风冷长晶设备制造技术

本实用新型专利技术的实施例提供一种风冷长晶设备，涉及长晶设备技术领域

【技术实现步骤摘要】
风冷长晶设备


[0001]本技术涉及长晶设备
，具体而言，涉及一种风冷长晶设备
。

技术介绍

[0002]目前的
SiC
长晶设备均采用工艺冷却水为冷源，即在工艺腔体上布置冷却水管，在工艺腔体需要冷却的时候，控制冷却水在冷却水管中循环，实现对工艺腔体的冷却
。
但是，在实际冷却过程中，如果出现水源或水泵的电源受到节制或中断，都会导致给生产和长晶设备带来很大负面影响，同时，水源或水泵的电源受到节制或中断存在不可控因素，工作人员难以完全掌控和避免
。
[0003]因此，如何避免水源或水泵的电源受到节制或中断而造成的负面影响，保证生产和长晶设备的安全，这是目前急需解决的技术问题
。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种风冷长晶设备，其能够在水源或水泵的电源受到节制或中断的情况下，利用空气对工艺腔体内进行风冷，保证生产和长晶设备的安全
。
[0005]本技术的实施例是这样实现的：
[0006]本技术实施例提供一种风冷长晶设备，风冷长晶设备包括工艺腔体
、
鼓风机
、
进气阀
、
第一出气阀和压力计；
[0007]工艺腔体上开设有进气口和第一出气口，鼓风机
、
进气阀和进气口通过气管依次连通，第一出气口
、
第一出气阀和压力计通过气管依次连通；
[0008]其中，鼓风机用于向工艺腔体内输入空气
、
以对工艺腔体内进行风冷，第一出气阀用于排出工艺腔体内的空气
。
[0009]本技术实施例提供的风冷长晶设备的有益效果包括：
[0010]在水源或水泵的电源受到节制或中断的情况下，无法利用冷却水对工艺腔体进行冷却，本实施例提供的风冷长晶设备还可以利用鼓风机将空气输入工艺腔体内部，利用空气对工艺腔体内进行风冷，并利用第一出气阀将工艺腔体内的过量空气排出，保证生产和长晶设备的安全
。
[0011]在可选的实施方式中，鼓风机为手动风机或带蓄电池的风机
。
[0012]这样，鼓风机无需外部电源即可工作，即使在风冷长晶设备全面断电的情况下，操作人员也可以操作鼓风机对工艺腔体进行风冷
。
[0013]在可选的实施方式中，进气口和第一出气口分别位于工艺腔体的相对两侧
。
[0014]在可选的实施方式中，进气口和第一出气口分别位于工艺腔体的上下两端
。
[0015]这样，进气口与第一出气口的距离最大化，可以使进入工艺腔体内的空气充分流经工艺腔体内的空间，充分利用空气的冷却效果
。
[0016]在可选的实施方式中，风冷长晶设备还包括温度计，温度计安装在工艺腔体上，温度计用于监测工艺腔体内的温度
。
[0017]这样，通过实时监测工艺腔体内的温度，可以灵活
、
恰当地控制鼓风机向工艺腔体内输入空气的速率，例如工艺腔体内温度过高时，提高鼓风机的速率，工艺腔体内温度降低到合适范围后，降低鼓风机的速率
。
[0018]在可选的实施方式中，工艺腔体上还开设有第二出气口，风冷长晶设备还包括第二出气阀，第二出气口
、
第二出气阀和压力计通过气管依次连通
。
[0019]这样，在工艺腔体内温度过高
、
鼓风机输入空气的速率较高的情况下，第一出气阀的出气效率不够，可以再开启第二出气阀，提高工艺腔体排气的效率；或者，在第一出气阀损坏的情况下，可以替换为第二出气阀为工艺腔体排气，避免工艺腔体内气压过高
、
冷空气无法进入的情况
。
[0020]在可选的实施方式中，风冷长晶设备还包括抽风机，抽风机通过气管连接到压力计
。
[0021]这样，在工艺腔体上已有的排气设施的排气效率不够时，可以启动抽风机高效抽出工艺腔体内的空气，保证风冷长晶设备维持高效冷却
。
[0022]在可选的实施方式中，风冷长晶设备还包括控制器，控制器与温度计
、
压力计和鼓风机电连接
。
[0023]这样，可以在控制器中嵌入控制程序，使控制器根据温度计测得的温度和压力计测得的压力值，灵活控制鼓风机的功率
。
[0024]在可选的实施方式中，工艺腔体上还开设有进水口和出水口，风冷长晶设备还包括水泵
、
进水阀和出水阀，水泵
、
进水阀和进水口通过水管依次连通，出水口
、
出水阀通过水管连通
。
[0025]这样，本实施例提供的风冷长晶设备在增设风冷系统的基础上，还保留水冷系统，多种冷却系统协同作用对工艺腔体进行冷却，保证工艺腔体获得长期稳定的冷却效果
。
[0026]在可选的实施方式中，风冷长晶设备还包括坩埚
、
坩埚托
、
转轴和加热器，转轴贯穿工艺腔体的侧壁，坩埚托连接在转轴的顶端
、
且位于工艺腔体内部，坩埚设置在坩埚托上，加热器设置在坩埚的相对两侧
。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图
。
[0028]图1为本技术第一实施例提供的风冷长晶设备的结构示意图；
[0029]图2为本技术第二实施例提供的风冷长晶设备的结构示意图
。
[0030]图标：
100
‑
风冷长晶设备；1‑
工艺腔体；2‑
鼓风机；3‑
进气阀；4‑
第一出气阀；5‑
压力计；6‑
温度计；7‑
水泵；8‑
进水阀；9‑
出水阀；
10
‑
坩埚；
11
‑
坩埚托；
12
‑
转轴；
13
‑
加热器；
14
‑
第二出气阀；
15
‑
抽风机
。
具体实施方式
[0031]为使本技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新
型实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计
。
[0032]因此，以下对在附图中提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种风冷长晶设备，其特征在于，所述风冷长晶设备包括工艺腔体
(1)、
鼓风机
(2)、
进气阀
(3)、
第一出气阀
(4)
和压力计
(5)
；所述工艺腔体
(1)
上开设有进气口和第一出气口，所述鼓风机
(2)、
所述进气阀
(3)
和所述进气口通过气管依次连通，所述第一出气口
、
所述第一出气阀
(4)
和所述压力计
(5)
通过气管依次连通；其中，所述鼓风机
(2)
用于向所述工艺腔体
(1)
内输入空气
、
以对所述工艺腔体
(1)
内进行风冷，所述第一出气阀
(4)
用于排出所述工艺腔体
(1)
内的空气
。2.
根据权利要求1所述的风冷长晶设备，其特征在于，所述鼓风机
(2)
为手动风机或带蓄电池的风机
。3.
根据权利要求1所述的风冷长晶设备，其特征在于，所述进气口和所述第一出气口分别位于所述工艺腔体
(1)
的相对两侧
。4.
根据权利要求3所述的风冷长晶设备，其特征在于，所述进气口和所述第一出气口分别位于所述工艺腔体
(1)
的上下两端
。5.
根据权利要求1所述的风冷长晶设备，其特征在于，所述风冷长晶设备还包括温度计
(6)
，所述温度计
(6)
安装在所述工艺腔体
(1)
上，所述温度计
(6)
用于监测所述工艺腔体
(1)
内的温度
。6.
根据权利要求1所述的风冷长晶设备，其特征在于，所述工艺腔体
(1)
上还开设有第二出气口，所述风冷长晶设备还包括第二出气阀
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李书文，王奇缘，罗鸿，
申请(专利权)人：通威微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：