【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造中使用的超高纯度的工艺用化学品制备，具体地指一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置及纯化方法。
技术介绍
1、六甲基二硅氮烷是一种重要的有机硅材料，在医药、航空航天、半导体制造等领域有着广泛应用。在电子工业中，超净高纯试剂在制备过程中对杂质含量和颗粒度的要极其苛刻，它被广泛地应用在集成电路领域。由于光刻胶和晶片亲疏水性的差异，粘合性较差。涂布光刻胶时会引起局部的间隙或气泡，涂胶厚度和均匀性也会受到影响。引入六甲基二硅氮烷作为表面活性剂，可以改善光刻胶与基底的粘附性，有效地抑制刻蚀液进入掩模与基底的侧向刻蚀。
2、六甲基二硅氮烷水解产生六甲基二硅氧烷和三甲基硅醇，在制备六甲基二硅氮烷时，六甲基二硅氧烷和三甲基硅醇通常混合在一起，需要通过精馏使其分离纯化，但是由于精馏只能去除部分水分、金属离子和颗粒物，导致产品得纯度不高，严重影响了产品质量，达不到半导体质量要求。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服上述不足，提供一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置及纯化方法，以提高产品的纯度，达到半导体质量要求。
2、本专利技术为解决上述技术问题，所采用的技术方案是：一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，包括原料储罐，所述原料储罐出料口通过管线与脱轻精馏塔进料端连接，脱轻精馏塔底部出料口通过管线与脱重精馏塔进料口连接，脱轻精馏塔顶部出气口通过管线与第一冷凝器进口连接，第一冷凝器出口通过管线与废料储罐连接，所述脱重精馏塔顶部出气口通过管线与第二冷凝器进口连接，第
3、优选地，所述产品罐顶部抽气口通过管线与真空罐一端连接，真空罐另一端通过管线与真空泵连接。
4、优选地，所述产品罐底部出料口通过管线与产品泵一端连接，产品泵另一端通过管线与取样箱连接。
5、优选地，所述产品罐进料口所在管线设有第一阀门，所述产品罐顶部抽气口所在管线设有第二阀门，所述产品罐底部出料口所在管线设有第三阀门。
6、优选地，所述原料储罐进料口所在管线设有硅胶吸附系统，所述原料储罐出料口与脱轻精馏塔进料口之间的管线上设有第一进料泵。
7、优选地，所述精馏储罐出料口与树脂吸附系统进料口之间的管线上设有第二进料泵。
8、优选地，所述树脂吸附系统采用的吸附剂为阳离子交换树脂，所述过滤系统所选用滤芯的过滤精度为0.02μm。
9、另外，本专利技术还公开上述电子级六甲基二硅氮烷纯化装置的纯化方法，它包括如下步骤：
10、s1：原料通过管线进入到硅胶吸附系统中，进行硅胶吸附处理以脱除部分水分，然后泵入到原料储罐内；
11、s2：原料储罐内的物料依次通过脱轻精馏塔与脱重精馏塔进行精馏过程，通过脱轻精馏塔将工业级六甲基二硅氮烷中的轻组分-三甲基硅醇、六甲基二硅氧烷分离，通过脱重精馏塔将工业级六甲基二硅氮烷中的重组分-金属杂质、部分颗粒物分离；然后物料送入到精馏储罐内；
12、s3：精馏储罐内的物料通过树脂吸附系统，利用其离子交换树脂将六甲基二硅氮烷中的阳离子进行离子交换，使得物料中的阳离子被转移到树脂上，达到脱盐的目的；
13、s4：经过树脂吸附系统处理后的物料进入过滤系统，六甲基二硅氮烷中的固体颗粒被截留在其质上，从而实现固、液分离的操作；脱除六甲基二硅氮烷中的颗粒物后，得到电子级六甲基二硅氮烷，送入到产品罐内。
14、进一步地，所述步骤s4还包括如下步骤：
15、s4.1、所述电子级六甲基二硅氮烷在送入到产品罐前，产品罐进料口所在管线的第一阀门关闭，产品罐底部出料口所在管线的第三阀门打开，产品罐顶部抽气口所在管线的第二阀门打开，真空泵工作后产生负压，使得产品罐及取样箱内保持真空状态，同时将产品罐及取样箱内的废气吸入到真空罐内，然后关闭第二阀门和第三阀门；
16、s4.2、打开第一阀门，物料进入到产品罐内；
17、s4.3、当需要取样时，打开第三阀门，物料从产品罐进入到取样箱内。
18、本专利技术的有益效果：本专利技术通过脱轻精馏塔将工业级六甲基二硅氮烷中的轻组分-三甲基硅醇、六甲基二硅氧烷分离，通过脱重精馏塔将工业级六甲基二硅氮烷中的重组分-金属杂质、部分颗粒物分离，而精馏后的六甲基二硅氮烷中的金属离子和部分颗粒物杂质可通过树脂吸附系统和过滤系统进一步去除，六甲基二硅氮烷的含量达到了99.99％以上，其大大提高了产品的纯度，达到半导体质量要求。
