【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
1、晶片搬运机械手可以使用多种不同类型的末端执行器来搬运半导体晶片。这样的末端执行器可包含，例如，刀片型末端执行器，其通常是长而薄的金属铲状结构，其被设计为从下方支撑半导体晶片。这样的末端执行器通常非常薄，例如仅几毫米的厚度，以便能够在晶片之间滑动，这些晶片是以竖直堆叠的方式排列，且晶片之间的中心至中心的间距为10毫米。
2、本文公开了对具有刀片式末端执行器的晶片搬运机械手的改良。
技术实现思路
1、本说明书中描述的主题的一个或多个实施方案的细节在附图和以下描述中阐述。其他特征、方面和优点将根据所述描述、附图和权利要求中变得显而易见。
2、在一些实现方案中，可提供一种包含末端执行器腕部单元的装置。所述末端执行器腕部单元可以包含：腕部单元外壳；末端执行器安装组件，其具有第一末端执行器安装件；以及一个或多个旋转界面。所述第一末端执行器安装件可以被配置为与第一末端执行器刀片机械性连接，所述第一末端执行器刀片具有限定第一平面的主表面，所述末端执行器安装组件可以通...
【技术保护点】
1.一种装置，其包含：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一末端执行器安装件具有第一平面末端执行器安装表面，当所述第一末端执行器安装件与所述第一末端执行器刀片配合且所述第一平面末端执行器安装表面平行于所述第一轴时，所述第一平面末端执行器安装表面被配置为与所述第一末端执行器刀片配合。
3.根据权利要求1或2中任一项所述的装置，其还包含所述第一末端执行器刀片。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其还包含第一主动止动件和第二主动止动件，所述第一主动止动件被定位成当所述末端执行器安装组件位于所述第一运动角度范围的第一旋转极限时...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种装置，其包含：
2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一末端执行器安装件具有第一平面末端执行器安装表面，当所述第一末端执行器安装件与所述第一末端执行器刀片配合且所述第一平面末端执行器安装表面平行于所述第一轴时，所述第一平面末端执行器安装表面被配置为与所述第一末端执行器刀片配合。
3.根据权利要求1或2中任一项所述的装置，其还包含所述第一末端执行器刀片。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其还包含第一主动止动件和第二主动止动件，所述第一主动止动件被定位成当所述末端执行器安装组件位于所述第一运动角度范围的第一旋转极限时，与所述末端执行器安装组件的一部分接触，以及所述第二主动止动件被定位成当所述末端执行器安装组件处在所述第一运动角度范围的第二旋转极限时，与所述末端执行器安装组件的一部分接触。
5.根据权利要求4所述的装置，其中所述第一主动止动件以及所述第二主动止动件中的一者或两者是能调整的。
6.根据权利要求1或5中任一项所述的装置，其中所述第一运动角度范围小于10度。
7.根据权利要求1或6中任一项所述的装置，其还包含：阻尼机构，其被配置为缓冲所述末端执行器安装组件相对于所述腕部单元外壳的旋转运动。
8.根据权利要求7所述的装置，其还包含拉杆以及摇臂，其中：
9.根据权利要求8所述的装置，其中所述第五轴和所述第四轴之间的第一距离大于所述第五轴和所述第二轴之间的第二距离。
10.根据权利要求9所述的装置，其中所述第一距离为所述第二距离的至少1.5倍。
11.根据权利要求3至10中任一项所述的装置，其还包含第二末端执行器刀片，所述第二末端执行器刀片相对于所述末端执行器安装组件是固定的。
12.根据权利要求11所述的装置，其中：
13.根据权利要求12所述的装置，其中随着该捕获表面从所述升高部延伸的距离...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗丝·C·恩伯特森，布兰登·李·森，查尔斯·N·迪特莫尔，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：
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