一种金属箔材制造技术

本发明专利技术公开了一种金属箔材

【技术实现步骤摘要】
一种金属箔材、金属箔材的制备方法及金属掩模板


[0001]本专利技术涉及金属材料制备
，具体涉及一种金属箔材
、
金属箔材的制备方法及金属掩模板
。

技术介绍

[0002]有机发光二极管
OLED(Organic Light Emitting Diode)
相对于液晶显示器具有重量轻
、
视角广
、
响应时间快
、
耐低温和发光效率高等优点，被视为下一代新型显示技术
。
目前，一般通过在真空环境中加热有机半导体材料，使材料受热升华，通过具有特殊子画素图案的金属掩模板在基板表面形成具有所设计形状的有机薄膜器件叠构，经历多种材料的连续沉积成膜，加上在叠构的两端各镀上阳极及阴极，即可形成具有多层薄膜的
OLED
发光器件结构
。
在上述工艺过程中需要使用精密金属掩模板
(Fine Metal Mask
，
FMM)
沉积
OLED
器件的发光层，精密金属掩模板的质量对最终
OLED
发光器件品质具有重要影响
。
[0003]作为
OLED
器件蒸镀制造时的荫罩使用的整张精密金属掩模板是由金属箔材制作而成的多个精密金属掩模板条经过张网，焊接在网框上而构成，整张精密金属掩模版在蒸镀一定的
AMOLED
显示器基板数后，必须取下，清洗干净沉积在精密金属掩模板上的蒸镀材料，经过检测品质后，才能继续再进行蒸镀工序
。
若是金属箔材的强度不足，在精密金属掩模板条经过精密对位张网和焊接固定后，和在后续蒸镀
、
清洗及运送的过程中，可能会出现精密金属掩模板条变形等缺陷，造成所制作的显示器光学性能降低，产生发光不均匀
(Mura)
的问题
。
此时，就需要更换新的精密金属掩模板条，整张金属掩模板才能继续蒸镀，以保证显示器的良品率
。
[0004]相关技术中，受限于原材料品质和相关工艺制程，目前制备精密掩模板用的金属箔材的强度较低，所以精密掩模板条的使用寿命较低，导致制造成本增加
。
尤其是对于
AMOLED
显示器等高解析度显示器，生产所需的精密金属掩模板的厚度更薄
、
微孔密度更高，箔材制成精密金属掩模板后的金属存留占比更低，所以金属箔材的强度需求更高
。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一
。
为此，本专利技术提供了一种高强度超薄金属箔材
。
[0006]为了达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0007]一种金属箔材，该金属箔材的重量百分比组成为：
30
～
40wt
％的
Ni、0.5
～
15wt
％的
M
，
M
选自
Mn、Cr、Mo、Co、Ti、V、Ta、Nb、Be、Mg、Ce、Al、Si、C、N、B、P、S、O
中的至少一种，余量为铁和不可避免的杂质元素；其中，
M
在金属箔材内形成金属间化合物和
/
或金属化合物
。
[0008]可选的，重量百分比为
32
～
39.6wt
％的
Ni、0.6
～
10wt
％的
M
，余量为
Fe
和不可避免的杂质元素
。
通过申请人的进一步研究，采用所述配比制得的金属箔材具有更高的强度
。
[0009]可选的，该金属箔材硬度大于
300HV
，屈服强度大于
750MPa
，抗拉强度大于
800MPa。
强化元素
M
在铁镍合金中生成金属间化合物和
/
或金属化合物等析出物，细小的析出物均匀
分布在铁镍合金中，提高了合金的屈服强度和抗拉强度，同时也能增加制得的箔材的硬度
。
[0010]本专利技术还提供一种金属箔材的制备方法，包括如下步骤：
[0011]S100
，熔炼；将高纯度金属原料按照所述金属箔材的成分配比进行熔炼并制成铸锭；
[0012]S101
，精炼；对铸锭进行精炼以形成高洁净度的金属锭；
[0013]S102
，热锻；对金属锭进行高温锻造处理以制得厚度为1～
10cm
的金属板块；
[0014]S103
，热轧；对金属板块进行热轧加工，将金属板块制成厚度为1～
10mm
的金属板；
[0015]S104
，初次热处理；对金属板进行初次热处理，调整显微结构并消除内应力；
[0016]S105
