【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶体制备，特别是涉及一种工艺节点管控方法、一种工艺节点管控装置、一种电子设备以及一种存储介质。
技术介绍
1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主，利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。
2、首先将石英埚装入坩埚上，然后将多晶硅料装入石英埚。装料完成后合炉，然后开始抽真空，在达到真空要求后，充入氩气，在微负压的情况下，打开加热器开始加热。然后根据熔料的工艺要求逐步升高温度，达到熔料的温度，将固态多晶硅原料熔化成液态。当多晶硅原料融化完成后，还不能马上开始引晶，因为这时的温度要高于引晶温度，还必须经过降温，将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触，在引晶温度下，硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长，从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径，在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长，直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体，以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后，进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤，在该步骤中，通过对拉速和温度的自动控制，让晶体将按照设定的直径等径生长。等径是单晶生产过程中可以转化为产量的工步，是整个拉晶过程中的核心工步。晶体在完成等径生长后将进入收尾过程，收尾的过程也是为了消除位错。收尾完成后晶体生长基本完成，让晶体继续保
3、在单晶生产制造业中，传统的工时统计模式为操作辅工逐个统计各个炉台的运行工步，估计进入等径的时间，并根据进入等径的时间和等径的长度，预测当天的产量或某一时刻的产量，汇报给上级领导。这种传统的生产模式存在人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证等问题。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种工艺节点管控方法，以解决工时统计模式存在的人员浪费严重、统计周期较长、信息流转落后、准确性无法保证的问题。
2、相应的，本专利技术实施例还提供了一种工艺节点管控装置、一种电子设备以及一种存储介质，用以保证上述方法的实现及应用。
3、为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种工艺节点管控方法，包括：
4、获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；
5、根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；
6、根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。
7、可选地，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。
8、可选地，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；
9、所述根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间包括：
10、根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点和工艺子节点；
11、根据所述运行信息、预设信息和当前所处的工艺节点和工艺子节点，确定对应的所述直拉单晶设备后续的工艺节点和工艺子节点以及所述后续的工艺节点和工艺子节点的预计开始时间。
12、可选地，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不加料任务开始、引晶开始、放肩开始、等径开始。
13、可选地，所述运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。
14、可选地，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：
15、根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，显示目标时间段内工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备；
16、根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，针对所述工艺节点进入等径的直拉单晶设备和/或工艺节点进入合炉的直拉单晶设备，显示不同工作人员的完成情况和未完成情况；
17、根据所述不同工作人员的完成情况和未完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。
18、可选地，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：
19、针对各个所述直拉单晶设备，分别显示所有工艺节点的完成情况；
20、根据所述所有工艺节点的完成情况，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。
21、本专利技术实施例还公开了一种工艺节点管控装置，包括：
22、信息获取模块，用于获取各个直拉单晶设备的运行信息，以及工艺节点的预设信息；
23、节点确定模块，用于根据所述运行信息和预设信息，确定对应的所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间；
24、节点管控模块，用于根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控。
25、可选地，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种工艺节点管控方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、
5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述运行信息包括经过的工艺节点和工艺子节点，从所述直拉单晶设备采集的实时数据和硬件信息，在所述工艺子节点中需完成的至少一个操作任务的实时状态和操作信息，所述预设信息包括各个工艺节点的标准数据和标准工时。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据各个所述直拉单晶设备当前所处的工艺节点，后续的工艺节点以及所述后续的工艺节点的预计开始时间，对各个所述直拉单晶设备的工艺节点进行管控包括：
8.一种工艺节点管控装置，其特征在于，包括：
9.一种电子设备，其特征在于，包括处理器、通信接口、存储器和通信总线，其中，处理器，通信接口，存储器通过通信总线完成相互间的通信；
10.一种可读存储介质，其特征在于，当所述存储介质中的指令由电子设备的处理器执行时，使得电子设备能够执行如方法权利要求1-7中一个或多个所述的工艺节点管控方法。
...【技术特征摘要】
1.一种工艺节点管控方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺节点包括合炉追踪节点、首次等径节点、加料等径节点和不加料等径节点，所述合炉追踪节点对应于从停炉开始到抽空开始的工艺过程，所述首次等径节点对应于从抽空开始到第一次等径开始的工艺过程，所述加料等径节点对应于从叫料开始到等径开始的工艺过程，所述不加料等径节点对应于从不加料任务开始到等径开始的工艺过程。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点包括多个工艺子节点，所述首次等径节点包括多个工艺子节点，所述加料等径节点包括多个工艺子节点，所述不加料等径节点包括多个工艺子节点，所述预设信息包括各个工艺子节点的标准工时；
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述合炉追踪节点对应的工艺子节点包括停炉开始、拆炉开始、装炉完成、合炉卫生确认、送料完成、抽空开始；所述首次等径节点对应的工艺子节点包括抽空开始、熔料开始、送料完成、加料开始、加料结束、打埚转、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述加料等径节点对应的工艺子节点包括叫料开始、送料完成、取棒完成、加料开始、加料结束、引晶开始、放肩开始、等径开始；所述不加料等径节点对应的工艺子节点包括不...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫颖，李朋朋，李靖，赵阳，庞利秋，刘宇洋，牛淑艳，卓珍珍，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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