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本文公开了提供刀片型末端执行器的晶片搬运机械手以及相关系统，刀片型末端执行器具有内置的柔顺机构，其允许末端执行器刀片由于在第一配置以及第二配置中的重力负荷而相对于末端执行器腕部单元的腕部单元外壳少量旋转，在第二配置时，腕部单元外壳为从第一配...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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