一种用于硅片承载的石墨舟储存柜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，包括柜体，所述柜体内设置有若干个石墨舟，所述柜体内开设有滑轨，所述滑轨内滑动连接有柜门，所述柜体的上端设置有毛刷，所述毛刷的下方设置有收集槽，所述柜体的下端设置有防尘仓，所述柜门上固定连接有把手，所述柜门与滑轨的连接处均设置有防滑纹，所述柜体上固定连接有挡板，所述收集槽内滑动连接有清理块，所述清理块上固定连接有防尘罩。与现有技术相比，根据本实用新型专利技术的一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，其能够减少储存柜门的占用空间，使作业人员更加方便的取放石墨舟，同时能够对储存柜门的内侧进行清理，使灰尘不易进入到储存柜内。入到储存柜内。入到储存柜内。

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片承载的石墨舟储存柜


[0001]本技术是属于石墨舟储存柜
，特别是关于一种用于硅片承载的石墨舟储存柜。

技术介绍

[0002]石墨舟是对硅片进行加工的一种载具，现有技术中对石墨舟的清洁度要求较高，因此石墨舟在不使用时一般会放置在储存柜内，以阻挡灰尘进入到石墨舟内。
[0003]但现有技术中的储存柜门一般是对开门，开启不方便且占用空间大，影响作业人员拿取石墨舟。同时当储存柜门打开时，储存柜门的内侧容易粘附外界中的灰尘，当储存柜门关闭时，灰尘在长时间后会进入到储存柜内，进而粘附在石墨舟上，影响后续对硅片的加工质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，其能够减少储存柜门的占用空间，使作业人员更加方便的取放石墨舟，同时能够对储存柜门的内侧进行清理，使灰尘不易进入到储存柜内。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，包括柜体，所述柜体内设置有若干个石墨舟，所述柜体内开设有滑轨，所述滑轨内滑动连接有柜门，所述柜体的上端设置有毛刷，所述毛刷的下方设置有收集槽，所述柜体的下端设置有防尘仓。
[0006]在一个或多个实施方式中，所述柜门上固定连接有把手，所述柜门与滑轨的连接处均设置有防滑纹。
[0007]在一个或多个实施方式中，所述柜体内开设有清理槽，所述柜体上固定连接有挡板，所述收集槽内滑动连接有清理块。
[0008]在一个或多个实施方式中，所述清理块上固定连接有防尘罩，所述清理块上固定连接有强力磁铁块，所述柜体内滑动连接有与强力磁铁块相匹配的拉杆，所述拉杆上固定连接有手柄。
[0009]在一个或多个实施方式中，所述防尘仓内活动连接有卷轴，所述卷轴上设置有防尘装置。
[0010]在一个或多个实施方式中，所述防尘仓的上端开设有与防尘装置相匹配的滑槽，所述防尘装置上固定连接有固定杆。
[0011]在一个或多个实施方式中，所述柜体上开设有与固定杆相匹配的固定槽。
[0012]在一个或多个实施方式中，所述防尘仓上固定连接有卡扣，所述柜体内开设有与卡扣相匹配的限位槽。
[0013]与现有技术相比，根据本技术的一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，其能够减少储存柜门的占用空间，使作业人员更加方便的取放石墨舟，同时能够对储存柜门的内
侧进行清理，使灰尘不易进入到储存柜内。
附图说明
[0014]图1是根据本技术一实施方式的结构示意图。
[0015]图2是图1中B处的结构示意图。
[0016]图3是根据本技术一实施方式的剖面图。
[0017]图4是图3中A处的结构示意图。
[0018]图5是图3中C处的结构示意图。
[0019]图6是根据本技术一实施方式的前视结构示意图。
[0020]主要附图标记说明：
[0021]1‑
柜体，101
‑
限位槽，102
‑
滑轮，104
‑
清理槽，105
‑
挡板，107
‑
滑动部，2
‑
滑轨，3
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柜门，4
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把手，5
‑
毛刷，501
‑
固定板，6
‑
收集槽，601
‑
清理块，602
