线放电加工装置及线放电加工方法制造方法及图纸

控制部

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】线放电加工装置及线放电加工方法


[0001]本专利技术涉及进行使用线电极从被加工物将多个板状部件一并切出的放电加工的线放电加工装置及线放电加工方法
。

技术介绍

[0002]在多线放电加工装置中，在多个线电极和被加工物之间使放电发生，从被加工物将多个板状部件一并切出
。
多线放电加工装置例如在半导体制造工序中，在从铸锭将多个晶片切出的切割加工中被使用
。
被一并加工的薄板在其形成中途，由于向极间供给的加工液流而摆动，发生相邻的薄板间变窄的状况
。
其结果，由于加工屑的排出不良或者线电极的冷却不良而放电加工变得不稳定
。
[0003]在专利文献1中，设置从上方对被加工物进行按压而支撑的按压板，对通过线行进和由于切断时的外力发生的被加工物的振动引起的晶片的浮起进行抑制
。
对按压板进行按压的力使用配重或者电动机等驱动装置而取得
。
[0004]专利文献1：日本特开
2002
－
205255
号公报

技术实现思路

[0005]在专利文献1中，在利用配重的方法中，配重的重量成为针对载置被加工物的平台的载荷，在将多个被加工物载置于同一平台而进行加工的情况下，配重的重量变大，需要防止工作台的变形，增大驱动力等平台机构的强化
。
另外，在专利文献1中，从加工开始至加工结束为止通过按压板对被加工材料进行按压，因此在使用电动机等驱动装置的方法中，为了不使线电极和按压板干涉，需要通过按压板对被加工物施加载荷，并且从加工开始至加工结束为止使按压板移动驱动，存在控制变得复杂这样的问题
。
[0006]本专利技术就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于得到不需要平台机构的强化，且实现简单的控制下的线放电加工的线放电加工装置
。
[0007]为了解决上述课题，并达到目，本专利技术的线放电加工装置具有线电极
、
供电部
、
一对喷嘴
、
被加工物固定板
、
一对加工液整流板
、
一对加工液排出防止板
、
被加工物按压部
、
切断进给台
、
保持装置和控制部
。
线电极具有彼此并列地分离而与被加工物相对的切断线部
。
供电部在多个切断线部和被加工物之间使放电发生
。
一对喷嘴具有被多个切断线部插入贯穿，对多个切断线部和被加工物之间的间隙供给加工液的多个喷出孔
。
被加工物固定板对被加工物进行载置固定
。
一对加工液整流板以夹着被加工物的方式设置于被加工物的两侧
。
一对加工液排出防止板以夹着被加工物固定板及一对加工液整流板的方式设置，具有与一对喷嘴的多个喷出孔连接，且供多个切断线部插入贯穿的多个贯通孔
。
被加工物按压部从被加工物及多个切断线部的上方插入至由一对加工液整流板及一对加工液排出防止板包围的空间，对在切断中分断的被加工物进行保持
。
切断进给台使被加工物固定板及一对加工液整流板相对于一对加工液排出防止板及多个切断线部在上下相对移动
。
保持装置将被加工物按压部保持于从切断线部向上方分离的切断初始位置
。
控制部以如果切断加工
开始，则对切断进给台进行驱动，使对被加工物进行载置固定的被加工物固定板及一对加工液整流板与多个切断线部接近的方式相对于一对加工液排出防止板向上方移动，以通过上方移动直至被加工物到达第1位置为止将被加工物按压部保持于切断初始位置的方式对保持装置进行控制，以在被加工物到达第1位置后，将被加工物按压部的保持解除的方式对保持装置进行控制
。
[0008]专利技术的效果
[0009]根据本专利技术所涉及的线放电加工装置，具有不需要平台机构的强化，且实现简单的控制下的线放电加工这一效果
。
附图说明
[0010]图1是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置的结构例的概念图
。
[0011]图2是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置的加工液流路限制部的结构例的分解斜视图
。
[0012]图3是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置所具有的被加工物按压部的构造的斜视图
。
[0013]图4是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置所具有的加工液流路限制部的构造的剖视图
。
[0014]图5是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置所具有的加工液流路限制部的构造的其他剖视图
。
[0015]图6是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置所具有的控制部的结构例的框图
