一种像质补偿装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种像质补偿装置，该装置包括光学元件；镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置；驱动装置设于镜框组件，用于向镜框组件施加动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以补偿像差；具体来说，镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置，驱动装置设于镜框组件，用于向镜框组件施加动力，以使镜框组件发生变形，进一步的，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，光学元件在力的作用下也产生变形，此种变形能够实现对两种不同形式的像差进行补偿

【技术实现步骤摘要】
一种像质补偿装置


[0001]本专利技术涉及光学系统的像差补偿
，更具体地说，涉及一种像质补偿装置
。

技术介绍

[0002]在大规模的集成电路制造工艺过程中，投影光刻是最关键的工艺，该工艺需要用到投影光刻机，而投影物镜是投影光刻机的核心，其性能直接决定了光刻的图形传递能力
。
光刻投影物镜在装配及使用过程中，由于装配误差
、
热载荷等原因导致系统会产生一定的
Z5
像散，同时还会出现一定的
Z17
四叶像差，进而对投影物镜的光学性能产生影响，因此需要对产生的像差进行补偿
。
[0003]现有的像质补偿装置无法兼顾补偿的精度和补偿的类型，而且采用的驱动器数量较多，存在力耦合
、
位移耦合等问题
。
[0004]因此，如何解决像质补偿装置不能兼顾补偿精度和补偿类型的问题，是目前本领域技术人员亟待解决的问题
。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术的目的是提供一种像质补偿装置，能够在保证像质补偿装置的补偿精度的同时，可以对两种不同形式的像差进行补偿
。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种像质补偿装置，包括：
[0008]光学元件；
[0009]镜框组件，镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置；
[0010]驱动装置，设于镜框组件，用于向镜框组件施加动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以补偿像差
。
[0011]优选的，镜框组件包括圆形的上层镜框和下层镜框，上层镜框与下层镜框通过柔性铰链连接
。
[0012]优选的，柔性铰链设为多个，多个柔性铰链沿镜框组件周向均匀设置，柔性铰链将上层镜框的下端面和下层镜框的上端面连接
。
[0013]优选的，上层镜框周向的上端面上设有安装槽，驱动装置设于安装槽中
。
[0014]优选的，驱动装置设有四个，四个驱动装置沿上层镜框的周向均匀设置
。
[0015]优选的，上层镜框从中心沿径向设有圆环孔，光学元件设于圆环孔内
。
[0016]优选的，驱动装置是气动波纹管驱动器
。
[0017]优选的，支撑弹片设有三个，三个支撑弹片沿圆环孔的内壁均匀设置
。
[0018]优选的，光学元件与三个支撑弹片通过胶粘或者抵接的方式连接
。
[0019]本专利技术提供的一种像质补偿装置，包括光学元件
、
镜框组件和驱动装置，镜框组件通过支撑弹片连接光学元件，以固定光学元件与镜框组件的位置，驱动装置设于镜框组件，
用于向镜框组件施加动力，以使镜框组件发生变形，进一步的，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，光学元件在力的作用下也产生变形；具体来说，驱动装置对镜框组件施加相反方向的动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以使光学元件在动力的作用下产生反
Z5
的变形，以补偿
Z5
像散；驱动装置对镜框组件施加相同方向的动力，镜框组件通过支撑弹片将动力传递于光学元件，以使光学元件在动力的作用下产生反
Z17
四叶像差的变形，以补偿
Z17
四叶像差
。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图
。
[0021]图1为本专利技术所提供的像质补偿装置的结构示意图；
[0022]图2为本专利技术所提供的像质补偿装置的正视图；
[0023]图3为本专利技术所提供的像质补偿装置的俯视图
。
[0024]图1‑
图3中，附图标记包括：
[0025]1‑
光学元件；
[0026]2‑
镜框组件
、21
‑
上层镜框
、22
‑
下层镜框；
[0027]3‑
支撑弹片；
[0028]4‑
驱动装置；
[0029]5‑
柔性铰链
。
具体实施方式
[0030]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0031]需要说明的是，下文所述的“上
、
下”等方位词都是基于说明书附图所定义的
。
[0032]本专利技术的核心是提供一种像质补偿装置，能够在保证像质补偿装置的补偿精度的同时，可以对两种不同形式的像差进行补偿
。
[0033]请参考图1，本专利技术提供的一种像质补偿装置，包括光学元件
1、
镜框组件
2、
驱动装置
4。
[0034]镜框组件2通过支撑弹片3连接光学元件1，以固定光学元件1与镜框组件2的位置；驱动装置4设于镜框组件2，用于向镜框组件2施加动力，镜框组件2通过支撑弹片3将动力传递于光学元件1，以补偿像差
。
[0035]具体来说，镜框组件2通过支撑弹片3连接光学元件1，以固定光学元件1与镜框组件2的位置，驱动装置4设于镜框组件2，用于向镜框组件2施加动力，以使镜框组件2发生变形，进一步的，镜框组件2通过支撑弹片3将动力传递于光学元件1，光学元件1在动力的作用下也产生变形
。
[0036]使用上述结构的像质补偿装置时，可以实现不同形式的像差进行补偿
。
例如，当驱动装置4对镜框组件2施加相反方向的动力时，镜框组件2通过支撑弹片3将动力传递于光学元件1，以使光学元件1在动力的作用下产生反
Z5
的变形，以补偿
Z5
像散；当驱动装置4对镜框组件2施加相同方向的动力时，镜框组件2通过支撑弹片3将动力传递于光学元件1，以使光学元件1在动力的作用下产生反
Z17
四叶像差的变形，以补偿
Z17
四叶像差
。
[0037]采用上述方式实施的像质补偿装置，能够在保证像质补偿装置的补偿精度的同时，可以产生反
Z5
和反
Z17
四叶像差的变形，以补偿
Z5
像散和
Z17
四叶像差
。
[0038]在上述实施例中，镜框组件2包括圆形的上层镜框
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种像质补偿装置，其特征在于，包括：光学元件
(1)
；镜框组件
(2)
，所述镜框组件
(2)
通过支撑弹片
(3)
连接所述光学元件
(1)
，以固定所述光学元件
(1)
与所述镜框组件
(2)
的位置；驱动装置
(4)
，设于所述镜框组件
(2)
，用于向所述镜框组件
(2)
施加动力，所述镜框组件
(2)
通过所述支撑弹片
(3)
将动力传递于所述光学元件
(1)
，以补偿像差
。2.
根据权利要求1所述的像质补偿装置，其特征在于，所述镜框组件
(2)
包括圆形的上层镜框
(21)
和下层镜框
(22)
，所述上层镜框
(21)
与所述下层镜框
(22)
通过柔性铰链
(5)
连接
。3.
根据权利要求2所述的像质补偿装置，其特征在于，所述柔性铰链
(5)
设有多个，多个所述柔性铰链
(5)
沿所述镜框组件
(2)
周向均匀设置，所述柔性铰链
(5)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：张澜，李澧，周连生，倪明阳，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：北京国望光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：