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本申请涉及光学元件加工方法。防止整个加工装置的尺寸由于被加工的光学元件的光学有效区域的尺寸而变大。光学元件的光学有效区域被分割线分割成多个分割区域，并且，各分割区域依次与离子束的可加工区域对准。通过对于所有分割区域中的各分割区域重复利用离子...
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