【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及烧结炉，具体是一种ito靶材均匀加热的烧结炉。
技术介绍
1、加热时，烧结炉体内腔容易受热不均匀，导致ito靶材各个面受热温度不一，无法保证成品质量，靶材不能得到均匀的受热。
2、公开号为cn115790139a的专利文件公开了一种立式烧结炉，包括炉体和炉门，所述炉门安装于炉体顶部开口处，所述炉体和炉门之间安设有可将其两者进行锁定的抱箍，所述炉体和炉门之间安设有升降旋转组件，所述升降旋转组件的下端与炉体外壁连接，所述升降旋转组件的上端与炉门外侧顶部连接，所述升降旋转组件带动炉门竖直向上移动至抱箍上侧，继而螺旋上移在水平方向远离炉体。本专利技术的炉门开启装置结构紧凑，操作方便，制造成本低，通过第一油缸推动升降主轴沿着导向槽竖直向上移动将炉门顶升，随着导向槽轨迹的变化，升降主轴螺旋上移，带动炉门在水平方向远离炉体，实现炉门开启工作，炉门开启状态时，炉门在水平方向远离炉体，从而使炉体顶部更开放，便于装卸工件。
3、上述装置存在以下不足，上述装置在使用时无法快速地针对靶材进行轮换，烧结过程中缺乏保持温度各处...
【技术保护点】
1.一种ITO靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，包括烧结箱(1)，所述烧结箱(1)的顶部设有密封顶盖(2)，密封顶盖(2)下表面的前后两侧均密封固定连接有密封侧板(3)，所述烧结箱(1)的左右两侧均安装有第一推杆(12)，第一推杆(12)的伸缩端安装有连接块(14)，连接块(14)与密封顶盖(2)固定连接，所述烧结箱(1)底部的前后两侧均安装有支撑侧台(4)，支撑侧台(4)上滑动设有支撑箱(5)，所述密封顶盖(2)的下表面中部安装有安装板(17)，安装板(17)下表面安装有若干个呈等角度均匀分布的加热竖管(18)，安装板(17)下且位于每个加热竖管(18)周围分别安装...
【技术特征摘要】
1.一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，包括烧结箱(1)，所述烧结箱(1)的顶部设有密封顶盖(2)，密封顶盖(2)下表面的前后两侧均密封固定连接有密封侧板(3)，所述烧结箱(1)的左右两侧均安装有第一推杆(12)，第一推杆(12)的伸缩端安装有连接块(14)，连接块(14)与密封顶盖(2)固定连接，所述烧结箱(1)底部的前后两侧均安装有支撑侧台(4)，支撑侧台(4)上滑动设有支撑箱(5)，所述密封顶盖(2)的下表面中部安装有安装板(17)，安装板(17)下表面安装有若干个呈等角度均匀分布的加热竖管(18)，安装板(17)下且位于每个加热竖管(18)周围分别安装有支撑竖架(19)，支撑竖架(19)上安装有呈等距均匀分布的加热环管(20)，所述烧结箱(1)的底部中心处安装有隔热箱(21)，隔热箱(21)内安装有第二推杆(22)，第二推杆(22)的伸缩端安装有驱动电机(23)，驱动电机(23)的驱动轴上端固定连接有花键轴(24)。
2.根据权利要求1所述的一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述密封顶盖(2)和烧结箱(1)密封抵接，所述密封侧板(3)和烧结箱(1)密封抵接，所述支撑箱(5)上表面中部贯穿嵌设有支撑嵌板(6)，支撑嵌板(6)上表面中部贯穿嵌设有若干个呈等角度均匀分布的旋转盒(7)，旋转盒(7)上表面中部贯穿嵌设有支撑网板(8)，所述旋转盒(7)与加热竖管(18)一一对应，所述烧结箱(1)的底部中心处以及支撑箱(5)的底部中心处均安装有花键套，烧结箱(1)和支撑箱(5)均与所安装的花键套密封转动连接，花键轴(24)与花键套密封滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的中部嵌设有推料滑台(9)，推料滑台(9)的滑块上安装有推杆架(10)，推杆架(10)靠近烧结箱(1)的一端安装有卡接架(11)，所述支撑箱(5)的前后两端均开设有配合卡接架(11)对接的卡接槽。
4.根据权利要求1所述的一种ito靶材均匀加热的烧结炉，其特征在于，所述支撑侧台(4)的上表面与烧结箱(1)底部上表面的左右两侧均开设有限位滑槽(15)，所述支撑箱(5)的底部两侧边缘处均安装有限位嵌杆(16)，限位嵌杆(16)和限位滑槽(15)相互配合，所述烧结箱(1)的内侧底部上表面四角处均嵌设有弹簧卡珠(36)，支撑箱(5)的底部四角对应开设有珠形槽。
5.根据权利要求2所述的一种it...
【专利技术属性】
技术研发人员：高建成，张廷，张莉兰，徐涛，钟小华，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：
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