CdTe制造技术

提供一种

【技术实现步骤摘要】
CdTe电池阳面刻蚀装置


[0001]本公开涉及薄膜电池领域，更具体地涉及一种
CdTe
电池阳面刻蚀装置
。

技术介绍

[0002]在
CdTe
薄膜太阳能电池制造工序中，
VTD
制备
CdTe
和
CdS
膜层是核心关键工序，但在镀膜过程中存在绕镀现象，基板的背面存在的
CdTe
和
CdS
膜层会出现与正面的碲化镉
(CdTe)
膜面接触连通的现象，降低薄膜太阳能电池的转换效率
。
[0003]为解决该问题，在薄膜电池制备工艺中，利用阳面刻蚀的方法将背面的绕镀
CdTe
和
CdS
膜层去除掉
。
[0004]但是，利用阳面刻蚀存在两个问题：
[0005]第一，在传动
CdTe
电池板进行阳面刻蚀时，传动装置的辊轮极容易溅起浓硝酸
(
即刻蚀液
)
滴落在
CdTe
电池板的正面，从而腐蚀正面的碲化镉膜面；
[0006]第二，由于浓硝酸极具有挥发性，挥发的酸性气体也会腐蚀
CdTe
电池板的正面的碲化镉膜面而在碲化镉膜面上形成白点
。

