System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind()
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及过氧化氢的提纯工艺与设备领域,特别涉及一种电子级过氧化氢的生产工艺及提纯系统。
技术介绍
1、过氧化氢是一种用途广泛的化学品,可用于杀菌消毒剂、漂白剂,更多的则是因为过氧化氢的氧化反应有着良好的化学反应选择性、副产物水环保无污染而用于氧化剂,涉纺织、造纸、化工、航天及污水处理等诸多领域。过氧化氢从其用途出发可分为工业级、药品级、食品级、电子级等。随着集成电路和光伏行业的迅速发展,电子级过氧化氢在该领域作为不可或缺的电子化学清洗剂和蚀刻剂,对其质量的要求更加严格,需求量也与日俱增。
2、目前过氧化氢的生产几乎全部使用了蒽醌法,该生产方法已经十分成熟,相比电解法等规模更大、技术更先进、成本更低,但相应的,也会在生产过程中产生蒽醌类有机物等,致使过氧化氢产品中有机碳含量升高及无机杂质增多。电子级过氧化氢大多通过对工业级过氧化氢进行纯化制得。
3、常用的过氧化氢提纯方法有:精馏法、树脂吸附法、离子交换树脂法、膜分离法、结晶法、萃取法等。其中,精馏法提纯效率差;树脂吸附法会产生新的杂质;膜分离法对过氧化氢的纯化不够彻底即所得过氧化氢产品的纯度不高;离子交换树脂法中树脂容易被过氧化氢的强氧化性影响导致其使用寿命缩短,而频繁地更换树脂会带来产品污染及操作复杂等问题,此外树脂预处理及清洗过程中残留的成分也会稀释、污染过氧化氢原料,为抑制过氧化氢分解及树脂的加速氧化,使用的过氧化氢需在低温条件下进行,增加了能耗与设备的投资;结晶法、萃取法能耗设备要求过高,实现大规模连续化生产的可能性很小。
【技术保护点】
1.一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤一中,膜分离装置运行时压力条件为1.8~2.2MPa,过氧化氢进液流量为9~16m3/h。
3.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤二中,吸附树脂塔的高径比为10~16:1,过氧化氢在吸附树脂塔中的流速为0.5~2BV/h,大孔吸附树脂的类型为SD300DQH、ZHPT-I、T1001、DuPont-T中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤四中,阴离子交换树脂为碳酸氢根型弱碱性阴离子交换树脂,其类型为ZGA451、NRW505HCO3、ZHPHCO3-I、A1001中的任意一种,阴离子交换树脂柱的高径比均为10~16:1,过氧化氢经过阴离子交换树脂柱的流速为15~20BV/h。
5.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤四中,阳离子交换树脂为氢离子型强酸性阳离子交换树脂,其类型为ZG
6.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤五中,混床抛光树脂由阴、阳离子交换树脂以2:1的体积比例均匀混合而成,包括ZGA351和ZGC151、DuPont-P、ZHPH-P、P1001中的任意一种,混床抛光树脂柱的高径比为10~16:1。
7.一种电子级过氧化氢的提纯系统,其特征在于,包括过氧化氢原料储槽,过氧化氢原料储槽通过管路依次与第一输送泵和膜分离装置连接,膜分离装置设有废液储罐和回流管路,回流管路与过氧化氢原料储槽连接,膜分离装置的产液管与缓冲槽的入口相连,缓冲槽的出口与第二输送泵相连,第二输送泵通过管路与吸附树脂塔的入口相连,吸附树脂塔的出口通过管路与缓冲罐的入口相连,缓冲罐的出口通过管路与换热器的入口相连,循环制冷冰机对换热器提供冷却水,换热器的出口与第三输送泵相连,第三输送泵通过管路与阴离子交换树脂塔的入口相连,阴离子交换树脂塔通过管路依次与阳离子交换树脂塔和混床抛光树脂塔相连,混床抛光树脂塔的出口通过管路与成品储罐入口相连。
8.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的提纯系统,其特征在于,所述第一输送泵设置两组,分别为增压泵和高压泵。
9.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的提纯系统,其特征在于,所述吸附树脂塔、阴离子交换树脂塔、阳离子交换树脂塔和混床抛光树脂塔内衬均采用PFA材质。
10.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的提纯系统,其特征在于,所述第二输送泵和第三输送泵为PFA材质的隔膜泵。
...【技术特征摘要】
1.一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤一中,膜分离装置运行时压力条件为1.8~2.2mpa,过氧化氢进液流量为9~16m3/h。
3.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤二中,吸附树脂塔的高径比为10~16:1,过氧化氢在吸附树脂塔中的流速为0.5~2bv/h,大孔吸附树脂的类型为sd300dqh、zhpt-i、t1001、dupont-t中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤四中,阴离子交换树脂为碳酸氢根型弱碱性阴离子交换树脂,其类型为zga451、nrw505hco3、zhphco3-i、a1001中的任意一种,阴离子交换树脂柱的高径比均为10~16:1,过氧化氢经过阴离子交换树脂柱的流速为15~20bv/h。
5.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤四中,阳离子交换树脂为氢离子型强酸性阳离子交换树脂,其类型为zgc151、zhph-i、k1001、dupont-h中的任意一种,阳离子交换柱的高径比均为10~16:1,过氧化氢经过阳离子交换树脂柱的流速为15~20bv/h。
6.根据权利要求1所述的一种电子级过氧化氢的生产工艺,其特征在于,所述步骤五...
【专利技术属性】
技术研发人员:李少平,郭竞竞,贺兆波,叶瑞,杨着,袁相春,张庭,蔡贵婷,刘俊,杜佳龙,
申请(专利权)人:湖北兴福电子材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。