一种特气快速接入装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种特气快速接入装置及其使用方法，包括：工艺腔室上盖，所述工艺腔室上盖之上具有第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置特气对接模块，所述特气对接模块具有特气工艺孔，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通，还包括下工艺腔室，所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路。本发明专利技术的优点是：避免了从大宗气站的特气管道直接通入保养过程中需要移动的上腔室，做到安全，方便，快捷，提高了保养效率，节约了保养费用。节约了保养费用。节约了保养费用。

【技术实现步骤摘要】
一种特气快速接入装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及气路结构
，具体涉及一种特气快速接入装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]通入特气进行反应是很多加工制造业的常见工艺流程，“特气”即特种气体，例如硅烷，氢气，硼烷，氩气，氮气，二氧化碳等。它们在一定条件下按照一定的进气路线进入到工艺腔体中，一种或者多种特气参与工艺反应从而满足工艺要求，不同的生产工艺对特气的进气路线等参数均有不同的要求。由于特气的特殊性：易燃、易爆、毒性、腐蚀性等。特气的稍微泄露，就会给人身安全带来重大威胁，因此，使用特气需要非常谨慎，以太阳能电池板制造工艺为例，在镀膜工艺过程中，工艺用的特气需要特气进气管传输从工艺腔室上盖板通入，进入真空腔体内现有设备的气路设计里，经过电离反应后，再由真空泵抽出腔体。特气的管路需要特殊处理，保压，检漏等。
[0003]现有的特气气路存在三个问题：第一：由于工艺需求，对于直通式的工艺腔体，特气一般由上腔室通入，特气管道一般采用316L无缝钢管制成，在保养过程中需要拆卸与大宗气体连接的特气管道，方能打开上盖，进入腔体内保养，过程繁琐，且存在安全隐患。第二：特气管道拆卸后，特气管道的O型圈需要重新更换，增加成本。第三：重新安装过程中，由于特气的特殊性，又要重新检漏，保压等，增加工作量，浪费工时。

技术实现思路

[0004]本专利技术提出了一种特气快速接入装置及其使用方法，解决上述现有技术存在的技术问题。
[0005]根据本专利技术的一个方面，提供了一种特气快速接入装置，其特征在于，包括：工艺腔室上盖，所述工艺腔室上盖之上具有第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置特气对接模块，所述特气对接模块具有特气工艺孔，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通，还包括下工艺腔室，在所述下工艺腔室内部设置所述特气对接模块，所述下工艺腔室侧面具有第二通孔，在所述下工艺腔室的侧面连接所述第二通孔的位置设置特气通入管道，所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路。
[0006]进一步地，所述下工艺腔室内部设置模块支撑盒，所述特气对接模块安装在所述模块支撑盒之内。
[0007]进一步地，所述模块支撑盒的侧面具有第三通孔，所述第三通孔与所述第二通孔相通。
[0008]进一步地，所述特气出口管道穿过第一支撑部与所述第一通孔连接。
[0009]进一步地，所述特气通入管道穿过第二支撑部与所述第二通孔连接。
[0010]进一步地，在所述工艺腔室上盖与所述下工艺腔室之间的安装间隙设置第一O型
氟橡胶密封圈。
[0011]进一步地，在所述特气对接模块与所述模块支撑盒之间的安装间隙设置第二O型氟橡胶密封圈。
[0012]进一步地，所述模块支撑盒的侧面设置支耳部。
[0013]根据本专利技术的另一方面，还提供一种特气快速接入装置的使用方法，其特征在于，包括：
[0014]步骤一，在下工艺腔室内部设置特气对接模块与模块支撑盒，所述特气对接模块安装在所述模块支撑盒之内，所述特气对接模块设置特气工艺孔；
[0015]步骤二，将工艺腔室上盖之上设置第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置所述特气对接模块，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通；
[0016]步骤三，在下工艺腔室侧面设置第二通孔，所述模块支撑盒的侧面设置第三通孔，所述第三通孔与所述第二通孔相通，在所述下工艺腔室的侧面连接所述第二通孔的位置设置特气通入管道。
[0017]步骤四，将所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路。
[0018]由上述本专利技术提供的技术方案可以看出，采用本专利技术，避免了从大宗气站的特气管道直接通入保养过程中需要移动的上腔室，做到安全，方便，快捷。提高了保养效率，节约了保养费用。解决如何从大宗气站的特气管道不直接接入上腔室，从而做到上腔室保养过程中快速开启，节约保养时间的问题。
[0019]上述说明仅是本专利技术技术专利技术的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本专利技术的具体实施方式。
附图说明
[0020]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本专利技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
[0021]图1为本专利技术的一种特气快速接入装置的分解状态结构示意图；
[0022]图2为本专利技术的特气对接模块的工作状态的结构示意图。
[0023]附图标记示意
[0024]1‑
特气出口管道 2
‑
工艺腔室上盖 4
‑
特气对接模块 5
‑
特气通入管道 6
‑
下工艺腔室 8
‑
特气工艺孔 9
‑
模块支撑盒 11
‑
第一通孔 12
‑
第一支撑部 21
‑
第二通孔 22
‑
第二支撑部 31
‑
第三通孔 34
‑
第一O型氟橡胶密封圈 35
‑
支耳部
具体实施方式
[0025]下面将参照附图更详细地描述本专利技术的示例性实施例。虽然附图中显示了本专利技术的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本专利技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本专利技术，并且能够将本专利技术的范围
完整的传达给本领域的技术人员。
[0026]下面对本专利技术所提供的一种特气快速接入装置进行详细描述。本专利技术实施例中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本专利技术实施例中未注明具体条件者，按照本领域常规条件或制造商建议的条件进行。
[0027]参见图1和图2，本专利技术的一种特气快速接入装置，包括：工艺腔室上盖2，所述工艺腔室上盖2之上具有第一通孔11，在所述工艺腔室上盖2的上表面连接所述第一通孔11的位置设置特气出口管道1，在所述工艺腔室上盖2的下表面连接所述第一通孔11的位置设置特气对接模块4，所述特气对接模块4具有特气工艺孔8，所述特气工艺孔8与所述第一通孔11相通，还包括下工艺腔室6，在所述下工艺腔室6内部设置所述特气对接模块4，所述下工艺腔室6侧面具有第二通孔21，在所述下工艺腔室6的侧面连接所述第二通孔21的位置设置特气通入管道5，所述工艺腔室上盖2通过自身重力压置于所述下工艺腔室6之上，使得所述特气通入管道5、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特气快速接入装置，其特征在于，包括：工艺腔室上盖，所述工艺腔室上盖之上具有第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置特气对接模块，所述特气对接模块具有特气工艺孔，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通，还包括下工艺腔室，在所述下工艺腔室内部设置所述特气对接模块，所述下工艺腔室侧面具有第二通孔，在所述下工艺腔室的侧面连接所述第二通孔的位置设置特气通入管道，所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路，所述下工艺腔室内部设置模块支撑盒，所述特气对接模块安装在所述模块支撑盒之内，所述模块支撑盒的侧面具有第三通孔，所述第三通孔与所述第二通孔相通。2.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，所述特气出口管道穿过第一支撑部与所述第一通孔连接。3.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，所述特气通入管道穿过第二支撑部与所述第二通孔连接。4.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，在所述工艺腔室上盖与所述下工艺腔室之间的安装间隙设置第一O型氟橡胶密封圈。5.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，在所述特气对接模块与所述模块支撑盒之间的安装间隙设置第二O型氟橡胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，刘长见，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：