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1.一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，包括原料储罐（1），所述原料储罐（1）出料口通过管线与脱轻精馏塔（4）进料端连接，脱轻精馏塔（4）底部出料口通过管线与脱重精馏塔（7）进料口连接，脱轻精馏塔（4）顶部出气口通过管线与第一冷凝器（5）进口连接，第一冷凝器（5）出口通过管线与废料储罐（6）连接，所述脱重精馏塔（7）顶部出气口通过管线与第二冷凝器（8）进口连接，第二冷凝器（8）出口通过管线与精馏储罐（9）进料口连接，其特征在于：所述精馏储罐（9）出料口通过管线与树脂吸附系统（11）进料口连接，树脂吸附系统（11）出料口通过管线与过滤系统（12）进料口连接，过滤系统（12）出料口通过管线与产品罐（13）进料口连接。
2.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述产品罐（13）顶部抽气口通过管线与真空罐（16）一端连接，真空罐（16）另一端通过管线与真空泵（17）连接。
3.根据权利要求2所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述产品罐（13）底部出料口通过管线与产品泵（14）一端连接，产品泵（14）另一端通过管线与取样
4.根据权利要求3所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述产品罐（13）进料口所在管线设有第一阀门（18），所述产品罐（13）顶部抽气口所在管线设有第二阀门（19），所述产品罐（13）底部出料口所在管线设有第三阀门（20）。
5.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述原料储罐（1）进料口所在管线设有硅胶吸附系统（2），所述原料储罐（1）出料口与脱轻精馏塔（4）进料口之间的管线上设有第一进料泵（3）。
6.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述精馏储罐（9）出料口与树脂吸附系统（11）进料口之间的管线上设有第二进料泵（10）。
7.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述树脂吸附系统（11）采用的吸附剂为阳离子交换树脂，所述过滤系统（12）所选用滤芯的过滤精度为0.02μm。
8.一种权利要求1至7任一项所述电子级六甲基二硅氮烷纯化装置的纯化方法，其特征在于：它包括如下步骤：
9.根据权利要求8所述电子级六甲基二硅氮烷纯化装置的纯化方法，其特征在于：所述步骤S4还包括如下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，包括原料储罐（1），所述原料储罐（1）出料口通过管线与脱轻精馏塔（4）进料端连接，脱轻精馏塔（4）底部出料口通过管线与脱重精馏塔（7）进料口连接，脱轻精馏塔（4）顶部出气口通过管线与第一冷凝器（5）进口连接，第一冷凝器（5）出口通过管线与废料储罐（6）连接，所述脱重精馏塔（7）顶部出气口通过管线与第二冷凝器（8）进口连接，第二冷凝器（8）出口通过管线与精馏储罐（9）进料口连接，其特征在于：所述精馏储罐（9）出料口通过管线与树脂吸附系统（11）进料口连接，树脂吸附系统（11）出料口通过管线与过滤系统（12）进料口连接，过滤系统（12）出料口通过管线与产品罐（13）进料口连接。
2.根据权利要求1所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述产品罐（13）顶部抽气口通过管线与真空罐（16）一端连接，真空罐（16）另一端通过管线与真空泵（17）连接。
3.根据权利要求2所述的一种电子级六甲基二硅氮烷纯化装置，其特征在于：所述产品罐（13）底部出料口通过管线与产品泵（14）一端连接，产品泵（14）另一端通过管线与取样箱（15）连接。
4.根据权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员：李少平，李锐峰，贺兆波，叶瑞，侯建鑫，万富强，杨着，夏致远，欧阳克银，曾靖淞，王尚琪，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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