，冷轧；对金属板进行至少一次冷轧处理以使其厚度
≤5mm
；
[0017]S106
，二次热处理；对每次冷轧之后的金属板进行热处理，调整显微结构并消除内应力；
[0018]S107
，精密压延；对二次热处理后的金属板进行至少一次精密压延处理以得到金属箔材；
[0019]S108
，三次热处理；对每次精密压延处理后的金属箔材进行热处理；
[0020]S109
，整平处理；对三次热处理后的金属箔材进行整平处理
。
[0021]在本专利技术中，申请人在铁镍合金中添加强化元素
M
，
M
可以为
Mn、Cr、Mo、Co、Ti、V、Ta、Nb、Be、Mg、Ce、Al、Si、C、N、B、P、S、O
中的一种或几种，通过控制工艺条件，使得上述不同强化元素之间
、
强化元素和铁镍合金之间相互作用生成金属间化合物或金属化合物等析出物，改变铁镍合金在后续加工中的显微结构，改善铁镍合金的组织以增强铁镍合金的强度
。
[0022]具体的，申请人向铁镍合金中添加可以形成稳定化合物的强化元素，形成均匀分布的第二相化合物以提高铁镍合金的强度，均匀细小的第二相粒子能够同时提高合金的屈服强度和抗拉强度
。
第二相强化的机理是利用沉淀析出的第二相化合物与位错相互作用，从而对合金产生强化，增强了制得的金属箔材的强度
。
[0023]将强化后的金属箔材用来制作金属掩模板，具体步骤如下：
[0024]S201
，表面清洗：将金属箔材表面清洗干净，去除金属箔材表面的污染物和氧化层；
[0025]S202
，金属箔材图案加工：对清洗后的金属箔材采用黄光及湿式蚀刻的图案成型工艺形成精密金属掩模板所需的图案化金属箔材；每次精密金属掩膜板条
(FMM本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种金属箔材，其特征在于，该金属箔材的重量百分比组成为：
30
～
40wt
％的
Ni、0.5
～
15wt
％的
M
，
M
选自
Mn、Cr、Mo、Co、Ti、V、Ta、Nb、Be、Mg、Ce、Al、Si、C、N、B、P、S、O
中的至少一种，余量为铁和不可避免的杂质元素；其中，
M
在金属箔材内形成金属间化合物和
/
或金属化合物
。2.
根据权利要求1所述的金属箔材，其特征在于，所述金属箔材的重量百分比组成为
32
～
39.6wt
％的
Ni、0.6
～
10wt
％的
M
，余量为
Fe
和不可避免的杂质元素
。3.
根据权利要求1或2所述的金属箔材，其特征在于，该金属箔材硬度大于
300HV
，屈服强度大于
750MPa
，抗拉强度大于
800MPa。4.
一种权利要求1‑3任一项所述的金属箔材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S100
，熔炼：将高纯度金属原料按照所述金属箔材的成分配比进行熔炼并制成铸锭；
S101
，精炼；对铸锭进行精炼以形成高洁净度的金属锭；
S102
，热锻；对金属锭进行高温锻造处理以制得金属板块；
S103
，热轧；对金属板块进行热轧加工，将金属板块制成金属板；
S104
，初次热处理；对金属板进行初次热处理，调整显微结构并消除内应力；
S105
，冷轧；对金属板进行至少一次冷轧处理；
S106
，二次热处理；对每次冷轧之后的金属板进行热处理，调整显微结构并消除内应力；
S107
，精密压延；对二次热处理后的金属板进行至少一次精密压延处理以得到金属箔材；
S108
，三次热处理；对每次精密压延处理后的金属箔材进行热处理；
S109
，整平处理；对三次热处理后的金属箔材进行整平处理
。5.
根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，在步骤
S107
中，通过精密压延处理将金属板轧制成5μ
m
～
200
μ
m
厚且表面平整的金属箔材
。6.
根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鼎国，
申请(专利权)人：寰采星科技宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：