【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，具体的是涉及一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置。
技术介绍
1、在坩埚蒸发式蒸镀工艺中，镀膜材料通过坩埚加热熔融的方式进行真空镀膜，镀膜前需要提供大量的能量使坩埚升温，以使坩埚内的镀膜材料呈熔融状态。
2、在通过坩埚加热蒸发镀膜材料以形成蒸发料并沉积在薄膜上的真空镀膜过程中，其升温熔融坩埚内的镀膜材料需要大量的热量，同时需要较长的加热过程，由于坩埚的坩埚口呈敞开的状态，坩埚在加热过程坩埚内的热量容易从坩埚口外溢，热量损失较大，从而导致能量的利用率降低，且坩埚内升温的速率减缓，降低了镀膜效率。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本技术提供一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置，可减少坩埚内的热量从坩埚口溢出，从而可减少热量的损失，提高了能量的利用率，且提高了坩埚内的升温速率，提高了镀膜效率。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、本技术的第一方面提供一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构，包括盖板和升降驱动机构，所述盖板的底端设有第一凸起，所述第一凸起用于堵住或打开蒸发机构的耐高温容器的容器口，所述升降驱动机构用于驱动所述盖板上下移动，从而可带动所述第一凸起上下移动。
4、作为优选的技术方案，还包括框架以及位于所述框架下方的底座，所述盖板的两端分别设置在所述框架的顶端两侧，所述第一凸起位于所述框架的内侧，所述升降驱动机构设置在所述底座的顶端并与所述框架连接，所述升降驱动机构用于驱动所述框架
5、作为优选的技术方案，所述升降驱动机构包括至少两个升降气缸，所述两个升降气缸均设置在所述底座的顶端，所述两个升降气缸的输出端分别与所述框架的其中两个对角连接，所述框架的另外两个对角分别通过导柱导套结构与所述底座的顶端连接。
6、作为优选的技术方案，还包括设置在所述框架上的水平驱动机构，所述水平驱动机构用于驱动所述盖板左右移动，从而可带动所述第一凸起左右移动。
7、作为优选的技术方案，所述水平驱动机构包括设置在所述框架顶端的驱动电机、丝杆和螺母，所述丝杆的两端分别可转动地设置在所述框架的顶端，所述丝杆的长度方向与所述框架的长度方向相同，所述驱动电机的输出端与所述丝杆的一端连接，所述螺母与所述丝杆螺纹配合并与所述盖板的一端连接；所述框架的顶端两侧沿框架的长度方向分别设有轨道，所述盖板的两端分别设有与所述轨道对应的支耳，所述支耳的外周套设有滚轮，所述滚轮与对应的轨道滚动配合，所述螺母与其中一个支耳的末端连接。
8、作为优选的技术方案，所述支耳的外周套设有挡片，所述挡片位于所述盖板和对应的轨道之间并与对应的轨道相接触。
9、作为优选的技术方案，所述盖板的底端设有第二凸起，所述第二凸起位于所述框架的内侧并位于所述第一凸起的一侧，所述盖板的上下移动可带动所述第二凸起上下移动，所述盖板的左右移动可带动所述第二凸起左右移动。
10、作为优选的技术方案，所述第一凸起上设有环状的台阶，所述台阶用于与耐高温容器内壁上的容器台阶紧密配合，所述第一凸起的末端设有第一倒圆角，所述第二凸起的末端设有第二倒圆角。
11、作为优选的技术方案，所述盖板包括两个呈左右平行设置的子盖板，所述子盖板的两端分别设置在所述框架的顶端两侧，其中一个子盖板的底端设有所述第一凸起，还包括设置在所述框架顶端的水平驱动机构，所述水平驱动机构用于驱动所述两个子盖板沿所述框架的长度方向相向或背向移动，以使两个子盖板对接或分开。
12、作为优选的技术方案，所述两个子盖板其中之一设有沿子盖板的长度方向延伸的条形孔，其中之另一设有沿子盖板的长度方向延伸的插接片，所述插接片与所述条形孔对应，当所述两个子盖板对接时，所述插接片与所述条形孔插接配合。
13、本技术的第二方面提供一种蒸发镀膜装置，包括放卷辊、镀膜主辊、收卷辊以及蒸发机构，所述蒸发机构位于所述镀膜主辊的下方，所述蒸发机构包括耐高温容器，还包括上述技术方案所述的冷却盖板结构。
14、本技术的有益效果是：本技术通过设置的升降驱动机构和盖板，在实际应用时，在对坩埚内盛装的镀膜材料进行加热蒸发前，先通过升降驱动机构驱动盖板向下移动，从而可带动第一凸起向下移动，使第一凸起插入到蒸发机构的坩埚内以堵住该坩埚的坩埚口，然后再对坩埚内盛装的镀膜材料进行加热蒸发，由于坩埚的坩埚口被第一凸起堵住，这样可减少坩埚内的热量从坩埚口溢出，从而可减少热量的损失，提高了能量的利用率，且提高了坩埚内的升温速率，使得坩埚内的镀膜材料能够快速地达到稳态蒸发的状态，提高了镀膜效率。
