下载工艺节点管控方法、装置、电子设备及存储介质的技术资料

文档序号:40007169

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本发明实施例提供了一种工艺节点管控方法、装置、设备及介质。该方法包括:获取各个直拉单晶设备的运行信息以及工艺节点的预设信息;根据运行信息和预设信息,确定对应的直拉单晶设备当前所处的工艺节点,后续的工艺节点以及预计开始时间;根据各个直拉单晶设...
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