一种特气快速接入装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种特气快速接入装置及其使用方法，包括：工艺腔室上盖，所述工艺腔室上盖之上具有第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置特气对接模块，所述特气对接模块具有特气工艺孔，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通，还包括下工艺腔室，所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路。本发明专利技术的优点是：避免了从大宗气站的特气管道直接通入保养过程中需要移动的上腔室，做到安全，方便，快捷，提高了保养效率，节约了保养费用。节约了保养费用。节约了保养费用。

【技术实现步骤摘要】
一种特气快速接入装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及气路结构
，具体涉及一种特气快速接入装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]通入特气进行反应是很多加工制造业的常见工艺流程，“特气”即特种气体，例如硅烷，氢气，硼烷，氩气，氮气，二氧化碳等。它们在一定条件下按照一定的进气路线进入到工艺腔体中，一种或者多种特气参与工艺反应从而满足工艺要求，不同的生产工艺对特气的进气路线等参数均有不同的要求。由于特气的特殊性：易燃、易爆、毒性、腐蚀性等。特气的稍微泄露，就会给人身安全带来重大威胁，因此，使用特气需要非常谨慎，以太阳能电池板制造工艺为例，在镀膜工艺过程中，工艺用的特气需要特气进气管传输从工艺腔室上盖板通入，进入真空腔体内现有设备的气路设计里，经过电离反应后，再由真空泵抽出腔体。特气的管路需要特殊处理，保压，检漏等。
[0003]现有的特气气路存在三个问题：第一：由于工艺需求，对于直通式的工艺腔体，特气一般由上腔室通入，特气管道一般采用316L无缝钢管制成，在保养过程中需要拆卸与大宗气体连接的特气管道，方能打开上盖，进入腔体内保本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特气快速接入装置，其特征在于，包括：工艺腔室上盖，所述工艺腔室上盖之上具有第一通孔，在所述工艺腔室上盖的上表面连接所述第一通孔的位置设置特气出口管道，在所述工艺腔室上盖的下表面连接所述第一通孔的位置设置特气对接模块，所述特气对接模块具有特气工艺孔，所述特气工艺孔与所述第一通孔相通，还包括下工艺腔室，在所述下工艺腔室内部设置所述特气对接模块，所述下工艺腔室侧面具有第二通孔，在所述下工艺腔室的侧面连接所述第二通孔的位置设置特气通入管道，所述工艺腔室上盖通过自身重力压置于所述下工艺腔室之上，使得所述特气通入管道、特气对接模块以及特气出口管道之间形成特气通路，所述下工艺腔室内部设置模块支撑盒，所述特气对接模块安装在所述模块支撑盒之内，所述模块支撑盒的侧面具有第三通孔，所述第三通孔与所述第二通孔相通。2.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，所述特气出口管道穿过第一支撑部与所述第一通孔连接。3.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，所述特气通入管道穿过第二支撑部与所述第二通孔连接。4.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，在所述工艺腔室上盖与所述下工艺腔室之间的安装间隙设置第一O型氟橡胶密封圈。5.根据权利要求1所述的特气快速接入装置，其特征在于，在所述特气对接模块与所述模块支撑盒之间的安装间隙设置第二O型氟橡胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，刘长见，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：