一种易于密封的除尘设备制造技术

技术编号:40095960 阅读:6 留言:0更新日期:2024-01-23 16:56
本技术涉及芯片生产技术领域,尤其是一种易于密封的除尘设备;包括除尘壳体;所述除尘壳体上还设置有用于放取芯片的开口以及设有用于打开或关闭开口的密封门,本技术通过设有除尘壳体、密封门、直线模组和移动架,除尘壳体围合形成内部密封腔体结构,其底部设置的排气口直接与负压系统连通,使得除尘壳体能够给予芯片除尘一个相对密封的环境,其次,在直线模组的驱动下,能够将密封门抵接在除尘壳体,其密封效果较佳,而且,在除尘过程中,负压系统和排气口在除尘壳体的内底部还形成一个负压环境,降低除尘壳体内部的浮力,吸引灰尘落下,避免灰尘悬浮在除尘壳体内部以及灰尘重复附着在芯片上,进而加快除尘的效率以及提升除尘质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片生产,尤其是一种易于密封的除尘设备


技术介绍

1、芯片是半导体元件产品的统称;电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜(thin-film)集成电路;另有一种厚膜(thick-film)集成电路(hybrid integratedcircuit)是由独立半导体设备和被动组件,集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。

2、现如今对生产出来的芯片进行除尘时,一般是通过人工除尘,通过采用洁净气流吹气的方式对芯片的表面进行清洁,为了能够更好地进行除尘,一般会设置有夹具,通过夹具安装芯片,再对芯片进行除尘,一来能够节省人工成本,二来能够提高生产效率,但是,在该除尘模式下,缺乏一个密闭的空间,灰尘容易重新粘附在芯片上,导致芯片的除尘质量较低。

3、基于上述问题,我们提出一种易于密封的除尘设备。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本技术提供一种易于密封的除尘设备,该设备通过改进后,能够有效解决上述
技术介绍
中所提出的问题。

2、本技术的技术方案为:

3、一种易于密封的除尘设备,包括机架、除尘壳体、除尘治具和除尘机构;所述机架上安装有除尘壳体、除尘治具和除尘机构,所述除尘壳体围合形成内部腔体结构,所述除尘治具和除尘机构安装在腔体内部,所述腔体的一端设置有排气口;所述除尘机构包含有出风部件,所述出风部件用于向放置在除尘治具内的芯片吹风除尘;

4、所述除尘壳体上还设置有用于放取芯片的开口以及设有用于打开或关闭开口的密封门,所述机架上还安装有直线模组,所述直线模组的移动端连接有移动架,所述移动架的另一端与密封门固定连接;所述载物台的进气端管与密封门固接且其端口外露于密封门的外部;所述直线模组驱动密封门关闭开口时将载物台推进除尘壳体的内部或者打开开口时将载物台拉出除尘壳体。

5、进一步的,所述除尘机构至少包含有两个相对设置的出风部件,其中一个所述出风部件上设置有可变向的出风口。

6、进一步的,所述出风部件包括风板和风管,所述风板和风管分别与正压系统连通;所述风板安装在除尘壳体的上部,所述风管设置在除尘壳体的下部且与除尘壳体枢接,所述除尘壳体上还设置有用于驱动所述风管转动的驱动机构,所述除尘治具设置在风板和风管之间。

7、进一步的,所述机架上还安装有负压系统,所述排气口设置在除尘壳体的底部,所述负压系统的进气端与排气口连通;所述除尘壳体靠近排气口的区域为斜面设置。

8、进一步的,所述除尘治具包括载物台和载具,所述载物台的进气端管与负压系统连通,用于对载具进行吸紧或者松开,所述载物台上安装有所述载具,所述载具用于夹持芯片。

9、进一步的,所述载具包括上载具和下载具,所述上载具和下载具通过磁接固定,所述上载具和下载具之间用于夹持芯片,所述下载具上的吹风孔为阔口设置。

10、进一步的,所述机架上还安装有负离子管,所述负离子管的一端与风板连通,另一端与负离子发生器连通;所述负离子管吹出的负离子在腔体内部与空气中的电荷中和;所述负离子发生器的进气端与正压系统连通。

11、进一步的,所述驱动机构固接在机架上,所述驱动机构与风管之间通过齿轮传动连接,所述风管靠近驱动机构的一端外露于除尘壳体外部且安装有旋转气嘴,所述旋转气嘴的进气端与正压系统连通,使得风管在转动时旋转气嘴不动;所述驱动机构和风管对应设置有若干个,且单独连接,使得一个所述驱动机构控制一个所述风管转动。

12、进一步的,所述风板的内部空心结构,所述风板靠近除尘治具的一端上设置有若干个第一出风孔;所述风管靠近除尘治具的一端上设置有若干个第二出风孔。

13、本技术的有益效果为:

