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本发明公开一种半导体晶圆搬运可变机械手结构，包括自上而下设置的多个执行器，从中间同时向上下两边数，每两个执行器分别设置在同一对滚珠丝杠的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上，左旋滚珠丝杠在上，右旋滚珠丝杠在下，它们的导程相同且同轴相连，其右旋滚珠丝...
该专利属于上海广川科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海广川科技有限公司授权不得商用。

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