【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空镀膜，尤其涉及一种视窗遮挡结构与镀膜设备。
技术介绍
1、在真空镀膜设备上，为了方便查看腔体内的镀膜情况，腔体上一般设置有多个视窗。在镀膜过程中，视窗容易被镀膜材料腐蚀和雾化。
2、为了保护视窗，现有的设备一般是在视窗上安装一个可以开合的遮挡结构；现有的遮挡结构需要在每个视窗上均进行安装，在视窗数量较多的设备上，成本也随之增加。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的是提供一种双视窗遮挡结构与镀膜设备，用于解决现有真空镀膜设备上的视窗遮挡结构成本较高的问题。
2、为达到上述技术目的，本申请第一方面提供一种视窗遮挡结构，包括：遮挡片；
3、所述遮挡片包括：转轴部与多个遮挡部；
4、所述转轴部用于转动连接腔体；
5、多个所述遮挡部连接所述转轴部，并绕所述转轴部圆周分布。
6、进一步地，所述遮挡片还包括：手摇柄；
7、所述手摇柄固定连接所述转轴部，用于带动所述遮挡片绕所述转轴部的轴心线转动。
8、进一步地，所述转轴部为磁流体旋转轴。
9、进一步地，所述遮挡部绕所述转轴部中心对称且圆周均匀分布。
10、本申请第二方面提供一种镀膜设备，包括：腔体与上述任一项所述的遮挡片；
11、所述腔体上设置有：转动位与多个视窗；
12、多个所述视窗绕所述转动位圆周分布；
13、所述遮挡片的转轴部可转动设置于所述转动位上，以带动所述遮挡片
14、进一步地，所述腔体包括两个所述视窗；
15、所述遮挡片包括两个所述遮挡部。
16、进一步地，所述视窗与所述腔体接触的端面上设置有第一密封圈。
17、进一步地，所述转轴部与所述转动位之间设置有第二密封圈。
18、进一步地，所述转轴部通过过渡连接套连接所述转动位。
19、进一步地，所述视窗通过螺栓可拆卸连接所述腔体。
20、从以上技术方案可以看出，本申请提供一种视窗遮挡结构与镀膜设备，该视窗遮挡结构包括：遮挡片；所述遮挡片包括：转轴部与多个遮挡部；所述转轴部用于转动连接腔体；多个所述遮挡部连接所述转轴部，并绕所述转轴部圆周分布。通过带动遮挡片转动，可以带动遮挡部同时遮挡腔体上的多个视窗，相比于现有的为视窗一一对应设置遮挡结构的方式，可以有效降低成本，解决现有真空镀膜设备上的视窗遮挡结构成本较高的问题。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种视窗遮挡结构，其特征在于，包括：遮挡片(1)；
2.根据权利要求1所述的视窗遮挡结构，其特征在于，所述遮挡片(1)还包括：手摇柄(13)；
3.根据权利要求1所述的视窗遮挡结构，其特征在于，所述转轴部(11)为磁流体旋转轴。
4.根据权利要求1所述的视窗遮挡结构，其特征在于，所述遮挡部(12)绕所述转轴部(11)中心对称且圆周均匀分布。
5.一种镀膜设备，其特征在于，包括：腔体(2)与权利要求1-4任一项所述的遮挡片(1)；
6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述腔体(2)包括两个所述视窗(22)；
7.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述视窗(22)与所述腔体(2)接触的端面上设置有第一密封圈(31)。
8.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述转轴部(11)与所述转动位(21)之间设置有第二密封圈(32)。
9.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在于，所述转轴部(11)通过过渡连接套(14)连接所述转动位(21)。
10.根据权利
...【技术特征摘要】
1.一种视窗遮挡结构，其特征在于，包括：遮挡片(1)；
2.根据权利要求1所述的视窗遮挡结构，其特征在于，所述遮挡片(1)还包括：手摇柄(13)；
3.根据权利要求1所述的视窗遮挡结构，其特征在于，所述转轴部(11)为磁流体旋转轴。
4.根据权利要求1所述的视窗遮挡结构，其特征在于，所述遮挡部(12)绕所述转轴部(11)中心对称且圆周均匀分布。
5.一种镀膜设备，其特征在于，包括：腔体(2)与权利要求1-4任一项所述的遮挡片(1)；
6.根据权利要求5所述的镀膜设备，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：苗江涛，张凯敏，陈乾，
申请(专利权)人：江苏先导微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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