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一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置制造方法及图纸
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下载一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置的技术资料
文档序号:40094233
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本技术公开了一种用于蒸发镀膜的冷却盖板结构及蒸发镀膜装置,该盖板结构包括盖板和升降驱动机构,所述盖板的底端设有第一凸起,所述第一凸起用于堵住或打开蒸发机构的耐高温容器的坩埚口,所述升降驱动机构用于驱动所述盖板上下移动,从而可带动所述第一凸起...
该专利属于深圳市镭煜科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市镭煜科技有限公司授权不得商用。
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