【技术实现步骤摘要】
实施例涉及一种用于薄膜沉积的掩模框架组件以及相关的方法。
技术介绍
根据发光层的材料，电致发光显示装置可分为无机电致发光显示装置和有机电致 发光显示装置。由于与无机电致发光显示装置相比，有机电致发光显示装置可具有更高的 亮度和更快的响应时间，并且还能够显示彩色图像，所以近年来在有机电致发光显示装置 的领域中取得了相当的发展。通常，作为平板显示装置的有机发光显示装置为自发光显示装置。由于例如有机 发光显示装置的视角宽、对比度高、驱动电压低、重量轻、外观薄且响应时间快，所以有机发 光显示装置作为下一代显示装置已经受到了很多关注。关于有机发光显示装置的制造，可利用例如真空沉积法来形成有机层和/或电 极。可利用例如蚀刻法来制造在真空沉积法中使用的掩模。然而，由于有机发光显示装置 已被开发出较高的分辨率，所以掩模中的开口会具有较窄的宽度和较小的分布。因此，当使 用蚀刻法时，由于可通过形成掩模的材料的厚度来确定在掩模中形成的开口的宽度，所以 会需要较薄的材料，以制造适于制造分辨率较高的产品的掩模。
技术实现思路
实施例提出了一种用于薄膜沉积的掩模框架组件以及相关的方法，它们实...
【技术保护点】
一种用于薄膜沉积的掩模框架组件，所述组件包括：框架，包括开口部分和支撑部分；掩模，包括在与所述开口部分对应的位置处的沉积区，其中，所述掩模包括第一层和第二层，所述第一层包括所述沉积区和设置在所述沉积区周围的外围部分，所述第二层包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述第二层的第一表面的至少一部分面向所述第一层并接触所述外围部分，所述第二表面被焊接到所述框架的支撑部分。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高政佑，李相信，姜择教，洪承柱，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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