快换式硅片镀膜单面挂钩组件及其安装方法技术

本发明专利技术公开了一种快换式硅片镀膜单面挂钩组件及其安装方法，它包括单面挂钩和垫板，在两扎带顶端设有压迫凸台，在其外侧等高度地设有折弯槽，折弯槽的开设位置要求为：当压迫凸台向内侧边折弯９０°后，内侧边到定位槽底边的距离等于两个垫板厚度与纵向杆厚度之和；所述垫板呈“工”字形，在其两侧开有扎带槽，单面挂钩和垫板配套使用，单面挂钩通过二块垫板固定在纵向杆上，两扎带在收紧、拆除过程中都不会直接作用于纵向杆，折弯槽和压迫凸台的设置，既能便于单面挂钩的快速收紧与拆除，又不会对硅片承载框架产生损伤，还能降低硅片背面沉积氮化硅层的几率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种快换式硅片镀膜单面挂钩组件，其特征是，它包括单面挂钩（１）和垫板（５），所述单面挂钩（１）由托钩（１１）、钩身（１２）、定位槽（１３）、扎带（１４）、压迫凸台（１５）和折弯槽（１６）组成，托钩（１１）设置在钩身（１２）底部的一侧，定位槽（１３）位于钩身（１２）的上方，且处于两根扎带（１４）之间，压迫凸台（１５）设置在扎带（１４）的顶端，在两扎带（１４）的外侧等高度地设有折弯槽（１６），折弯槽（１６）的开设位置要求是：当压迫凸台（１５）沿折弯槽（１６）向内侧边（１７）折弯９０°后，内侧边（１７）到定位槽（１３）底边（１８）的距离等于两个垫板（５）的厚度与纵向杆（３１）的厚度之和；所述垫板（５）呈“工”字形，在垫板（５）两侧设有扎带槽（５１），扎带槽（５１）的宽度与扎带（１４）的厚度相当，两扎带槽（５１）槽底（５２）之间的距离与两扎带（１４）内侧边（１７）之间的距离相当，托钩（１１）的顶尖与纵向杆（３１）底边的距离小于或等于硅片（４）的厚度。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：屈莹，刘志刚，冯鑫，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]