‑
防尘罩，603
‑
强力磁铁块，604
‑
拉杆，605
‑
手柄，7
‑
防尘仓，701
‑
卷轴，702
‑
防尘装置，703
‑
卡扣，704
‑
滑槽，8
‑
固定杆，9
‑
固定槽，10
‑
石墨舟，11
‑
隔板。
具体实施方式
[0022]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0023]除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。
[0024]如图1至图6所示，根据本技术一实施方式的一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，包括柜体1，柜体1内设置有若干个石墨舟10，柜体1内开设有滑轨2，滑轨2内滑动连接有柜门3。柜体1的上端设置有毛刷5，毛刷5的下方设置有收集槽6，柜体1的下端设置有防尘仓7。
[0025]具体的，为了增加柜体1的储存量，柜体1内还设置有多个用于支撑石墨舟10的隔板11。柜体1的下端设置有若干个滑轮102，便于对柜体1进行移动。
[0026]柜门3能够上下滑动，一方面减少占用空间，另一方面可以将柜门3滑动到上方，不影响作用人员从柜体1内拿取石墨舟10。柜门3上固定连接有把手4，柜门3与滑轨2的连接处均设置有防滑纹。
[0027]通过柜门3便于移动把手4，通过设置在滑轨2与柜门3之间的防滑纹，能够增加滑轨2与柜门3之间的摩擦力。进而使柜门3悬停在任意位置，在不受外力的情况下，不易自动发生偏移。
[0028]毛刷5与柜门3的内侧相贴合，毛刷5上固定连接有固定板501，固定板501起到支撑的作用，能够使毛刷5距离柜体1的上端面具有一定间隙。当柜门3从关闭状态向上移动时，通过毛刷5能够对柜门3的内侧面进行清理。将柜门3的内侧面的灰尘刷到位于毛刷5下方的收集槽6内。进而及时对柜门3的内侧面上灰尘进行及时清理，防止灰尘长时间停留在柜门3的内侧面上，进而飘落到柜体1内。
[0029]收集槽6靠近柜门3的侧边上开设有滑动部107，通过滑动部107灰尘便于滑落到收
集槽6内。
[0030]柜体1内开设有清理槽104，柜体1上固定连接有挡板105，收集槽6内滑动连接有清理块601。
[0031]具体的，通过清理块601能够对集中在收集槽6内的灰尘进行清理，将收集槽6内的灰尘推到清理槽104内。清理槽104为竖直向下的槽，即灰尘能够沿着清理槽104向下移动，进而落在地面上，便于清理收集槽6中的灰尘。能够有效的防止在清理收集槽6内的灰尘时造成的二次污染。
[0032]清理块601上固定连接有防尘罩602，所属于清理块601上固定连接有强力磁铁块603，柜体1内滑动连接有与强力磁铁块603相匹配的拉杆604，拉杆604上固定连接有手柄605。
[0033]具体的，通过防尘罩602能够阻挡灰尘向上移动，拉杆604靠近强力磁铁块603的一侧设置有与强力磁铁块603相匹配的磁铁块。即清理块601能够随着拉杆604的移动而移动，进而在拉动拉杆604时，清理块601沿着收集槽6的方向移动，将收集槽6内的灰尘推到清理槽104内。通过手柄605便于拉动拉本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，其特征在于，包括柜体，所述柜体内设置有若干个石墨舟，所述柜体内开设有滑轨，所述滑轨内滑动连接有柜门，所述柜体的上端设置有毛刷，所述毛刷的下方设置有收集槽，所述柜体的下端设置有防尘仓。2.如权利要求1所述的一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，其特征在于，所述柜门上固定连接有把手，所述柜门与滑轨的连接处均设置有防滑纹。3.如权利要求1所述的一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，其特征在于，所述柜体内开设有清理槽，所述柜体上固定连接有挡板，所述收集槽内滑动连接有清理块。4.如权利要求3所述的一种用于硅片承载的石墨舟储存柜，其特征在于，所述清理块上固定连接有防尘罩，所述清理块上固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏飞，李腾飞，孙赛赛，
申请(专利权)人：中润新能源徐州有限公司，
类型：新型
国别省市：