一种晶圆流片生产用清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆流片生产用清洗装置，属于晶圆流片清洁技术领域，该装置包括底座

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆流片生产用清洗装置


[0001]本技术属于晶圆流片清洁
，具体地说，涉及一种晶圆流片生产用清洗装置
。

技术介绍

[0002]众所周知，晶圆流片生产用清洗装置是一种用于晶圆流片生产过程中，对晶圆流片上沾染的油墨进行清洗，以便后续对其进行焊接的辅助装置，其在晶圆流片生产领域中得到广泛的使用，现有的晶圆流片生产用清洗装置包括工作台
、
放置盒
﹑
放置架
、
清洗刷和多组清洗棉球，放置架设置在工作台顶端前半区域上，放置盒设置在工作台顶端后侧，且放置盒内设置有放置腔，并在放置腔内盛放有酒精，放置盒顶端设置有取放口，并在取放口上设置有挡盖，清洗刷和多组清洗棉球均放置在工作台顶端，现有的晶圆流片生产用清洗装置使用时只需将晶圆流片放置在放置架上，然后一手按压晶圆流片进行固定，另一手用镊子夹住清洗棉球并沾取放置盒内的酒精，然后通过清洗棉球和清洗刷对晶圆流片上的油墨进行清洗即可
。
[0003]现有技术，专利申请号：
201821494767.4
公开了一种晶圆流片生产用清洗装置，可通过下压按压泵使其将放置盒内的酒精抽出并通过其输出端喷出，从而方便对酒精进行使用，提高使用性，同时可通过盛放盒对清洗后掉落的脏物进行收集，并通过将盛放盒从工作台上取下，从而方便对其进行清理，降低劳动程度，且可通过左固定件和右固定件对晶圆流片进行固定，从而无需手按晶圆流片进行固定，使清洗刷和清洗棉球能同时进行使用，提高清洗效率，同时通过控制左调节件和右调节件对左固定件和右固定件位置进行调整，从而可根据需求对晶圆流片固定后的位置进行调整，增强使用效果
。
[0004]但是在对晶圆流片进行清洗时，需要人工放置一片清洗一片，这将导致效率不高，不能够持续的清洗晶圆流片
。

