声表面波谐振器制造技术

本申请涉及一种声表面波谐振器

【技术实现步骤摘要】
声表面波谐振器、滤波器、多工器和射频前端模组


[0001]本申请涉及射频滤波
，尤其涉及一种声表面波谐振器
、
一种包括所述声表面波谐振器的滤波器
、
一种包括所述滤波器的多工器
、
以及一种包括所述滤波器的射频前端模组
。

技术介绍

[0002]在射频滤波
，声表面波谐振器通常是在压电衬底上设置至少一个叉指换能器，通过叉指换能器上的多个电极指与压电衬底的配合，实现电信号与声波信号的相互转换
。
[0003]在相关技术中，为了避免各个电极指与环境接触所导致的氧化等现象，通常会在电极指的表面设置钝化层
。
但在相关技术中，钝化层的表面平整度相对较差
。
当声表面波通过钝化层向相邻的电极指传播时，可能会因为钝化层的表面平整度问题而损耗声表面波，从而使得声表面波谐振器的性能恶化
。

技术实现思路

[0004]鉴于上述相关技术的不足，本申请的目的在于提供一种改善声表面波谐振器性能的方案，具体包括如下技术方案：
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种声表面波谐振器，包括压电衬底
、
以及设于压电衬底上的至少一个叉指换能器，叉指换能器包括平行且间隔排列的两个汇流条
、
以及平行且间隔排列的多个电极指，多个电极指位于两个汇流条之间，部分电极指与一个汇流条连接，另一部分电极指与另一个汇流条连接，且连接于不同汇流条的电极指沿汇流条的长度方向交替排列；<br/>[0006]电极指露出于压电衬底的外表面设有钝化层，钝化层用于覆盖并保护电极指，至少一对相邻两个电极指之间的压电衬底的表面的一部分未覆盖钝化层
。
[0007]本申请声表面波谐振器通过在压电衬底上设置叉指换能器，以在汇流条接收到外部电信号后，电信号能够传递至多个电极指上，并基于压电衬底的压电效应将电信号转换为声表面波
。
另一汇流条连接的电极指接收到声表面波后，将声波信号转换为电信号，并向外输出，从而实现本申请声表面波谐振器的声电转换功能
。
[0008]本申请声表面波谐振器还通过在电极指的表面设置钝化层，以阻隔外部水
、
氧进入电极指内，从而保护电极指
。
再通过将相邻电极指之间的压电衬底表面不覆盖钝化层，基于压电衬底表面平整度较好，以减小因表面平整度对声表面波传播所造成的损耗
。
[0009]在一种实施例中，电极指的材料包括铜
、
钛
、
铬
、
银或铝中的至少一者
。
[0010]在一种实施例中，电极指与钝化层贴合的部分的材料包含至少一种单质材料，钝化层的材料为至少一种单质材料的氧化物
。
[0011]在本实施例中，通过将钝化层的材料设为贴合部分电极指材料的氧化物，以使得在制备钝化层时，可以直接氧化电极指的外表面形成钝化层，保证了钝化层与电极指的贴
合，进一步提升了钝化层对电极指的保护效果
。
[0012]在一种实施例中，钝化层的材料为氧化铝；电极指为单层结构，电极指的材料为铝，或，电极指为多层结构，电极指包括含铝金属层，且含铝金属层贴合于钝化层的内侧
。
[0013]在本实施例中，通过将电极指的材料设置为铝，将钝化层的材料设置为氧化铝，以使得在制备钝化层的过程中，可以直接氧化电极指
。
另一方面，通过将含铝金属层设置在钝化层的内侧，能够在制备钝化层的过程中，在氧化含铝金属层制备钝化层的同时，还能够避免氧化进程推进至电极指的其余结构，从而保证电极指的导电功能
。
[0014]在一种实施例中，钝化层包括层叠的保护层和单质层，单质层覆盖并贴合于电极指，保护层的材料为氧化硅或氮化硅，单质层的材料为硅
。
[0015]在本实施例中，通过设置材料为硅的单质层，以在制备钝化层的过程中，可以通过氧化单质层来实现钝化层的制备
。
同时，单质层覆盖并贴合于电极指，避免了氧化进程推进至电极指，从而保证了电极指的导电功能
。
[0016]在一种实施例中，电极指为多层结构，电极指贴合于压电衬底的表面的底层结构为含钛金属层，且含钛金属层背离压电衬底的一侧的表面与钝化层部分贴合
。
[0017]在本实施例中，通过设置与压电衬底表面贴合的含钛金属层，并使得含钛金属层背离压电衬底的表面与钝化层部分贴合，以利用钛金属与压电衬底的较好的贴合性能，避免水
、
氧经由钝化层和压电衬底之间的孔隙进入电极指内，从而保证了电极指的导电性能
。
[0018]在一种实施例中，电极指包括背离压电衬底的第一表面
、
以及连接于第一表面和压电衬底表面之间的侧壁，侧壁与压电衬底表面之间的夹角介于
60
