述顶盖(13)通过顶盖固定组件与混配液装置本体(12)固定连接，所述顶盖分别有配液管孔、防溢流管孔、液位、温度识别管孔，且和管路密闭连接；
2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：混液管(6)贯穿设置于混配液装置本体(12)的内部，所述混液管(6)和混配液装置本体(12)通过顶盖(13)固定连接，所述混液管(6)出口处距混配液装置本体(12)底部距离占混配液箱本体(12)高度的1/7-1/5。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：排气防溢流组件包括t型三通阀(71)、双用管(72)、排气管(9)、排溢流液管(7)；其中，所述双用管(72)下端和顶盖(13)固定连接，和混配液装置本体(12)的内部相通，所述双用管(72)上端和t型三通阀(71)连接，所述t型三通阀(71)竖直端和排气管(9)连接，所述t型三通阀(71)水平端和排溢流液管(7)连接，所述排气管(9)和排风通道(15)连接，所述排溢流液管(7)和废液处理装置连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆清洗机混配液装置，其特征在于：液位识别配置(16)贯穿设置于混配液装置本...
【专利技术属性】
技术研发人员：贾文欢，付文川，蔡立志，王锡铭，李旭明，
申请(专利权)人：山东粤海金半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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