【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及通过使工具在光学元件表面的光学有效区域中进行扫描来加工光学 元件的。
技术介绍
为了在光学元件表面上形成满足期望的光学特性的光学有效区域，光学有效区域 的形状和粗糙度需要被加工到一定的精度或更高的精度。根据光学元件的基本形状和目标 精度选择用于加工光学有效区域的工具(加工单元)的类型和加工形式。例如，如果光学 元件的基本形状是平坦表面或球形表面，那么，一般地，制备具有与光学有效区域相同或比 光学有效区域大的尺寸的工具，并且，一次加工整个光学有效区域。但是，如果光学元件的 基本形状是非球形形状或自由形式表面形状，那么曲率根据位置改变，因此，通常不能应用 具有与光学有效区域相同或比光学有效区域大的尺寸的工具。在这种情况下，制备具有比 要加工的光学有效区域小的斑点加工形状的工具，并且，通过使该工具扫描光学有效区域， 加工整个光学有效区域。工具的扫描形式包含光栅扫描和螺旋扫描。工具常常在扫描的同时与光学有效区 域保持恒定的角度。通过光学元件的应用和被使用的光的波长等，确定光学有效区域所需要的形状和 粗糙度的精度。通常，需要亚纳米到几百纳米的量级的非常高的精...
【技术保护点】
一种光学元件加工方法，在该光学元件加工方法中，通过扫描比光学元件的光学有效区域小的加工区域的加工单元加工光学元件的光学有效区域，该光学元件加工方法包括：通过分割线将光学有效区域至少分割成第一分割区域和第二分割区域；使第一分割区域与加工单元的加工区域对准；通过利用加工单元的扫描加工对准的第一分割区域；使第二分割区域与加工单元的加工区域对准；和通过加工单元的扫描加工对准的第二分割区域。
【技术特征摘要】
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