【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜机,特别涉及一种坩埚位置信息储存的plc系统。
技术介绍
1、镀膜机设有坩埚,坩埚设有多个穴位,每个空位放置有不同的材料,当发生停电、故障等异常情况时,坩埚的位置失效,即位置信息掉失,镀膜机需要重新调试或重新镀膜,浪费时间与材料。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种坩埚位置信息储存的plc系统,坩埚的电机设有编码器,plc装置能够记录编码器的位置信息,从而储存坩埚的角度位置信息,当发生停电、故障等异常情况时,plc装置储存的信息不会掉失,当重新通电或故障消除后,plc装置可根据该角度位置信息恢复坩埚的位置,从而避免重新调试设备,或重新进行镀膜,从而节约时间与材料。
2、为达此目的,本技术采用以下技术方案:
3、一种坩埚位置信息储存的plc系统,包括plc装置、坩埚、电子枪与膜厚仪;
4、电子枪与膜厚仪均与plc装置信号连接;
5、还包括电机与编码器,编码器与坩埚均和电机的转轴联动;
6、电机与编码器均与plc
...【技术保护点】
1.一种坩埚位置信息储存的PLC系统,其特征在于,包括PLC装置(2)、坩埚(3)、电子枪(6)与膜厚仪(7);
2.根据权利要求1所述一种坩埚位置信息储存的PLC系统,其特征在于,所述电机(41)与编码器(42)均以脉冲信号和PLC装置(2)连接。
3.根据权利要求1所述一种坩埚位置信息储存的PLC系统,其特征在于,还包括真空室(5),所述坩埚(3)、电子枪(6)与膜厚仪(7)均设于所述真空室(5)内。
4.根据权利要求3所述一种坩埚位置信息储存的PLC系统,其特征在于,所述真空室(5)设有真空机(51),所述真空机(51)与PL
...【技术特征摘要】
1.一种坩埚位置信息储存的plc系统,其特征在于,包括plc装置(2)、坩埚(3)、电子枪(6)与膜厚仪(7);
2.根据权利要求1所述一种坩埚位置信息储存的plc系统,其特征在于,所述电机(41)与编码器(42)均以脉冲信号和plc装置(2)连接。
3.根据权利要求1所述一种坩埚位置信息储存的plc系统,其特征在于,还包括真空室(5),所述坩埚(3)、电子枪(6)与膜厚仪(7)均设于所述真空室(5)内。
4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖顺东,覃亚,
申请(专利权)人:广东北创光电科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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