工艺节点管控方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种工艺节点管控方法、装置、设备及介质。该方法包括：获取各个直拉单晶设备的运行信息以及工艺节点的预设信息；根据运行信息和预设信息，确定对应的直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及预计开始时间；根据各个直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及后续的工艺节点的预计开始时间，对各个直拉单晶设备的工艺节点进行管控，使得针对直拉单晶工艺，自动确定当前所处的工艺节点，并预测后续的工艺节点的开始时间，以便据此对直拉单晶的工艺节点进行管控，实现了符合直拉单晶工艺特点的数字化、网络化、智能化的管控，避免人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备，特别是涉及一种工艺节点管控方法、一种工艺节点管控装置、一种电子设备以及一种存储介质。

技术介绍

1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主，利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

2、首先将石英埚装入坩埚上，然后将多晶硅料装入石英埚。装料完成后合炉，然后开始抽真空，在达到真空要求后，充入氩气，在微负压的情况下，打开加热器开始加热。然后根据熔料的工艺要求逐步升高温度，达到熔料的温度，将固态多晶硅原料熔化成液态。当多晶硅原料融化完成后，还不能马上开始引晶，因为这时的温度要高于引晶温度，还必须经过降温，将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触，在引晶温度下，硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长，从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径，在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长，直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体，以便消除晶本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种工艺节点管控方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个...

【技术特征摘要】

1.一种工艺节点管控方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫颖，李朋朋，李靖，赵阳，庞利秋，刘宇洋，牛淑艳，卓珍珍，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：