一种真空镀膜设备制造技术

本技术公开一种真空镀膜设备，涉及太阳能电池制造技术领域。其中真空镀膜设备包括：沿工艺流程依次设置的多个工艺腔室，且相邻的两个工艺腔室之间设置有过渡腔室，过渡腔室的腔内高度小于工艺腔室的腔内高度，且相邻的两个工艺腔室的工作气压不同；真空泵，工艺腔室和过渡腔室均设置有真空泵；承载件，承载件能够支撑并固定工件；输送机构，输送机构能够带动承载件和工件在工艺腔室或过渡腔室内移动。该真空镀膜设备中，过渡腔室内或者过渡腔室与工艺腔室之间均不设置门阀、真空锁等开闭装置，也无需设置限位传感器，在满足工艺腔室不同工作气压的同时，简化了设备结构，降低了设备成本，提高了运行的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种真空镀膜设备。

技术介绍

1、随着近年光伏装机量大幅上升，我国光伏发展之路正处于爆发式增长。太阳能电池作为中游光伏组件最重要的构成部分，其制造过程中的降本提效始终是本领域的研究热点。

2、太阳能电池制造过程中，需要对基片进行真空镀膜。目前，真空镀膜设备一般包括多个工艺腔室，相邻的工艺腔室之间通过过渡区连接，基片可以分别在多个工艺腔室内镀膜以完成多种不同的镀膜工艺。然而，不同的镀膜工艺对真空压力要求不同，为了保证相邻的两个工艺腔室的真空压力不同，如图1所示，相邻的工艺腔室之间一般设置多个过渡区，相邻的过渡区之间设置有门阀3，。

3、以相邻的工艺腔室之间设置三个过渡区为例，当基片在第一工艺腔室1，，完成镀膜后，载板带动基片进入过渡区a，过渡区a内气压与第一工艺腔室1，内气压相等，载板带动基片停留在过渡区a内，待过渡区b内气压调整至与过渡区a内气压相等时，过渡区a和过渡区b之间的门阀3，开启，载板带动基片从过渡区a移动至过渡区b并停留在过渡区b内，此时调整过渡区b内气压直至过渡区b内气压与过渡区c内气本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述承载件为载板；

3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述过渡腔室的顶壁与所述工艺腔室的顶壁平齐设置；和/或，

4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述过渡腔室安装的真空泵的数量与所述过渡腔室沿着所述承载件传输方向的长度成正比。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述过渡腔室的至少两个相对的壁均沿着所述过渡腔室的长度方向布置有多个所述真空泵；和/或，

6.根据权利要求1-5中任一项所述的真空镀...

【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述承载件为载板；

3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述过渡腔室的顶壁与所述工艺腔室的顶壁平齐设置；和/或，

4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述过渡腔室安装的真空泵的数量与所述过渡腔室沿着所述承载件传输方向的长度成正比。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述过渡腔室的至少两个相对的壁均沿着所述过渡腔室的长度方向布置有多个所述真空泵；和/或，

6.根据权利要求1-5中任一项所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述过渡腔室...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡永安，王志强，黄涛，翟宇宁，徐希翔，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：