一种单晶硅片生产用自动脱胶设备制造技术

本发明专利技术涉及硅片加工的技术领域，特别是涉及一种单晶硅片生产用自动脱胶设备，其包括晶托

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片生产用自动脱胶设备


[0001]本专利技术涉及硅片加工的
，特别是涉及一种单晶硅片生产用自动脱胶设备
。

技术介绍

[0002]单晶硅片是一种由硅元素组成的半导体薄片，其广泛应用在各类电子
、
电器设备中，硅片的形成是由硅棒切割而来，在加工时，将拉制的硅棒通过胶液粘贴在晶托底部，再通过切割机将其切割成薄片，之后再通过脱胶设备将硅片与晶托分离即可，在传统的脱胶方式中，一般是直接将晶托和其底部切割完成的硅片放入脱胶池中，通过脱胶池内的脱胶溶剂对胶液进行溶解，从而实现脱胶工作，而在使用时，由于其采用静置脱胶的方式，胶液溶解的速度较慢，工作效率较低
。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种单晶硅片生产用自动脱胶设备
。
[0004]为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：一种单晶硅片生产用自动脱胶设备，包括晶托
、
脱胶池和位于脱胶池内部左右两侧的两组侧夹机构，两组侧夹机构方向相对，所述晶托底部通过胶液粘贴有切割完成的多个硅片，所述脱胶池用于盛放脱胶溶剂，两组侧夹机构用于对多个硅片的左右两侧进行挤压固定；所述侧夹机构包括滑杆和滑动安装在滑杆上的多个滑座，滑座朝向硅片的侧壁上转动安装有转轴，转轴朝向硅片的端面上固定有侧板，侧板朝向硅片的侧壁上开设有弧形槽，并且弧形槽的轴线与硅片的轴线重合，通过弧形槽能够对硅片进行侧夹固定处理，当相邻两个滑座相互远离时，相邻两个硅片相互分离，此时可通过转动转轴使硅片同步转动；其中，脱胶池内设有导流机构，所述导流机构用于使脱胶池内存储的脱胶溶剂流动
。
[0005]优选的，每组侧夹机构上均设置有推动机构，所述推动机构用于推动滑杆上的多个滑座相互分离；所述侧夹机构还包括固定槽板，滑杆固定在固定槽板内；所述侧夹机构包括转动安装在固定槽板内侧壁上的气缸和转动安装在每个滑座顶部的调节杆，调节杆与滑座的转动连接位置位于调节杆的中部，调节杆倾斜，相邻两个调节杆的倾斜方向相反，并且相邻两个调节杆的端部转动对接，由此通过多个调节杆能够将多个滑座连接，并且当一个调节杆转动时，其通过多个调节杆能够推动多个滑座同步运动，并且多个滑座之间的距离保持一致；将多个滑座一端靠近气缸的一个滑座作为首端，位于首端的滑座与滑杆固定连接，而气缸的伸出端能够与位于首端的滑座上的调节杆转动连接
。
[0006]优选的，所述侧夹机构上还包括用于为每个转轴提供动力的动力机构；
所述动力机构包括转动安装在每个滑座侧壁上的传动轮，传动轮与转轴传动连接，传动轮上传动设有传动盘，传动盘的圆周外壁上设置有蜗齿，其中为给传动轮和传动盘提供足够传动空间，相邻两个传动盘需要呈上下分布，传动盘转动安装在滑座上，由此固定槽板内的多个传动盘呈上下两排分布；所述固定槽板内转动设有两个第一蜗杆，两个第一蜗杆对应两排传动盘，传动盘上的蜗齿与第一蜗杆啮合连接，所述固定槽板外表面设有电机，电机的输出端传动设有第二蜗杆，第二蜗杆位于固定槽板内，第二蜗杆上传动设有两个蜗轮，蜗轮与第一蜗杆传动连接，由此能够使电机为每个转轴提供动力
。
[0007]优选的，每个第一蜗杆上均套设有能够支撑第一蜗杆的多个弧形托板，弧形托板固定在固定槽板的内侧壁上，弧形托板内转动设有多个托柱，托柱的轴线与第一蜗杆的轴线平行，并且托柱的外壁与第一蜗杆的外壁接触
。
[0008]优选的，所述固定槽板前后侧壁上均倾斜设有导轨，固定槽板在导轨上滑动，两个固定槽板上的导轨的倾斜方向相反，导轨固定在脱胶池内侧壁上，固定槽板顶部与脱胶池之间通过第一油缸连接，第一油缸倾斜
。
[0009]优选的，所述导流机构包括安装在每个固定槽板上表面的分流管，分流管朝向硅片的侧壁上密布有开口，所述脱胶池底部设有泵体，泵体的输入端和输出端均设有管道，两个管道分别与两个分流管连通
。
[0010]优选的，所述晶托顶部设有挂钩，挂钩的前后两侧均设有
T
型卡板，
T
型卡板固定在晶托顶部，
T
型卡板上卡装有
T
型卡槽，
T
型卡槽顶部连接有连接体，连接体顶部连接有第二油缸，其中通过第二油缸能够带动晶托和硅片上下移动
。