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1.一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构，其特征在于，包括盖板和升降驱动机构，所述盖板的底端设有第一凸起，所述第一凸起用于堵住或打开蒸发机构的耐高温容器的容器口，所述升降驱动机构用于驱动所述盖板上下移动，从而可带动所述第一凸起上下移动。
2.根据权利要求1所述的冷却盖板结构，其特征在于，还包括框架以及位于所述框架下方的底座，所述盖板的两端分别设置在所述框架的顶端两侧，所述第一凸起位于所述框架的内侧，所述升降驱动机构设置在所述底座的顶端并与所述框架连接，所述升降驱动机构用于驱动所述框架上下移动，从而可带动所述盖板上下移动。
3.根据权利要求2所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述升降驱动机构包括至少两个升降气缸，所述两个升降气缸均设置在所述底座的顶端，所述两个升降气缸的输出端分别与所述框架的其中两个对角连接，所述框架的另外两个对角分别通过导柱导套结构与所述底座的顶端连接。
4.根据权利要求2所述的冷却盖板结构，其特征在于，还包括设置在所述框架上的水平驱动机构，所述水平驱动机构用于驱动所述盖板左右移动，从而可带动所述第一凸起左右移动。
5.根据
6.根据权利要求5所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述支耳的外周套设有挡片，所述挡片位于所述盖板和对应的轨道之间并与对应的轨道相接触。
7.根据权利要求4、5或6所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述盖板的底端设有第二凸起，所述第二凸起位于所述框架的内侧并位于所述第一凸起的一侧，所述盖板的上下移动可带动所述第二凸起上下移动，所述盖板的左右移动可带动所述第二凸起左右移动。
8.根据权利要求7所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述第一凸起上设有环状的台阶，所述台阶用于与耐高温容器内壁上的容器台阶紧密配合，所述第一凸起的末端设有第一倒圆角，所述第二凸起的末端设有第二倒圆角。
9.根据权利要求2或3所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述盖板包括两个呈左右平行设置的子盖板，所述子盖板的两端分别设置在所述框架的顶端两侧，其中一个子盖板的底端设有所述第一凸起，还包括设置在所述框架顶端的水平驱动机构，所述水平驱动机构用于驱动所述两个子盖板沿所述框架的长度方向相向或背向移动，以使两个子盖板对接或分开。
10.一种蒸发镀膜装置，包括放卷辊、镀膜主辊、收卷辊以及蒸发机构，所述蒸发机构位于所述镀膜主辊的下方，所述蒸发机构包括耐高温容器，其特征在于，还包括如权利要求1-9中任一项权利要求所述的冷却盖板结构。
...【技术特征摘要】
1.一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构，其特征在于，包括盖板和升降驱动机构，所述盖板的底端设有第一凸起，所述第一凸起用于堵住或打开蒸发机构的耐高温容器的容器口，所述升降驱动机构用于驱动所述盖板上下移动，从而可带动所述第一凸起上下移动。
2.根据权利要求1所述的冷却盖板结构，其特征在于，还包括框架以及位于所述框架下方的底座，所述盖板的两端分别设置在所述框架的顶端两侧，所述第一凸起位于所述框架的内侧，所述升降驱动机构设置在所述底座的顶端并与所述框架连接，所述升降驱动机构用于驱动所述框架上下移动，从而可带动所述盖板上下移动。
3.根据权利要求2所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述升降驱动机构包括至少两个升降气缸，所述两个升降气缸均设置在所述底座的顶端，所述两个升降气缸的输出端分别与所述框架的其中两个对角连接，所述框架的另外两个对角分别通过导柱导套结构与所述底座的顶端连接。
4.根据权利要求2所述的冷却盖板结构，其特征在于，还包括设置在所述框架上的水平驱动机构，所述水平驱动机构用于驱动所述盖板左右移动，从而可带动所述第一凸起左右移动。
5.根据权利要求4所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述水平驱动机构包括设置在所述框架顶端的驱动电机、丝杆和螺母，所述丝杆的两端分别可转动地设置在所述框架的顶端，所述丝杆的长度方向与所述框架的长度方向相同，所述驱动电机的输出端与所述丝杆的一端连接，所述螺母与所述丝杆螺纹配合并与所述盖板的一端连接；所述框架的顶端两侧沿框架的长...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧伟，罗能铁，
申请(专利权)人：深圳市镭煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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