一种石英管隔热结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英管隔热结构，包括石英管及设于石英管末端外部的炉尾密封圈，石英管末端内部轴向设有气流导向管，气流导向管内侧端外壁上设有与石英管内壁连接密封的环形挡板。通过增加气流导向管，使得热气流不直接与密封圈所在的位置接触而从气流导向管内通过，从而使密封圈的工作环境较以前降低约80

【技术实现步骤摘要】
一种石英管隔热结构


[0001]本技术属于LPECVD石英管、具体涉及一种石英管隔热结构。

技术介绍

[0002]LPECVD是在低压高温的条件下，通过化学反应气相外延的方法在衬底上沉积各种功能薄膜(主要是Si3N4、SiO2及Poly硅薄膜)，用于半导体晶圆器件的制备。如图1所示，目前，LPCVD系统的加热炉体1通常在400
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800℃条件下工作，热气流随抽真空方向向石英管2炉尾方向运动，气流将热量带至石英管2炉尾的密封圈3部位，使得该部位温度比炉口位置高出100
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150℃，从而经常导致密封圈3在炉尾约300℃环境下迅速老化失去密封作用。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是提供一种石英管隔热结构，通过在靠近炉尾处增加气流导向管，使热气流不直接与密封圈所在位置接触，从而有效提高密封圈使用寿命。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用如下的技术方案：
[0005]一种石英管隔热结构，包括石英管及设于石英管末端外部的炉尾密封圈，所述石英管末端内部轴向设有气流导向管，气流导向管内侧端外壁上设有与石英管内壁连接密封的环形挡板。
[0006]所述气流导向管的轴向长度至少覆盖炉尾密封圈所在的轴向位置。
[0007]所述气流导向管为直管形状。
[0008]采用本技术的一种石英管隔热结构，通过增加气流导向管，使得热气流不直接与密封圈所在的位置接触而从气流导向管内通过，从而使密封圈的工作环境较以前降低约80
‑r/>120℃，可有效提高密封圈使用寿命。
附图说明
[0009]下面结合附图和具体实施方式对技术进行详细说明：
[0010]图1是现有技术的石英管的工作状态剖视示意图；
[0011]图2是本技术的石英管隔热结构的工作状态剖视图。
具体实施方式
[0012]本技术的石英管隔热结构如图2所示，包括石英管2及设于石英管2末端外部的炉尾密封圈3，石英管2末端内部轴向设有气流导向管4，该气流导向管4可与石英管2同轴心，且可采用多种形状，例如直管形、喇叭形等，用以将热气流导入其内，使气流热量不直接与密封圈3所在位置接触，从而起到保护密封圈3的作用。需要说明的是，该气流导向管4的轴向长度至少需要覆盖整个密封圈3所在的轴向位置。如图2所示为一较佳例，采用直管形的气流导向管4的内侧端外壁上设有与石英管2内壁连接密封的环形挡板5，起到在石英管2内的安装固定及遮挡导流作用。
[0013]综上所述，采用本实用的石英管2隔热结构，使得热气流不直接与密封圈3所在的位置接触而从气流导向管4内通过，从而使密封圈3的工作环境较以前降低约80
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120℃，可有效提高密封圈3使用寿命。
[0014]但是，本
中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本技术，而并非用作为对本技术的限定，只要在本技术的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本技术的权利要求书范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英管隔热结构，包括石英管及设于石英管末端外部的炉尾密封圈，其特征在于：所述石英管末端内部轴向设有气流导向管，气流导向管内侧端外壁上设有与石英管内壁连接密封的环形挡板。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈瀚，丁波，张伟，智朋，侯金松，谷卫东，杭海燕，魏方超，
申请(专利权)人：上海微世半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：