。
[0016]图7是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置的切断加工时的动作的流程图
。
[0017]图8是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置的切断加工时的第1阶段的动作的剖视图
。
[0018]图9是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置的切断加工时的第2阶段的动作的剖视图
。
[0019]图
10
是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置的切断加工时的第3阶段的动作的剖视图
。
[0020]图
11
是表示实施方式2所涉及的线放电加工装置的加工液流路限制部的结构例的分解斜视图
。
[0021]图
12
是表示实施方式
1、2
所涉及的线放电加工装置所具有的控制部的硬件结构的一个例子的框图
。
具体实施方式
[0022]下面，基于附图对实施方式所涉及的线放电加工装置及线放电加工方法详细地进行说明
。
[0023]实施方式1[0024]图1是表示实施方式1所涉及的线放电加工装置
1000
的结构例的概念图
。
在图1示出了3轴正交坐标系的
x
轴
、y
轴
、z
轴
。y
轴与被加工物
W
上的线电极1的行进方向相对应，
z
轴与高度方向
(
上下方向
)
相对应，
x
轴与在被加工物
W
上多个线电极1并列的方向相对应
。
[0025]线放电加工装置
1000
具有：加工机构部
100
，其通过线电极1对被加工物
W
进行切断加工；供电部
200
，其执行供电；控制部
300
；以及加工液流路限制部
400。
线放电加工装置
1000
从被加工物
W
一并地将多个板状部件切出
。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种线放电加工装置，其特征在于，具有：线电极，其具有彼此并列地分离而与被加工物相对的切断线部；供电部，其在多个所述切断线部和所述被加工物之间使放电发生；一对喷嘴，其具有被多个所述切断线部插入贯穿并对多个所述切断线部和所述被加工物之间的间隙供给加工液的多个喷出孔；被加工物固定板，其对所述被加工物进行载置固定；一对加工液整流板，其以夹着所述被加工物的方式设置于所述被加工物的两侧；一对加工液排出防止板，其以夹着所述被加工物固定板及一对所述加工液整流板的方式设置，具有与一对所述喷嘴的多个所述喷出孔连接，且供多个所述切断线部插入贯穿的多个贯通孔；被加工物按压部，其从所述被加工物及多个所述切断线部的上方插入至由一对所述加工液整流板及一对所述加工液排出防止板包围的空间，对在切断中分断的所述被加工物进行保持；切断进给台，其使所述被加工物固定板及一对所述加工液整流板相对于一对所述加工液排出防止板及多个所述切断线部在上下相对移动；保持装置，其将所述被加工物按压部保持于从所述切断线部向上方分离的切断初始位置；以及控制部，其以如果切断加工开始，则对所述切断进给台进行驱动，使对所述被加工物进行载置固定的所述被加工物固定板及一对所述加工液整流板与多个所述切断线部接近的方式相对于一对所述加工液排出防止板向上方移动，以通过所述上方移动直至所述被加工物到达第1位置为止将所述被加工物按压部保持于所述切断初始位置的方式对所述保持装置进行控制，以在所述被加工物到达所述第1位置后，将所述被加工物按压部的保持解除的方式对所述保持装置进行控制
。2.
根据权利要求1所述的线放电加工装置，其特征在于，具有固定机构，如果所述被加工物到达所述第1位置，则该固定机构将所述被加工物按压部锁止固定于一对所述加工液整流板，所述控制部在所述被加工物到达所述第1位置后，在通过所述固定机构将所述被加工物按压部锁止固定于一对所述加工液整流板的状态下，对所述切断进给台进行驱动，使搭载有所述被加工物的所述被加工物固定板
、
一对所述加工液整流板相对于一对所述加工液排出防止板直至切断加工的结束为止向上方移动而将所述被加工物进行切断
。3.
根据权利要求2所述的线放电加工装置，其特征在于，所述被加工物按压部具有多个有底孔，所述固定机构具有在所述被加工物按压部的所述多个有底孔分别设置的多个带弹簧的柱塞
、
和供在一对所述整流板设置的所述多个带弹簧的柱塞进行嵌合的多个凹部
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的线放电加工装置，其特征在于，所述被加工物按压部具有从下表面贯通至上表面的加工液排出口
。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：三宅英孝，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：