14、本技术通过设有除尘壳体、密封门、直线模组和移动架,除尘壳体围合形成内部密封腔体结构,其底部设置的排气口直接与负压系统连通,使得除尘壳体能够给予芯片除尘一个相对密封的环境,其次,在直线模组的驱动下,能够将密封门抵接在除尘壳体,其密封效果较佳,而且,在除尘过程中,负压系统和排气口在除尘壳体的内底部还形成一个负压环境,降低除尘壳体内部的浮力,吸引灰尘落下,避免灰尘悬浮在除尘壳体内部以及灰尘重复附着在芯片上,进而加快除尘的效率以及提升除尘质量;此外,在带动密封门运动的过程中,还能将载物台推进除尘壳体的内部或者将载物台拉出除尘壳体,装配自动化程度较高,同时驱动的方式能够节省耗能,也便于工人将载具放置在载物台上或者取出载具,减少载物台推进和拉出的步骤,进一步提高生产效率。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种易于密封的除尘设备,包括机架、除尘壳体、除尘治具和除尘机构;所述机架上安装有除尘壳体、除尘治具和除尘机构,所述除尘壳体围合形成内部腔体结构,所述除尘治具和除尘机构安装在腔体内部,所述腔体的一端设置有排气口;所述除尘机构包含有出风部件,所述出风部件用于向放置在除尘治具内的芯片吹风除尘;其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述除尘机构至少包含有两个相对设置的出风部件,其中一个所述出风部件上设置有可变向的出风口。

3.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述出风部件包括风板和风管,所述风板和风管分别与正压系统连通;所述风板安装在除尘壳体的上部,所述风管设置在除尘壳体的下部且与除尘壳体枢接,所述除尘壳体上还设置有用于驱动所述风管转动的驱动机构,所述除尘治具设置在风板和风管之间。

4.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述机架上还安装有负压系统,所述排气口设置在除尘壳体的底部,所述负压系统的进气端与排气口连通;所述除尘壳体靠近排气口的区域为斜面设置。

5.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述载物台的进气端管与负压系统连通,用于对载具进行吸紧或者松开,所述载物台上安装有所述载具,所述载具用于夹持芯片。

6.根据权利要求5所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述载具包括上载具和下载具,所述上载具和下载具通过磁接固定,所述上载具和下载具之间用于夹持芯片,所述下载具上的吹风孔为阔口设置。

7.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述机架上还安装有负离子管,所述负离子管的一端与风板连通,另一端与负离子发生器连通;所述负离子管吹出的负离子在腔体内部与空气中的电荷中和;所述负离子发生器的进气端与正压系统连通。

8.根据权利要求3所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述驱动机构固接在机架上,所述驱动机构与风管之间通过齿轮传动连接,所述风管靠近驱动机构的一端外露于除尘壳体外部且安装有旋转气嘴,所述旋转气嘴的进气端与正压系统连通,使得风管在转动时旋转气嘴不动;所述驱动机构和风管对应设置有若干个,且单独连接,使得一个所述驱动机构控制一个所述风管转动。

9.根据权利要求3所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述风板的内部空心结构,所述风板靠近除尘治具的一端上设置有若干个第一出风孔;所述风管靠近除尘治具的一端上设置有若干个第二出风孔。

...

【技术特征摘要】

1.一种易于密封的除尘设备,包括机架、除尘壳体、除尘治具和除尘机构;所述机架上安装有除尘壳体、除尘治具和除尘机构,所述除尘壳体围合形成内部腔体结构,所述除尘治具和除尘机构安装在腔体内部,所述腔体的一端设置有排气口;所述除尘机构包含有出风部件,所述出风部件用于向放置在除尘治具内的芯片吹风除尘;其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述除尘机构至少包含有两个相对设置的出风部件,其中一个所述出风部件上设置有可变向的出风口。

3.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述出风部件包括风板和风管,所述风板和风管分别与正压系统连通;所述风板安装在除尘壳体的上部,所述风管设置在除尘壳体的下部且与除尘壳体枢接,所述除尘壳体上还设置有用于驱动所述风管转动的驱动机构,所述除尘治具设置在风板和风管之间。

4.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述机架上还安装有负压系统,所述排气口设置在除尘壳体的底部,所述负压系统的进气端与排气口连通;所述除尘壳体靠近排气口的区域为斜面设置。

5.根据权利要求1所述的一种易于密封的除尘设备,其特征在于:所述载物台的进气端管与负压系统连通,用于...

【专利技术属性】
技术研发人员:杜洪化唐拓夏良贺京峰陈建波朱炳浩
申请(专利权)人:东莞市崴泰电子有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1