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本技术公开一种真空镀膜设备，涉及太阳能电池制造技术领域。其中真空镀膜设备包括：沿工艺流程依次设置的多个工艺腔室，且相邻的两个工艺腔室之间设置有过渡腔室，过渡腔室的腔内高度小于工艺腔室的腔内高度，且相邻的两个工艺腔室的工作气压不同；真空泵，工...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

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