下载一种蒸发电极夹紧装置及蒸发镀膜设备的技术资料

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本技术公开了蒸镀设备领域中的一种蒸发电极夹紧装置及蒸发镀膜设备,蒸发电极夹紧装置包括设置在真空腔室外侧的驱动机构、设置在所述真空腔室内的夹紧机构,所述夹紧机构包括压板、第一连杆,所述驱动机构的输出端与所述第一连杆的一端连接,所述第一连杆的另...
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