用于吸附装置的检测组件和吸附装置制造方法及图纸

技术编号:39942183 阅读:7 留言:0更新日期:2024-01-08 22:38
本技术公开了一种用于吸附装置的检测组件和吸附装置,吸附装置还包括吸盘,检测组件包括第一安装座、运动机构和检测模块,运动机构可运动地设于第一安装座,且具有遮挡状态和避让状态,运动机构构造成:运动机构能被吸盘吸附的被吸附件推抵以自避让状态切换至遮挡状态;检测模块设于第一安装座且包括发射端和接收端,检测模块用于检测运动机构是否处于遮挡状态,在遮挡状态,运动机构遮盖发射端和接收端中的至少一个,在避让状态,运动机构避让发射端和接收端。根据本技术的检测组件,可以准确地判断吸附装置是否成功吸附被吸附件。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及传输设备,尤其是涉及一种用于吸附装置的检测组件和吸附装置


技术介绍

1、相关技术中,吸附装置通过吸盘吸附被吸附件(例如晶圆、电路板或液晶面板等)以便于将被吸附件运输至下一生产过程或存储位置等,在吸附装置工作过程中,需要检测组件判断吸盘是否成功吸附被吸附件。例如一些技术中,通过电容式接近传感器等检测组件来判断吸附装置是否成功吸附被吸附件,但电容式接近传感器无法确认到被吸附件的实际距离,仅能在检测的大致范围内确定是否有被吸附件,不能准确地确定吸盘成功吸附被吸附件,容易产生误判等,另外,电容式传感器需要经常校准灵敏度,操作繁琐等。


技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术提出一种用于吸附装置的检测组件,所述检测组件可以准确地判断吸附装置是否成功吸附被吸附件。

2、本技术还提出一种具有上述检测组件的吸附装置。

3、根据本技术第一方面实施例的用于吸附装置的检测组件,所述吸附装置还包括吸盘,所述检测组件包括:第一安装座;运动机构,所述运动机构可运动地设于所述第一安装座,且具有遮挡状态和避让状态,所述运动机构构造成:所述运动机构能被所述吸盘吸附的被吸附件推抵以自所述避让状态切换至遮挡状态;检测模块,所述检测模块设于所述第一安装座且包括发射端和接收端,所述检测模块用于检测所述运动机构是否处于所述遮挡状态,在所述遮挡状态,所述运动机构遮盖所述发射端和所述接收端中的至少一个,在所述避让状态,所述运动机构避让所述发射端和所述接收端

4、根据本技术实施例的用于吸附装置的检测组件,运动机构能被吸盘吸附的被吸附件推抵以自避让状态切换至遮挡状态,检测模块用于检测运动机构是否处于遮挡状态,以确定吸盘是否成功吸附被吸附件,从而检测组件可以利用被成功吸附的被吸附件对运动结构施加机械作用力来被检测模块间接检测到,有效提升了检测组件判断被吸附件是否被成功吸附的准确性。

5、在一些实施例中,所述运动机构还构造成:所述运动机构在自身重力作用下自行复位至所述避让状态。

6、在一些实施例中,所述运动机构包括移动件,所述移动件沿第一方向可移动地设于所述第一安装座,所述检测组件在所述第一方向上的两侧分别为第一侧和第二侧,所述吸盘在第一侧具有吸附面,在所述避让状态,所述移动件沿所述第二侧朝向所述第一侧的方向伸出所述吸附面。

7、在一些实施例中,在第二方向上,所述发射端和所述接收端设于所述运动机构的同侧或异侧,所述第二方向与所述第一方向垂直。

8、在一些实施例中,所述第一方向为竖直方向,所述吸附面位于所述吸盘的下侧,所述移动件在自身重力作用下自行复位至所述避让状态;或者,所述第一方向为水平方向,所述检测组件还包括复位件,所述复位件用于对所述移动件施加朝向所述避让状态的弹性力。

9、在一些实施例中,所述移动件包括:滑移部,所述第一安装座形成有滑槽,所述滑移部滑移配合于所述滑槽;配合部,所述配合部设于所述滑移部的第二侧,在所述遮挡状态下,所述发射端和所述接收端中的所述至少一个与所述配合部在第二方向相对设置,在所述避让状态,所述发射端和所述接收端中的所述至少一个与所述配合部在所述第二方向错位设置,所述第二方向与所述第一方向垂直;止抵部,所述止抵部设于所述滑移部和所述配合部之间,且所述止抵部适于止抵于所述第一安装座以用于限制所述避让状态。

