【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蒸镀设备，具体地说，是涉及一种蒸发电极夹紧装置及蒸发镀膜设备。
技术介绍
1、导电薄膜一种是在pet、pp等基材的顶面、底面均镀上铜层或者铝层的高分子材料，具有三明治结构，也被称为复合薄膜集流体，是一类具有多种良好性能的材料，广泛运用于锂离子电池中，在锂离子电池中主要作为电池集流体使用。
2、导电薄膜的生产可以用真空蒸镀法，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。在镀膜时，膜料一般放置在蒸发槽上的蒸发舟内进行加热蒸发，当蒸发分子的平均自由程大于蒸发源与基片间的线尺寸后，蒸发的粒子从蒸发源表面上逸出，在飞向基片表面过程中很少受到其他粒子(主要是残余气体分子)的碰撞阻碍，可直接到达基片表面上凝结而生成薄膜。
3、真空镀膜通常为电阻式加热，将蒸发舟夹持在正负电极之间，将待蒸镀物质放入蒸发舟中，给电极通入电流，电流流经蒸发舟，蒸...
【技术保护点】
1.一种蒸发电极夹紧装置，其特征在于，包括设置在真空腔室外侧的驱动机构、设置在所述真空腔室内的夹紧机构，所述夹紧机构包括压板、第一连杆，所述驱动机构的输出端与所述第一连杆的一端连接，所述第一连杆的另一端与所述压板的端部连接；
2.根据权利要求1所述的蒸发电极夹紧装置，其特征在于，还包括第二连杆，所述第二连杆的一端通过万向节与所述一连杆的一端连接，所述第二连杆的另一端与所述压板的端部连接。
3.根据权利要求2所述的蒸发电极夹紧装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动源、第三连杆、第四连杆，所述驱动源的输出端与所述第三连杆的一端铰接，所述第三连杆的另...
【技术特征摘要】
1.一种蒸发电极夹紧装置，其特征在于，包括设置在真空腔室外侧的驱动机构、设置在所述真空腔室内的夹紧机构，所述夹紧机构包括压板、第一连杆，所述驱动机构的输出端与所述第一连杆的一端连接，所述第一连杆的另一端与所述压板的端部连接；
2.根据权利要求1所述的蒸发电极夹紧装置，其特征在于，还包括第二连杆，所述第二连杆的一端通过万向节与所述一连杆的一端连接，所述第二连杆的另一端与所述压板的端部连接。
3.根据权利要求2所述的蒸发电极夹紧装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动源、第三连杆、第四连杆，所述驱动源的输出端与所述第三连杆的一端铰接，所述第三连杆的另一端与所述第四连杆的一端连接，所述第四连杆的另一端与所述第一连杆远离所述第二连杆的一端连接。
4.根据权利要求3所述的蒸发电极夹紧装置，其特征在于，所述第三连杆的一端通过联轴器与所述第四连杆的一端连接。
5.根据权利要求1所述的蒸发电极夹紧装置，其特征在于，所述驱动机构包括旋转气缸，所述旋...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧伟，罗能铁，
申请(专利权)人：深圳市镭煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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