【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化学气相沉积，具体的说是一种用于大型碳碳载板表面涂层沉积的工装。
技术介绍
1、化学气相沉积(cvd)是一种材料表面改性技术。它可以利用气相间的反应,在不改变基体材料的成分和不削弱基体材料的强度条件下,赋予材料表面一些特殊的性能。目前,由化学气相沉积技术制备的材料,例如热解炭涂层(pyc)、碳化硅涂层(sic)、碳化钽涂层(tac)、氮化硼涂层(bn)涂层等，不仅应用于刀具材料、耐磨耐热耐腐蚀材料、宇航工业上的特殊复合材料、原子反应堆材料及生物医用材料等领域,而且被广泛应用于制备与合成各种粉体材料、块体材料、新晶体材料、陶瓷纤维及金刚石薄膜等。在作为大规模集成电路技术的铁电材料、绝缘材料、磁性材料、光电子材料的薄膜制备技术方面,更是不可或缺。
2、而碳碳载板则是在太阳能硅片pecvd镀膜工艺中必不可少的一种配件，起到承载硅片的重要作用，因在太阳能电池片的生产中有着极其复杂的工艺环境，要求碳碳载板有着耐高温、耐腐蚀、高强度、隔热性能好、平整度高等优点，从而保证硅片镀膜的均匀性及低碎片率等要求。然而在碳碳载板的制造工艺...
【技术保护点】
1.一种用于大型碳碳载板表面涂层沉积的工装，其特征是，包括两个支撑立柱、底部横梁、顶部横梁和悬挂杆，所述两个立柱平行设置，在所述两个立柱之间的底部设有底部横梁，所述两个立柱之间的顶部设有顶部横梁，所述顶部横梁的下部设有多个与碳碳载板活动连接的悬挂杆，所述悬挂杆与顶部横梁活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于大型碳碳载板表面涂层沉积的工装，其特征是，所述顶部横梁包括横梁主体和固定轴套，所述横梁主体的两端通过紧固件分别与对应的立柱固定连接，所述横梁主体的底部设有多个固定轴套，所述多个固定轴套均匀排列于横梁主体底壁，所述固定轴套设有悬挂杆固定槽。
<...【技术特征摘要】
1.一种用于大型碳碳载板表面涂层沉积的工装，其特征是，包括两个支撑立柱、底部横梁、顶部横梁和悬挂杆，所述两个立柱平行设置，在所述两个立柱之间的底部设有底部横梁，所述两个立柱之间的顶部设有顶部横梁，所述顶部横梁的下部设有多个与碳碳载板活动连接的悬挂杆，所述悬挂杆与顶部横梁活动连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于大型碳碳载板表面涂层沉积的工装，其特征是，所述顶部横梁包括横梁主体和固定轴套，所述横梁主体的两端通过紧固件分别与对应的立柱固定连接，所述横梁主体的底部设有多个固定轴套，所述多个固定轴套均匀排列于横梁主体底壁，所述固定轴套设有悬挂杆固...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿广仁，赵俊杰，刘岩，
申请(专利权)人：山东伟基炭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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