技术实现思路

[0005]针对现有的在对晶圆流片进行清洗时，需要人工放置一片清洗一片，这将导致效率不高，不能够持续的清洗晶圆流片的问题，本技术提供一种晶圆流片生产用清洗装置，该装置包括底座，所述的底座的上端设置有对称的安装孔，一侧安装孔的内部安装有放置总成另一侧安装孔的内部安装有清洗总成，该组件配合使用可以有效解决上述问题
。
[0006]为解决上述问题，本技术采用如下的技术方案
。
[0007]一种晶圆流片生产用清洗装置，包括底座，所述的底座的上端设置有对称的安装孔，一侧安装孔的内部安装有放置总成另一侧安装孔的内部安装有清洗总成
。
[0008]具体地，通过放置总成能够放置多个晶圆流片，并且能够转动方便人工放置与清洗同步完成，提高清洗效率，通过清洗总成能够持续的对晶圆流片进行清洗
。
[0009]进一步地，所述的放置总成包括第一电机，所述的第一电机的转动端固定连接有第一传动杆，第一传动杆的末端固定连接有第一安装块，第一安装块的外壁固定连接有对
称的第一连接板，每个第一连接板的末端固定连接有第一圆盘，每个第一圆盘的外壁设置有多个半圆槽，每个半圆槽的内壁设置有插槽
。
[0010]具体地，通过第一电机转动能够电动第一传动杆
、
第一安装块和第一连接板转动，从而能够使得多个第一圆盘转动，通过多个插槽的内部能够卡接晶圆流片，通过半圆槽能够配合清洗总成对晶圆流片的上下两侧进行清洗
。
[0011]进一步地，所述的清洗总成包括第二电机，所述的第二电机的转动端固定连接有第二传动杆，每个第二传动杆的末端固定连接有第二安装块，第二安装块的外壁固定连接有多个上下对称的第二连接板，每个第二连接板的末端的上端活动安装有第三电机，每个第三电机的转动端穿透第二连接板并固定连接有第二圆盘，每上下两侧第三电机的相反面设置有多个圆槽，每个圆槽的底部设置有通孔，每个圆槽和通孔之间的凸台上设置有磁铁，每个圆槽的内部磁吸有磁块，每个磁块的上端固定连接有把手，每个磁块的底部活动连接有插块
。
[0012]具体地，通过磁块和磁铁的磁吸能够更加方便的更换，且不会脱落，通过两侧的多个插块能够对晶圆流片的上下两侧进行清洗，并且通过第三电机带动第二圆盘转动，能够保证清洗的更加干净
。
[0013]进一步地，每两个所述的第二圆盘之间穿过第一圆盘，棉层蘸酒精
。
[0014]有益效果
[0015]相比于现有技术，本技术的有益效果为：
[0016](1)
本技术中，在使用时底座的两侧各站立一名操作人员，靠近放置总成一侧的操作人员将晶圆片依次塞在插槽的内部，通过第一电机的转动能够持续对插槽的内部插接晶圆流片，靠近清洗总成一侧的工作人员将清洗后的磁块和插块通过把手拔出更换新的，能够源源不断的对晶圆流片安装对磁块进行更换，效率更高
。
[0017](2)
本技术中，通过第二电机的转动能够使得每两个第二圆盘转动直至第一圆盘的上下两侧与两个第二圆盘的内部重合，启动第三电机带动两侧第二圆盘转动能够使得插块对插槽内部的晶圆流片进行旋转清洗，能够一次对多个晶圆流片的上下两侧进行清洗，进一步提高了清洗效率
。
附图说明
[0018]图1为本技术中一种晶圆流片生产用清洗装置结构示意图；
[0019]图2为本技术中放置总成结构示意图；
[0020]图3为本技术中清洗总成结构示意图
。
[0021]图中各附图标注与部件名称之间的对应关系如下：
[0022]1、
底座；
101、
安装孔；
[0023]2、
放置总成；
201、
第一电机；
202、
第一传动杆；
203、
第一安装块；
204、
第一圆盘；
[0024]205、
半圆槽；
206、
插槽；
207、
第一连接板；
[0025]3、
清洗总成；
301、
第二电机；
302、
第二传动杆；
303、
第二安装块；
304、
第二连接板；
[0026]305、
第三电机；
306、
第二圆盘；
307、
通孔；
308、
圆槽；
309、
磁铁；
310、
磁块；
[0027]311、
把手；
312、
插块；
313、
棉层
。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种晶圆流片生产用清洗装置，其特征在于：包括底座
(1)
，所述的底座
(1)
的上端设置有对称的安装孔
(101)
，一侧安装孔
(101)
的内部安装有放置总成
(2)
，另一侧安装孔
(101)
的内部安装有清洗总成
(3)
，所述的放置总成
(2)
包括第一电机
(201)
，所述的第一电机
(201)
的转动端固定连接有第一传动杆
(202)
，第一传动杆
(202)
的末端固定连接有第一安装块
(203)
，第一安装块
(203)
的外壁固定连接有对称的第一连接板
(207)
，每个第一连接板
(207)
的末端固定连接有第一圆盘
(204)
，每个第一圆盘
(204)
的外壁设置有多个半圆槽
(205)
，每个半圆槽
(205)
的内壁设置有插槽
(206)
，所述的清洗总成
(3)
包括第二电机
(301)
，所述的第二电机
(301)
的转动端固定连接有第二传动杆
(302)
，每个第二传动杆
(302)
的末端固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈自力，
申请(专利权)人：厦门矽晶科技有限公司，
类型：新型
国别省市：