【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，具体的是涉及一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置。
技术介绍
1、在坩埚蒸发式蒸镀工艺中，镀膜材料通过坩埚加热熔融的方式进行真空镀膜，镀膜前需要提供大量的能量使坩埚升温，以使坩埚内的镀膜材料呈熔融状态。
2、在通过坩埚加热蒸发镀膜材料以形成蒸发料并沉积在薄膜上的真空镀膜过程中，其升温熔融坩埚内的镀膜材料需要大量的热量，同时需要较长的加热过程，由于坩埚的坩埚口呈敞开的状态，坩埚在加热过程坩埚内的热量容易从坩埚口外溢，热量损失较大，从而导致能量的利用率降低，且坩埚内升温的速率减缓，降低了镀膜效率。
技术实现思路
1、为了克服现有技术的不足，本技术提供一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置，可减少坩埚内的热量从坩埚口溢出，从而可减少热量的损失，提高了能量的利用率，且提高了坩埚内的升温速率，提高了镀膜效率。
2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、本技术的第一方面提供一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构，包括盖板和升降驱动机...
【技术保护点】
1.一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构，其特征在于，包括盖板和升降驱动机构，所述盖板的底端设有第一凸起，所述第一凸起用于堵住或打开蒸发机构的耐高温容器的容器口，所述升降驱动机构用于驱动所述盖板上下移动，从而可带动所述第一凸起上下移动。
2.根据权利要求1所述的冷却盖板结构，其特征在于，还包括框架以及位于所述框架下方的底座，所述盖板的两端分别设置在所述框架的顶端两侧，所述第一凸起位于所述框架的内侧，所述升降驱动机构设置在所述底座的顶端并与所述框架连接，所述升降驱动机构用于驱动所述框架上下移动，从而可带动所述盖板上下移动。
3.根据权利要求2所述的冷却...
【技术特征摘要】
1.一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构，其特征在于，包括盖板和升降驱动机构，所述盖板的底端设有第一凸起，所述第一凸起用于堵住或打开蒸发机构的耐高温容器的容器口，所述升降驱动机构用于驱动所述盖板上下移动，从而可带动所述第一凸起上下移动。
2.根据权利要求1所述的冷却盖板结构，其特征在于，还包括框架以及位于所述框架下方的底座，所述盖板的两端分别设置在所述框架的顶端两侧，所述第一凸起位于所述框架的内侧，所述升降驱动机构设置在所述底座的顶端并与所述框架连接，所述升降驱动机构用于驱动所述框架上下移动，从而可带动所述盖板上下移动。
3.根据权利要求2所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述升降驱动机构包括至少两个升降气缸，所述两个升降气缸均设置在所述底座的顶端，所述两个升降气缸的输出端分别与所述框架的其中两个对角连接，所述框架的另外两个对角分别通过导柱导套结构与所述底座的顶端连接。
4.根据权利要求2所述的冷却盖板结构，其特征在于，还包括设置在所述框架上的水平驱动机构，所述水平驱动机构用于驱动所述盖板左右移动，从而可带动所述第一凸起左右移动。
5.根据权利要求4所述的冷却盖板结构，其特征在于，所述水平驱动机构包括设置在所述框架顶端的驱动电机、丝杆和螺母，所述丝杆的两端分别可转动地设置在所述框架的顶端，所述丝杆的长度方向与所述框架的长度方向相同，所述驱动电机的输出端与所述丝杆的一端连接，所述螺母与所述丝杆螺纹配合并与所述盖板的一端连接；所述框架的顶端两侧沿框架的长...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧伟，罗能铁，
申请(专利权)人：深圳市镭煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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