一种可调节角度的硅产品加工治具制造技术

本发明专利技术公开了一种可调节角度的硅产品加工治具，包括固定架，所述固定架上转动连接有用于放置硅产品的平台，所述固定架上开设有弧形滑槽，所述弧形滑槽的圆心位于平台的转动轴线上；所述平台上设有滑杆，所述滑杆位于弧形滑槽内，滑杆上螺纹连接有锁紧块，当锁紧块拧紧时，锁紧块与固定架抵接；所述平台上设有用于夹紧硅产品的夹紧机构；将硅产品放置在平台上，通过夹紧机构将硅产品固定在平台上，硅产品的倾斜角度与平台的倾斜角度相同，调整平台的倾斜角度即可实现调节硅产品倾斜角度的目的；拧松锁紧块，转动平台，通过测定平台倾角，确定硅产品的倾斜角度，再拧紧锁紧块，实现倾斜定位的效果

【技术实现步骤摘要】
一种可调节角度的硅产品加工治具


[0001]本专利技术涉及硅产品加工
，具体为一种可调节角度的硅产品加工治具
。

技术介绍

[0002]在半导体硅材料制造
，常需要加工特殊角度面和角度孔
。
相对于加工水平面或者竖直孔而言，特殊角度面及角度孔的加工量较少，通常在加工水平面或者竖直孔的三轴加工中心直接进行定位装夹，来加工特殊角度面及角度孔
。
[0003]由于标准三轴加工中心的刀具都是竖直设置的，因此用三轴加工中心加工特殊角度面及角度孔，需要进行精准的定位装夹，倾斜装夹硅产品，不仅定位难度较大，加工复杂性也较大，导致加工时长较长；倾斜装夹的固定效果较差，如果在加工时硅产品发生滑移，还可能会使硅产品报废，造成产品合格率降低
、
成本增加等问题
。

