一种半导体晶圆搬运可变机械手结构制造技术

本发明专利技术公开一种半导体晶圆搬运可变机械手结构，包括自上而下设置的多个执行器，从中间同时向上下两边数，每两个执行器分别设置在同一对滚珠丝杠的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上，左旋滚珠丝杠在上，右旋滚珠丝杠在下，它们的导程相同且同轴相连，其右旋滚珠丝杠的自由端与对应的从动带轮的中心轴同轴连接，这些从动带轮的周长均对应呈整倍数增加，它们通过同步带与主动带轮连同，主动带轮与电动机连接，电动机用于带动主动带轮转动，并通过同步带带动各个从动带轮转动，进而带动与之连接的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠同步转动，从而带动对应的两个执行器同步向上

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶圆搬运可变机械手结构


[0001]本专利技术涉及机械制造的
，具体涉及一种半导体晶圆搬运可变机械手结构
。

技术介绍

[0002]在半导体制造工序中具有从上下排列多片晶圆并收纳的前开式晶圆传送盒
(front opening unified pod
；
FOUP)
，将多片半导体晶圆一次地搬运至半导体晶圆实现规定的处理工序
。
在该搬运途中，存在变更相邻的半导体晶圆的上下间隔
(
也称“间距”)
的情况，为了变更该间距，使用间距调节模组
。
[0003]现有调节模组利用连杆机构旋转时，轴上各点的线性方向上移动长度等比的特性，将末端执行器固定于连杆上2：1：
‑1：
‑2的点位上，则可以实现等间距变换，其成本低廉，结构相对简单，但是连杆结构的可靠性差，关节处易磨损，使用寿命短
。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种半导体晶圆搬运可变机械手结构，利用滚珠丝杠的旋转方向以及齿轮的齿数之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种半导体晶圆搬运可变机械手结构，其特征在于：包括自上而下依次设置的多个执行器，从中间同时向上下两边数，每两个执行器分别设置在同一对滚珠丝杠的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上，左旋滚珠丝杠在上，右旋滚珠丝杠在下，它们的导程相同且同轴相连，其右旋滚珠丝杠的自由端与对应的从动带轮的中心轴同轴连接，这些从动带轮的齿数
、
周长均对应呈整倍数增加，它们通过同步带与主动带轮连同，所述主动带轮的中心轴与电动机的输出轴同轴连接，所述电动机用于带动主动带轮转动，并通过同步带带动各个从动带轮转动，进而带动与之连接的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠同步转动，从而带动对应的两个执行器同步向上
/
向下运动，实现半导体晶圆搬运机械手中各个执行器的等间距可变调整
。2.
根据权利要求1所述的半导体晶圆搬运可变机械手结构，其特征在于：越靠近中间的执行器对应...

【专利技术属性】
技术研发人员：武一鸣，苗义，杨琦，刘恩龙，古市昌稔，曲泉铀，张平，王贺明，周伟强，马刚，张贤龙，张菊，董怀宝，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：