[0011]优选的，所述连接体包括固定在第二油缸下侧输出端上的辅助箱，辅助箱内竖向滑动设有活塞板，活塞板的侧壁上开设有气口，通过气口能够使活塞板上下两侧的辅助箱内部空间连通；活塞板底部设有滑筒，滑筒与活塞板上侧的辅助箱内部空间连通，滑筒底部穿过辅助箱并滑动伸出，滑筒的底部与
T
型卡槽顶部固定连接，滑筒内设有弹簧，滑筒和辅助箱通过弹簧弹性连接，辅助箱内壁顶部设有多个接触开关，当晶托和硅片安装在第二油缸上时，弹簧处于伸长状态，活塞板位于辅助箱内部下侧，当晶托与硅片分离时，弹簧拉动活塞板与接触开关接触
。
[0012]与现有技术相比本专利技术的有益效果为：通过采用冲刷脱胶的方式再配合硅片的翻转运动，可方便使硅片与晶托快速分离，并且方便使脱胶溶剂对硅片上的胶液进行全面冲刷脱胶处理，方便使胶液快速脱离硅片，加速胶液溶解速度，从而有效提高了脱胶速度，并且避免了胶液的残留，通过采用多个转轴和多个侧板组成的侧夹机构，可在对硅片进行固定的同时能够使硅片翻转，从而能够帮助硅片进行快速脱胶作业
。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0014]图1是本专利技术的结构示意图；图2是图1仰视结构示意图；图3是图1中脱胶池内部结构的示意图；图4是图3中固定槽板及其上结构的放大示意图；图5是图4中固定槽板内部结构的示意图；图6是图5中侧板放大结构示意图；图7是图5中弧形托板放大结构示意图；图8是图3中连接体放大结构示意图；附图中标记：
1、
晶托；
2、
硅片；
3、
脱胶池；
4、
滑杆；
5、
滑座；
6、
转轴；
7、
侧板；
8、
固定槽板；
9、
气缸；
10、
调节杆；
11、
传动轮；
12、
传动盘；
13、
第一蜗杆；
14、
电机；
15、
第二蜗杆；
16、
蜗轮；
17、
弧形托板；
18、
托柱；
19、
导轨；
20、
第一油缸；
21、
分流管；
22、
泵体；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种单晶硅片生产用自动脱胶设备，其特征在于，包括晶托
、
脱胶池和位于脱胶池内部左右两侧的两组侧夹机构，两组侧夹机构方向相对，所述晶托底部通过胶液粘贴有切割完成的多个硅片，所述脱胶池用于盛放脱胶溶剂，两组侧夹机构用于对多个硅片的左右两侧进行挤压固定；所述侧夹机构包括滑杆和滑动安装在滑杆上的多个滑座，滑座朝向硅片的侧壁上转动安装有转轴，转轴朝向硅片的端面上固定有侧板，侧板朝向硅片的侧壁上开设有弧形槽，并且弧形槽的轴线与硅片的轴线重合，通过弧形槽能够对硅片进行侧夹固定处理，当相邻两个滑座相互远离时，相邻两个硅片相互分离，此时可通过转动转轴使硅片同步转动；其中，脱胶池内设有导流机构，所述导流机构用于使脱胶池内存储的脱胶溶剂流动
。2.
如权利要求1所述的一种单晶硅片生产用自动脱胶设备，其特征在于，每组侧夹机构上均设置有推动机构，所述推动机构用于推动滑杆上的多个滑座相互分离；所述侧夹机构还包括固定槽板，滑杆固定在固定槽板内；所述侧夹机构包括转动安装在固定槽板内侧壁上的气缸和转动安装在每个滑座顶部的调节杆，调节杆与滑座的转动连接位置位于调节杆的中部，调节杆倾斜，相邻两个调节杆的倾斜方向相反，并且相邻两个调节杆的端部转动对接，由此通过多个调节杆能够将多个滑座连接，并且当一个调节杆转动时，其通过多个调节杆能够推动多个滑座同步运动，并且多个滑座之间的距离保持一致；将多个滑座一端靠近气缸的一个滑座作为首端，位于首端的滑座与滑杆固定连接，而气缸的伸出端能够与位于首端的滑座上的调节杆转动连接
。3.
如权利要求2所述的一种单晶硅片生产用自动脱胶设备，其特征在于，所述侧夹机构上还包括用于为每个转轴提供动力的动力机构；所述动力机构包括转动安装在每个滑座侧壁上的传动轮，传动轮与转轴传动连接，传动轮上传动设有传动盘，传动盘的圆周外壁上设置有蜗齿，其中为给传动轮和传动盘提供足够传动空间，相邻两个传动盘需要呈上下分布，传动盘转动安装在滑座上，由此固定槽板内的多个传动盘呈上下两排分布；所述固定槽板内转动设有两个第一蜗杆，两个第一蜗杆对应两排传动盘，传动盘上的蜗齿与第一蜗杆啮合连接，所述固定槽板外表面设有电机，电机的输出端传动设有第二蜗杆，第二蜗杆位于固定槽板内，第二蜗杆上传动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王全志，陈伟，李林东，毛亮亮，陈志军，张鹏，李安君，许堃，
申请(专利权)人：苏州晨晖智能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：