一种钛铝靶材及其制备方法技术

本申请属于靶材生产技术领域，公开了一种钛铝靶材的制备方法，该方法先按钛粉与铝粉为4～5：5～6的质量比称料，随后将钛粉、铝粉、抗氧化剂放入混料机中混合，制得粉体一，所述抗氧化剂选自硬脂酸、植酸钠、茶多酚中的至少一种，所述抗氧化剂的添加量为钛粉和铝粉总质量的0.1～0.5％；随后在氮气或氩气的氛围下对粉体一进行球磨，制得粉体二，球磨时间为6～12小时；最后对粉体二进行热等静压烧结，随后冷却、出炉，得到钛铝靶材，通过上述制备方法，制得了一种氧含量低，致密度高，机械性能优秀的钛铝靶材，此外，本申请还公开了一种钛铝靶材，由上述钛铝靶材的制备方法制得。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及靶材制备，尤其涉及一种钛铝靶材及其制备方法。

技术介绍

1、硬质合金涂层材料以其良好的耐磨、耐腐蚀和耐高温氧化等特性而被广泛应用于切削刀具和耐磨零部件等机械加工领域。目前可用于涂层制作的材料包括钛铝(tial)、铬铝(cral)、钛硅(tisi)、碳化钨(wc)及氮化物材料，其中钛铝合金制备的钛铝靶为氮气(n2)氛围下通过磁控溅射的方式制得，可为机械加工中钻头、铣刀、数控刀片、滚齿刀等刀具提供抗氧化氮化物涂层(tialn)，使刀具延长使用寿命，同时刀具涂层的结合力受涂层材料中的氧含量影响，当氧含量较高时，涂层和刀具的结合力不强，涂层极易在车削时与刀具脱落，从而使刀具产生崩口、钝刀等现象。

2、由于钛(ti)和铝(al)的熔点分别为1668℃、660℃，两者熔点差距较大，较难采取真空熔炼方式制备组织分布比较均匀的tial合金，目前常常采取ti粉和al粉混合并进一步加压致密化的方式制备tial合金，因此tial合金的氧含量较大程度上取决于原料中的氧含量和过程中氧的引入量，对于原料中的氧而言，由于铝粉的表面会形成致密的氧化铝(al2o3本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种钛铝靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述钛粉为酸洗后的钛粉，所述酸洗后的钛粉由钛粉通过浓度为0.5～3mol/L的弱酸清洗2～10min并烘干制得，所述弱酸选自冰醋酸、稀盐酸、硅酸中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤3具体为：将步骤2制得的粉体二置于内表面覆盖有石墨纸的包套内并使用盖板密封包套，完成装模；

4.根据权利要求1所述的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，步骤1在惰性气体手套箱中完成。

5.根据权利要求3所...

【技术特征摘要】

1.一种钛铝靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，步骤1中，所述钛粉为酸洗后的钛粉，所述酸洗后的钛粉由钛粉通过浓度为0.5～3mol/l的弱酸清洗2～10min并烘干制得，所述弱酸选自冰醋酸、稀盐酸、硅酸中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的钛铝靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤3具体为：将步骤2制得的粉体二置于内表面覆盖有石墨纸的包套内并使用盖板密封包套，完成装模；

4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯龙泉，马国成，陆维镇，欧海玲，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：