技术实现思路

[0004]为了解决
技术介绍
中提到的至少一个技术问题，本专利技术的目的在于提供一种可调节角度的硅产品加工治具，解决加工特殊角度面及角度孔的定位复杂性问题，确保定位精准，提高产品合格率
。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种可调节角度的硅产品加工治具，包括固定架，所述固定架上转动连接有用于放置硅产品的平台，所述固定架上开设有弧形滑槽，所述弧形滑槽的圆心位于平台的转动轴线上；所述平台上设有滑杆，所述滑杆位于弧形滑槽内，滑杆上螺纹连接有锁紧块，当锁紧块拧紧时，锁紧块与固定架抵接；所述平台上设有用于夹紧硅产品的夹紧机构
。
[0006]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：将硅产品放置在平台上，通过夹紧机构将硅产品固定在平台上，硅产品的倾斜角度与平台的倾斜角度相同，调整平台的倾斜角度即可实现调节硅产品倾斜角度的目的；拧松锁紧块，转动平台，通过测定平台倾角，确定硅产品的倾斜角度，再拧紧锁紧块，实现倾斜定位的效果
。
[0007]优选地，所述夹紧机构包括两个用于夹紧硅产品的夹紧件
、
以及用于驱动两个夹紧件相互靠近
/
远离的驱动组件
。
[0008]优选地，两个所述夹紧件相互靠近的端面上分别铰接有一个压块，所述压块与夹紧件之间的铰接轴位于的压块底部，压块与夹紧件之间设有扭簧；在扭簧放松状态下，压块的一部分位于夹紧件的外部
。
[0009]优选地，所述平台上开设有滑槽，所述滑槽沿两个夹紧件的夹紧方向延伸，所述夹紧件与滑槽滑动连接
。
[0010]优选地，所述驱动组件包括两个分别固设于两个夹紧件上的斜块
、
与两个斜块滑动连接的推块
、
以及驱动推块移动的气动推杆，所述两个斜块分别与推块的两端滑动连接，推块的移动方向与两个夹紧件的夹紧方向垂直
。
[0011]优选地，两个斜块呈
V
字形分布，且关于气动推杆对称设置，所述平台的两侧分别设有一个滑槽和一个夹紧机构，呈
V
字形的两个斜块的开口朝向气动推杆，气动推杆的输出端设有两个抵接块，两个抵接块分别与推块的两侧面抵接
。
[0012]优选地，两个斜块相互靠近的一侧开设有燕尾槽，所述推块的两端分别与两个燕尾槽的内壁滑动连接
。
[0013]优选地，所述平台上开设有若干个用于吸住硅产品底面的真空吸槽，所述真空吸槽的顶部设有开口，所述平台上设有转接头，所述转接头的一端与真空吸槽连通，转接头的另一端外接有真空泵
。
[0014]优选地，所述弧形滑槽的个数为两个，分别位于固定架的两侧，滑杆位于其中一个弧形滑槽内，另一个弧形滑槽内滑动连接有刻度指示块，刻度指示块与平台固定连接，所述固定架靠近刻度指示块的一侧上设有角度刻度，所述角度刻度沿弧形滑槽的边缘设置
。
[0015]优选地，还包括用于测量平台顶端高度的百分表
。
附图说明
[0016]图1为本专利技术的装有硅产品时的整体结构示意图；图2为本专利技术另一个视角的结构示意图；图3为本专利技术的未装硅产品时的整体结构示意图；图4为本专利技术的夹紧机构的结构示意图；图5为本专利技术的夹紧机构的剖视图；图6为本专利技术百分表的使用示例图；图中：
1、
固定架；
10、
弧形滑槽；
100、
角度刻度；
11、
水平限位槽；
2、
平台；
20、
滑槽；
21、
水平限位块；
22、
滑杆；
221、
锁紧块；
23、
刻度指示块；
24、
转接头；
240、
真空吸槽；
3、
夹紧机构；
31、
气动推杆；
311、
输出端；
312、
抵接块；
32、
推块；
321、
燕尾滑块；
33、
斜块；
330、
燕尾槽；
331、
夹紧件；
332、
凸块；
333、
压块；
4、
硅产品；
5、
百分表；
51、
检测端
。
具体实施方式
[0017]下面对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0018]请参阅图1，本实施例提供一种可调节角度的硅产品加工治具，包括固定架1，所述固定架1上转动连接有用于放置硅产品4的平台2，平台2的转轴位于平台2的中间位置（如图1），形成一个类似于跷跷板的结构，跷跷板的一端设有水平限位块
21
，对应固定架1上开设有水平限位槽
11
，当水平限位块
21
与水平限位槽
11
的内壁抵接时，平台2水平
。
[0019]请参阅图
1、
图2和图3，本实施例中，所述固定架1的两侧开设有弧形滑槽
10
（弧形滑槽
10
位于水平限位槽
11
的另一端），弧形滑槽
10
为扇形角为
90
°
的腰型槽，且弧形滑槽
10
两侧贯通，所述弧形滑槽
10
的圆心位于平台2的转动轴线上；所述平台2的两侧分别设有滑杆
22
和刻度指示块
23
（两者均位于水平限位块
21
的另一端，且滑杆
22
和刻度指示块
23
所在
端只能向下滑动，水平限位块
21
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种可调节角度的硅产品加工治具，包括固定架（1），其特征在于，所述固定架（1）上转动连接有用于放置硅产品（4）的平台（2），所述固定架（1）上开设有弧形滑槽（
10
），所述弧形滑槽（
10
）的圆心位于平台（2）的转动轴线上；所述平台（2）上设有滑杆（
22
），所述滑杆（
22
）位于弧形滑槽（
10
）内，滑杆（
22
）上螺纹连接有锁紧块（
221
），当锁紧块（
221
）拧紧时，锁紧块（
221
）与固定架（1）抵接；所述平台（2）上设有用于夹紧硅产品（4）的夹紧机构（3）
。2.
根据权利要求1所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述夹紧机构（3）包括两个用于夹紧硅产品（4）的夹紧件（
331
）
、
以及用于驱动两个夹紧件（
331
）相互靠近
/
远离的驱动组件
。3.
根据权利要求2所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，两个所述夹紧件（
331
）相互靠近的端面上分别铰接有一个压块（
333
），所述压块（
333
）与夹紧件（
331
）之间的铰接轴位于的压块（
333
）底部，压块（
333
）与夹紧件（
331
）之间设有扭簧；在扭簧放松状态下，压块（
333
）的一部分位于夹紧件（
331
）的外部
。4.
根据权利要求2所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述平台（2）上开设有滑槽（
20
），所述滑槽（
20
）沿两个夹紧件（
331
）的夹紧方向延伸，所述夹紧件（
331
）与滑槽（
20
）滑动连接
。5.
根据权利要求4所述的一种可调节角度的硅产品加工治具，其特征在于，所述驱动组件包括两个分别固设于两个夹紧件（
331
）上的斜块（
33
）
、
与两个斜块（
33
）滑动连接的推块（
32
）
、
以及驱动推块（
32
）移动的气动推杆（
31
），所述两个斜块（
33
）分别与推块（
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王世泽，祝建敏，王双玉，密思，
申请(专利权)人：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：