10、在一些实施例中,所述移动件包括本体部和保护部,所述本体部与所述第一安装座滑移配合,所述保护部设于所述本体部的第一侧,所述保护部适于与所述被吸附件接触。

11、在一些实施例中,所述第一安装座包括:第一安装板;第二安装板,所述第二安装板与所述第一安装板之间限定出安装槽,所述检测模块设于所述安装槽,所述运动机构穿设于所述第一安装板和/或所述第二安装板,其中,所述发射端和所述接收端均设于所述第一安装板或均设于所述第二安装板;或者,所述发射端和所述接收端中的其中一个设于所述第一安装板,另一个设于所述第二安装板。

12、根据本技术第二方面实施例的吸附装置,包括吸附组件和根据本技术第一方面实施例的用于吸附装置的检测组件,所述检测组件设于所述吸附组件,所述吸附组件包括吸盘。

13、根据本技术实施例的吸附装置,通过采用上述的检测组件,提高吸附装置的性能。

14、在一些实施例中,所述吸附组件包括:第一承载座,所述第一承载座与所述第一安装座相连;缓冲结构,所述缓冲结构为多个且均设于所述第一承载座,每个所述缓冲结构包括调节件;吸盘,所述吸盘通过多个所述调节件安装于所述第一承载座,且所述吸盘具有吸附通道和吸附面,所述吸附通道贯穿所述吸附面以形成吸附口,多个所述缓冲结构沿所述吸附口的周向间隔设置,其中,所述调节件构造成使得所述吸盘与所述第一承载座在所述调节件所在位置处的距离连续可调,且多个所述调节件构造成在垂直于所述吸附面的平面上所述吸盘能相对所述第一安装座偏转。

15、本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述吸附装置还包括吸盘,所述检测组件包括:

2.根据权利要求1所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述运动机构还构造成:所述运动机构在自身重力作用下自行复位至所述避让状态。

3.根据权利要求1所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述运动机构包括移动件,所述移动件沿第一方向可移动地设于所述第一安装座,所述检测组件在所述第一方向上的两侧分别为第一侧和第二侧,所述吸盘在第一侧具有吸附面,在所述避让状态,所述移动件沿所述第二侧朝向所述第一侧的方向伸出所述吸附面。

4.根据权利要求3所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,在第二方向上,所述发射端和所述接收端设于所述运动机构的同侧或异侧,所述第二方向与所述第一方向垂直。

5.根据权利要求3所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,

6.根据权利要求3所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述移动件包括:

7.根据权利要求3所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述移动件包括本体部和保护部,所述本体部与所述第一安装座滑移配合,所述保护部设于所述本体部的第一侧,所述保护部适于与所述被吸附件接触。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述第一安装座包括:

9.一种吸附装置,其特征在于,包括吸附组件和根据权利要求1-8中任一项所述的用于吸附装置的检测组件,所述检测组件设于所述吸附组件,所述吸附组件包括吸盘。

10.根据权利要求9所述的吸附装置,其特征在于,所述吸附组件包括:

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【技术特征摘要】

1.一种用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述吸附装置还包括吸盘,所述检测组件包括:

2.根据权利要求1所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述运动机构还构造成:所述运动机构在自身重力作用下自行复位至所述避让状态。

3.根据权利要求1所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,所述运动机构包括移动件,所述移动件沿第一方向可移动地设于所述第一安装座,所述检测组件在所述第一方向上的两侧分别为第一侧和第二侧,所述吸盘在第一侧具有吸附面,在所述避让状态,所述移动件沿所述第二侧朝向所述第一侧的方向伸出所述吸附面。

4.根据权利要求3所述的用于吸附装置的检测组件,其特征在于,在第二方向上,所述发射端和所述接收端设于所述运动机构的同侧或异侧,所述第二方向与所述第一方向垂直。

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【专利技术属性】
技术研发人员:陈金兵徐海洋
申请(专利权)人:合肥九川智能装备有限公司
类型:新型
国别省市:

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