°‑
90
°
之间
。
[0019]在本实施例中，通过将侧壁和压电衬底表面的夹角设置介于
60
°‑
90
°
之间，避免了因夹角过大而影响侧壁与钝化层的贴合效果，也避免了因夹角过小而影响相邻电极指之间的间距，从而在保证钝化层对电极指的保护效果的同时，保证本申请声表面波谐振器的滤波功能
。
[0020]在一种实施例中，构成第一表面的钝化层的厚度小于或等于构成侧壁的钝化层的厚度
。
[0021]在本实施例中，通过将构成侧壁的钝化层厚度设置大于或等于构成第一表面的钝化层厚度，减小了水
、
氧从侧壁进入电极指的可能，进一步提升了钝化层对电极指的保护效果
。
[0022]在一种实施例中，钝化层的厚度介于
2nm
‑
100nm
之间
。
[0023]在本实施例中，通过将钝化层的厚度设置介于
2nm
‑
100nm
之间，避免因钝化层过薄而导致钝化层结构强度过弱，而影响钝化层对电极指的保护效果，也避免了因钝化层过厚而影响相邻电极指之间的间距，从而在保证钝化层的结构强度的同时，也保证本申请声表面波谐振器的滤波功能
。
[0024]第二方面，本申请实施例提供了一种声表面波谐振器，包括压电衬底
、
以及设于压电衬底上的至少一个叉指换能器，叉指换能器包括平行且间隔排列的两个汇流条
、
以及平行且间隔排列的多个电极指，多个电极指位于两个汇流条之间，各个电极指的延伸方向均平行于两个汇流条的排列方向，部分电极指与一个汇流条连接，另一部分电极指与另一个汇流条连接，且连接于不同汇流条的电极指沿汇流条的长度方向交替排列；
[0025]电极指的外表面设有钝化层，钝化层用于覆盖并保护电极指，且钝化层的材料为
电极指与钝化层贴合部分的材料的氧化物；至少一对相邻两个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种声表面波谐振器，其特征在于，包括压电衬底
、
以及设于所述压电衬底上的至少一个叉指换能器，所述叉指换能器包括平行且间隔排列的两个汇流条
、
以及平行且间隔排列的多个电极指，多个所述电极指位于两个所述汇流条之间，部分所述电极指与一个所述汇流条连接，另一部分所述电极指与另一个所述汇流条连接，且连接于不同所述汇流条的所述电极指沿所述汇流条的长度方向交替排列；所述电极指露出于所述压电衬底的外表面设有钝化层，所述钝化层用于覆盖并保护所述电极指，至少一对相邻两个所述电极指之间的所述压电衬底的表面的一部分未覆盖所述钝化层
。2.
根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极指的材料包括铜
、
钛
、
铬
、
银或铝中的至少一者
。3.
根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极指与所述钝化层贴合的部分的材料包含至少一种单质材料，所述钝化层的材料为所述至少一种单质材料的氧化物
。4.
根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述钝化层的材料为氧化铝；所述电极指为单层结构，所述电极指的材料为铝，或，所述电极指为多层结构，所述电极指包括含铝金属层，且所述含铝金属层贴合于所述钝化层的内侧
。5.
根据权利要求3所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述钝化层包括层叠的保护层和单质层，所述单质层覆盖并贴合于所述电极指，所述保护层的材料为氧化硅或氮化硅，所述单质层的材料为硅
。6.
根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极指为多层结构，所述电极指贴合于所述压电衬底的表面的底层结构为含钛金属层，且所述含钛金属层背离所述压电衬底的一侧的表面与所述钝化层部分贴合
。7.
根据权利要求1‑6任一项所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述电极指包括背离所述压电衬底的第一表面
、
以及连接于所述第一表面和所述压电衬底表面之间的侧壁，所述侧壁与所述压电衬底表面之间的夹角介于
60
°‑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：李阳，杜波，王华磊，倪建兴，
申请(专利权)人：锐石创芯重庆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：