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本发明公开了一种ITO靶材均匀加热的烧结炉,烧结箱的顶部设有密封顶盖,密封顶盖固定连接有密封侧板,烧结箱安装有第一推杆,第一推杆安装有连接块,连接块与密封顶盖固定连接,烧结箱安装有支撑侧台,支撑侧台上滑动设有支撑箱,密封顶盖的下表面中部安装...该专利属于先导薄膜材料(安徽)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(安徽)有限公司授权不得商用。
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