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本技术公开了一种坩埚位置信息储存的PLC系统，包括PLC装置、坩埚、电子枪与膜厚仪，电子枪与膜厚仪均与PLC装置信号连接，还包括电机与编码器，编码器与坩埚均和电机的转轴联动，电机与编码器均与PLC装置信号连接，坩埚呈环状，设有多个穴位，编码...
该专利属于广东北创光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东北创光电科技股份有限公司授权不得商用。

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