技术实现思路

[0007]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的一目的在于提供一种
CdTe
电池阳面刻蚀装置，其能够在
CdTe
电池阳面刻蚀过程中保证正面的碲化镉膜面不受到腐蚀液的溅射液滴和挥发气的腐蚀，避免正面的碲化镉膜面不受损伤，确保
CdTe
电池板的转换效率
。
[0008]由此，提供一种
CdTe
电池阳面刻蚀装置，
CdTe
电池阳面刻蚀装置包括多个辊轮
、
下刻蚀槽
、
上壳体以及送风机构；下刻蚀槽用于盛放持续通入的刻蚀液；上壳体位于下刻蚀槽的上方，上壳体具有进风通道，上壳体与下刻蚀槽在上下方向上间隔开以在左右方向上形成进入通道和离开通道，进入通道的下表面和离开通道的下表面齐平，进入通道和离开通道同时作为刻蚀液的溢流通道；多个辊轮沿左右方向间隔布置在下刻蚀槽中，多个辊轮的最高点位于比刻蚀液的液面低但比进入通道的下表面和离开通道的下表面高的同一水平面上，多个辊轮用于旋转的同时接收从进入通道进入的
CdTe
电池板
、
旋转地支撑
CdTe
电池板的基板的带有绕镀的并待由刻蚀液刻蚀掉的
CdTe
和
CdS
膜层的背面以及将刻蚀完成的
CdTe
电池板经由离开通道送出；送风机构包括送风机和散风均流单元，送风机用于向进风通道送风；散风均流单元用于接收经由进风通道进入的风
、
使所接收的风分散降压降速以及使分散降压降速的均流向下均流送风以抑制刻蚀液的液面波动
、
刻蚀液因辊轮的旋转飞溅以及刻蚀液的向上挥发
。
[0009]本公开的有益效果如下：在本公开的
CdTe
电池阳面刻蚀装置中，通过送风机构的送风机向进风通道送风以及散风均流单元接收经由进风通道进入的风
、
使所接收的风分散降压降速以及使分散降压降速的风向下均流送，散风均流单元均流向下均流送的风因风向下压的作用，能够抑制刻蚀液的液面波动进而抑制刻蚀液因辊轮的旋转飞溅，即使刻蚀液飞溅，飞溅的刻蚀液也会被压下从而避免滴落在
CdTe
电池板的正面
、
进而不会腐蚀正面的
碲化镉
(CdTe)
膜面
。
此外，散风均流单元均流向下均流送的风因风向下压的作用，刻蚀液的向上挥发被压制，进而挥发的刻蚀液不会向上行进到正面的碲化镉膜面上而使碲化镉膜面形成白点
。
也就是说，本公开的
CdTe
电池阳面刻蚀装置能够在
CdTe
电池阳面刻蚀过程中保证正面的碲化镉膜面不受到腐蚀液的溅射液滴和挥发气的腐蚀，避免正面的碲化镉膜面不受损伤，确保
CdTe
电池板的转换效率
。
附图说明
[0010]图1是根据本公开的
CdTe
电池阳面刻蚀装置的示意图
。
[0011]图2是第一均流板
、
第二均流板
、
第三均流板和第四均流板的俯视图
。
[0012]其中，附图标记说明如下：
[0013]100CdTe
电池阳面刻蚀装置
413a
第二通孔
[0014]D1
上下方向
42
第二散风均流单元
[0015]D2
左右方向
421
第二散风嘴
[0016]1辊轮
422
第三均流板
[0017]2下刻蚀槽
422a
第三通孔
[0018]3上壳体
43
第三散风均流单元
[0019]31
进风通道
431
第三散风嘴
[0020]Pi
进入通道
432
第四均流板
[0021]Pe
离开通道
432a
第四通孔
[0022]4送风机构
T1
第一连通管
[0023]40
送风机
T2
第二连通管
[0024]U
散风均流单元5固定板
[0025]41
第一散风均流单元6收集槽
[0026]411
第一散风嘴7送入辊轮组
[0027]412
第一均流板8接收辊轮组
[0028]412a
第一通孔
200
刻蚀液
[0029]413
第二均流板
300CdTe
电池板
具体实施方式
[0030]附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开
。
[0031]参照图1和图2，根据本公开的
CdTe
电池阳面刻蚀装置
100
包括多个辊轮
1、
下刻蚀槽
2、
上壳体3以及送风机构
4。
[0032]下刻蚀槽2用于盛放持续通入的刻蚀液
200(
即下刻蚀槽2外接外部的刻蚀液供给源
)。
上壳体3位于下刻蚀槽2的上方，上壳体3具有进风通道
31
，上壳体3与下刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种
CdTe
电池阳面刻蚀装置，其特征在于，
CdTe
电池阳面刻蚀装置
(100)
包括多个辊轮
(1)、
下刻蚀槽
(2)、
上壳体
(3)
以及送风机构
(4)
；下刻蚀槽
(2)
用于盛放持续通入的刻蚀液
(200)
；上壳体
(3)
位于下刻蚀槽
(2)
的上方，上壳体
(3)
具有进风通道
(31)
，上壳体
(3)
与下刻蚀槽
(2)
在上下方向
(D1)
上间隔开以在左右方向
(D2)
上形成进入通道
(Pi)
和离开通道
(Pe)
，进入通道
(Pi)
的下表面和离开通道
(Pe)
的下表面齐平，进入通道
(Pi)
和离开通道
(Pe)
同时作为刻蚀液
(200)
的溢流通道；多个辊轮
(1)
沿左右方向
(D2)
间隔布置在下刻蚀槽
(2)
中，多个辊轮
(1)
的最高点位于比刻蚀液
(200)
的液面低但比进入通道
(Pi)
的下表面和离开通道
(Pe)
的下表面高的同一水平面上，多个辊轮
(1)
用于旋转的同时接收从进入通道
(Pi)
进入的
CdTe
电池板
(300)、
旋转地支撑
CdTe
电池板
(300)
的基板的带有绕镀的并待由刻蚀液
(200)
刻蚀掉的
CdTe
和
CdS
膜层的背面以及将刻蚀完成的
CdTe
电池板
(300)
经由离开通道
(Pe)
送出；送风机构
(4)
包括送风机
(40)
和散风均流单元
(U)
，送风机
(40)
用于向进风通道
(31)
送风；散风均流单元
(U)
用于接收经由进风通道
(31)
进入的风
、
使所接收的风分散降压降速以及使分散降压降速的均流向下均流送风以抑制刻蚀液
(200)
的液面波动
、
刻蚀液
(200)
因辊轮的旋转飞溅以及刻蚀液
(200)
的向上挥发
。2.
根据权利要求1所述的
CdTe
电池阳面刻蚀装置，其特征在于，散风均流单元
(U)
包括第一散风均流单元
(41)
；第一散风均流单元
(41)
包括第一散风嘴
(411)
和第一均流板
(412)
，第一散风嘴
(411)
位于多个辊轮
(1)
的正上方并与多个辊轮
(1)
间隔成不干涉多个辊轮
(1)
支撑的
CdTe
电池板
(300)
，第一散风嘴
(411)
从下方密闭连接于进风通道
(31)
并用于使经由进风通道
(31)
进入的风分散降压降速；第一均流板
(412)
定位在第一散风嘴
(411)
中，第一均流板
(412)
的周侧固定于第一散风嘴
(411)
的内壁，第一均流板
(412)
均匀分布有沿上下方向
(D1)
贯通的多个直径相同的第一通孔
(412a)
，第一均流板
(412)
用于使进入到第一散风嘴
(411)
经由多个第一通孔
(412a)
向下均流送风以抑制刻蚀液
(200)
的液面波动
、
刻蚀液
(200)
因辊轮的旋转飞溅以及刻蚀液
(200)
的向上挥发
。3.
根据权利要求2所述的
CdTe
电池阳面刻蚀装置，其特征在于，第一均流板
(412)
的下表面与第一散风嘴
(411)
的下端面齐平；第一散风均流单元
(41)
还包括第二均流板
(413)
，第二均流板
(413)
定位在第一散风嘴
(411)
中，第二均流板
(413)
的周侧固定于第一散风嘴
(411)
的内壁，第二均流板
(413)
与第一均流板
(412)
在上下方向
(D1)
上间隔开并位于第一均流板
(412)
的上方，第二均流板
(413)
的上表面低于第一散风嘴
(411)
的上端面，第二均流板
(413)
均匀分布有沿上下方向
(D1)
贯通的多个直径相同的第二通孔
(413a)
，第二通孔
(413a)
的直径小于第一通孔
(412a)
的直径，第二通孔
(413a)
的数量多于第一通孔
(412a)
的数量
。
4.
根据权利要求3所述的
CdTe
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘振新，黄周师，屈新成，何坤鹏，
申请(专利权)人：江苏先导微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：