【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及靶材制备，尤其是涉及一种topcon用氧化硅溅射靶材制备工艺。
技术介绍
1、topcon电池是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触的太阳能电池，其电池的结构为n型硅衬底电池，在电池的背面制备有一层1-2nm的超薄氧化硅膜，然后再沉积一层参杂硅薄层。其中，氧化硅膜是通过靶材溅射工艺制成的。在溅射工艺中，需要用到氧化硅溅射靶材，而现有的氧化硅溅射靶材的纯度和致密度都较低，影响氧化硅膜的制备质量。
技术实现思路
1、为了克服
技术介绍
中的不足，本专利技术公开了一种topcon用氧化硅溅射靶材制备工艺，采用如下技术方案：
2、一种topcon用氧化硅溅射靶材制备工艺，其包括以下步骤：
3、s1：将粒度小于0.5um的氧化硅粉末放入包套内，然后在280-350mpa的压力下保压5-8min，制得初坯；
4、s2：在1500-1650℃的温度和30-50mpa的压力下，对初坯进行热压烧结，制得所要的靶材。
5、进一步地改进技术方案，所述氧化硅粉末的纯度超过99.99%。
6、进一步地改进技术方案，在放入包套前，对氧化硅粉末进行烘干。
7、进一步地改进技术方案，对初坯进行热压烧结时，先升温至1000℃并保温1h，再升温至1300℃并保温1h，最后升温至1500-1650℃后加压30-50mpa，并保温保压2h。
8、进一步地改进技术方案，所述包套由橡胶材质制成。
9、进一步地改进
10、由于采用上述技术方案，相比
技术介绍
，本专利技术具有如下有益效果：
11、本专利技术将氧化硅粉末放入包套内压制成型，不在氧化硅粉末内加入粘结剂和溶剂，从根本上杜绝了空隙的出现和杂质的混入，提高了靶材的纯度和致密度。
12、本专利技术采用多阶梯升温保温的热压烧结工艺，降低了靶材的热膨胀系数、吸水率和成型收缩率，提高了靶材的致密度。
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1.一种TOPCON用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：其包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种TOPCON用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：所述氧化硅粉末的纯度超过99.99%。
3.如权利要求1所述的一种TOPCON用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：在放入包套前，对氧化硅粉末进行烘干。
4.如权利要求1所述的一种TOPCON用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：对初坯进行热压烧结时，先升温至1000℃并保温1h，再升温至1300℃并保温1h，最后升温至1500-1650℃后加压30-50MPa，并保温保压2h。
5.如权利要求1所述的一种TOPCON用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：所述包套由橡胶材质制成。
6.如权利要求5所述的一种TOPCON用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：将包套放在成型模具中，然后在280-350MPa的压力下保压5-8min，制得初坯。
【技术特征摘要】
1.一种topcon用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：其包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种topcon用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：所述氧化硅粉末的纯度超过99.99%。
3.如权利要求1所述的一种topcon用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：在放入包套前，对氧化硅粉末进行烘干。
4.如权利要求1所述的一种topcon用氧化硅溅射靶材制备工艺，其特征是：对初坯进行热压...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓德翼，李德华，黄飞虎，王淑辉，
申请(专利权)人：洛阳汇晶新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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