一种多激光晶体的串接对准装置及方法制造方法及图纸

本公开提供一种多激光晶体的串接对准装置及方法，装置包括：沿光路依次设置的参考光源

【技术实现步骤摘要】
一种多激光晶体的串接对准装置及方法


[0001]本公开涉及光电
，具体涉及一种多激光晶体的串接对准装置及方法
。

技术介绍

[0002]高功率
、
高能量的激光输出，一直都是激光的主要研究方向之一
。
在固体激光器中，将谐振腔内的多根激光晶体进行串接，或者将激光通过多根激光晶体进行多次放大，是非常有效的获得高功率高能量激光的方法
。
但是多根激光晶体在光路中的精确对准程度，决定了能否实现激光高功率高效率的输出，并且还将影响激光的光斑圆度和光束质量
。
[0003]在实际光路调试过程中，主要采用的方法是利用参考光或者种子激光来依次对准多根激光晶体，通过人眼或者
CCD
相机来观察穿过晶体后的光束完整性，来调整晶体棒的位置以使光束全部通过
。
这种方法简单易行，但参考光或种子光在通过多根晶体后，其光斑变得越来越大
、
光强变得越来越弱时，光斑的边缘不甚清晰
。
在这种情况下，很难将多根晶体完全平行对准
。
这种微小角度的不平行可能影响激光的完整性，当受到强泵浦和高功率高能量激光的双重作用下，激光晶体极易因不均衡而受到损伤
。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是提供一种多激光晶体的串接对准装置及方法
。
[0005]本申请第一方面提供一种多激光晶体的串接对准装置，包括：
[0006]沿光路依次设置的参考光源
>、
光源整形部件
、
返回光观察部件
、
光程差调节部件及透射光观察部件；第一激光晶体设置在所述返回光观察部件和所述光程差调节部件之间，第二激光晶体设置在所述光程差调节部件和所述透射光观察部件之间；其中，
[0007]所述参考光源，用于向光路中提供参考光；
[0008]所述光源整形部件，用于调整所述参考光的发散角，以使所述参考光匹配所述第一激光晶体和所述第二激光晶体的横截面尺寸；
[0009]所述返回光观察部件，用于透射所述参考光，且所述第一激光晶体和所述第二激光晶体对所述参考光的返回光可在所述返回光观察部件上发生干涉，形成干涉现象；
[0010]所述光程差调节部件，用于使所述第一激光晶体和所述第二激光晶体返回光的相对光程差满足干涉条件且不改变光束的传输方向；
[0011]所述透射光观察部件，用于观察所述参考光透射所述第一激光晶体和所述第二激光晶体后形成的光斑
。
[0012]本申请的一些实施方式中，所述返回光观察部件中心设置有圆孔，所述圆孔的孔径大于通过的所述参考光的光束直径
。
[0013]本申请的一些实施方式中，所述光程差调节部件采用光楔对，所述光楔对的两个光楔的斜面相对地共轴放置
。
[0014]本申请的一些实施方式中，所述光楔对中的一个光楔位置固定，另一个光楔可相对垂直移动
。
[0015]本申请的一些实施方式中，所述透射光观察部件采用
CCD
相机
。
[0016]本申请第二方面提供一种多激光晶体的串接对准方法，基于上述第一方面中所述的多激光晶体的串接对准装置，所述方法包括：
[0017]参考光源向光路中提供参考光；
[0018]光源整形部件调整所述参考光的发散角，以使所述参考光匹配第一激光晶体和第二激光晶体的横截面尺寸；
[0019]调节光程差调节部件，使所述第一激光晶体和所述第二激光晶体对所述参考光的返回光在返回光观察部件上发生干涉，形成干涉现象；
[0020]在透射光观察部件上观察所述参考光透射所述第一激光晶体和所述第二激光晶体后形成的光斑；
[0021]若在所述光程差调节部件上出现了明暗相间的条纹，并且所述透射光观察部件上的光斑完整且边缘清晰，判断出所述第一激光晶体和所述第二激光晶体处于对准状态
。
[0022]相较于现有技术，本申请提供的多激光晶体的串接对准装置，包括沿光路依次设置的参考光源
、
光源整形部件
、
返回光观察部件
、
光程差调节部件及透射光观察部件；第一激光晶体设置在所述返回光观察部件和所述光程差调节部件之间，第二激光晶体设置在所述光程差调节部件和所述透射光观察部件之间；参考光源向光路中提供参考光；光源整形部件调整所述参考光的发散角，以使所述参考光匹配第一激光晶体和第二激光晶体的横截面尺寸；调节光程差调节部件，使所述第一激光晶体和所述第二激光晶体对所述参考光的返回光在返回光观察部件上发生干涉，形成干涉现象；在透射光观察部件上观察所述参考光透射所述第一激光晶体和所述第二激光晶体后形成的光斑；若在所述光程差调节部件上出现了明暗相间的条纹，并且所述透射光观察部件上的光斑完整且边缘清晰，判断出所述第一激光晶体和所述第二激光晶体处于对准状态
。
本申请通过干涉条纹来判断多根激光晶体的对准情况，现象明显，准确度高，能最大程度地实现多晶体的高功率高能量的激光输出
。
附图说明
[0023]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其它的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了
。
附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本公开的限制
。
而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件
。
在附图中：
[0024]图1示出了本公开所提供的一种多激光晶体的串接对准装置的结构示意图；
[0025]图2示出了本公开所提供的另一种多激光晶体的串接对准装置的结构示意图；
[0026]图3示出了本公开所提供的一种多激光晶体的串接对准方法的流程图
。
具体实施方式
[0027]以下，将参照附图来描述本公开的实施例
。
但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围
。
此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念
。
[0028]在附图中示出了根据本公开实施例的各种结构示意图
。
这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚表达的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节
。
图中所示出的
各种区域
、
层的形状以及它们之间的相对大小
、
位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状
、
大小
、
相对位置的区域
/
层
。
[0029]在本公开的上下文中，当将一层
/
元件称作位于另一层
/
元件“上”时，该层
/
元件可以直接位于该另一层
/...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多激光晶体的串接对准装置，其特征在于，包括：沿光路依次设置的参考光源
、
光源整形部件
、
返回光观察部件
、
光程差调节部件及透射光观察部件；第一激光晶体设置在所述返回光观察部件和所述光程差调节部件之间，第二激光晶体设置在所述光程差调节部件和所述透射光观察部件之间；其中，所述参考光源，用于向光路中提供参考光；所述光源整形部件，用于调整所述参考光的发散角，以使所述参考光匹配所述第一激光晶体和所述第二激光晶体的横截面尺寸；所述返回光观察部件，用于透射所述参考光，且所述第一激光晶体和所述第二激光晶体对所述参考光的返回光可在所述返回光观察部件上发生干涉，形成干涉现象；所述光程差调节部件，用于使所述第一激光晶体和所述第二激光晶体返回光的相对光程差满足干涉条件且不改变光束的传输方向；所述透射光观察部件，用于观察所述参考光透射所述第一激光晶体和所述第二激光晶体后形成的光斑
。2.
根据权利要求1所述的多激光晶体的串接对准装置，其特征在于，所述返回光观察部件中心设置有圆孔，所述圆孔的孔径大于通过的所述参考光的光束直径
。3.
根...

【专利技术属性】
技术研发人员：周密，亓岩，颜博霞，王延伟，韩哲，范元媛，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：