一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置制造方法及图纸

技术编号:39533515 阅读:16 留言:0更新日期:2023-11-30 15:19
本实用新型专利技术公开了一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置,包括长方体的盒体(1),盒体(1)的上部设为开口,其内设有一组晶棒防护装置(2),每个晶棒防护装置(2)包括一对挂板(21),挂板(21)连于盒体(1)内壁上且两面挂板(21)的下端之间连有一对条状结构的支撑硅胶(22),支撑硅胶(22)的上方设有一对水平的导向杆(23);两根导向杆(23)上连接一面倾斜的挡板(24),挡板(24)的底部设于支撑硅胶(22)上,挡板(24)上设有一对通孔,导向杆(23)穿过对应侧的通孔。本实用新型专利技术的优点是有效减少硅片与箱底的接触面积,避免箱体底部有硅渣导致的磕碰风险,保证晶棒的品质,节约用水。节约用水。节约用水。

【技术实现步骤摘要】
一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置


[0001]本技术涉及单晶生产
,尤其涉及一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置。

技术介绍

[0002]在单晶棒粘棒完成后,会有大量的胶体附着在单晶硅棒表面,需要对晶棒进行脱胶处理,脱胶处理后的晶棒需要放置在特定位置,等待后续加工生产工序。
[0003]但是,目前的单晶放置装置一般为普通箱体,脱胶后晶棒直接接触箱体的底部,箱体底部有碎片无法隔离,导致晶棒与碎片直接接触,二者相互磕碰,会对硅片边缘造成不良影响,即会产生亮硅崩边,因此经常需要每刀换水清洗水箱,且在运输过程中会发生碰撞,导致表面参差不齐,破坏硅片的品质。
[0004]中国专利号CN217256218U公开了一种脱胶晶棒放置装置,但是此装置无法根据晶棒大小进行适应性空间调整,且适用于较大晶棒规格,若小规格晶棒堆叠在此盒体中,空间上无法限位,在运输中很可能造成晶棒松散,从而带来不良率的上升。

技术实现思路

[0005]本技术目的就是为了解决现有脱胶后晶棒放置易产生表面损坏导致品质差、运输中易松散的问题,提供了一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置,可以有效减少硅片与箱底的接触面积,避免箱体底部有硅渣导致的磕碰风险,防止运输松散导致的不良,保证晶棒的品质,节约用水。
[0006]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0007]一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置,包括长方体的盒体,盒体的上部设为开口,盒体内设有一组晶棒防护装置,每个晶棒防护装置包括一对挂板,挂板连于盒体内壁上且两面挂板的下端之间连有一对条状结构的支撑硅胶,支撑硅胶的上方设有一对水平的导向杆,以便于将晶棒置于支撑硅胶上;
[0008]两根导向杆上连接一面倾斜的挡板,挡板的底部设于支撑硅胶上,挡板上设有一对通孔,导向杆穿过对应侧的通孔,以便于将挡板固定在导向杆上。
[0009]进一步地,所述挂板为一面平行于盒体侧壁的竖直板,挂板的上端向外侧弯折形成挂钩槽,挂钩槽正好卡在盒体的上部,挂板的下端向内侧弯折形成水平的支撑板,支撑硅胶连于两块支撑板上。
[0010]进一步地,所述支撑硅胶设于盒体的底部,且其沿着平行于盒体短边的方向设置。
[0011]进一步地,所述导向杆为圆柱形硅胶丝杆,以用于防止硅片在运输过程中松散导致不良。
[0012]进一步地,所述支撑硅胶平行于导向杆设置,且支撑硅胶和导向杆分别以挂板的轴线为中线左右对称设置。
[0013]进一步地,所述挡板倾斜设置,且其与竖直方向的夹角α为5
°
~15
°

[0014]与现有技术相比,本技术的技术方案的优点具体在于:
[0015](1)本技术的支撑硅胶可以对晶棒进行支撑,减少了晶棒与盒体底部的接触面积,避免晶棒直接接触盒体底部造成的表面受损;
[0016](2)原有每刀需要换水,本技术的装置无需刀刀换水,节约了能耗,减少了用水量;
[0017](3)本技术采用圆形硅胶丝杆,防止了硅片在运输过程中松散导致不良,保证了晶棒的品质;
[0018](4)本技术的工装两侧设有斜坡,放置晶棒时贴合斜坡放置,可以有效防止硅片腾空受力导致的不良;
[0019](5)本技术的装置节约用水,提升了硅棒品质,提高了晶棒收纳的安全性和防护等级。
附图说明
[0020]图1为本技术的用于脱胶后晶棒放置的防护装置立体图;
[0021]图2为本技术的用于脱胶后晶棒放置的防护装置俯视图;
[0022]图3为本技术的用于脱胶后晶棒放置的防护装置侧视图;
[0023]图4为本技术的晶棒防护装置立体图;
[0024]图5为本技术的晶棒防护装置正视图;
[0025]图6为本技术的晶棒防护装置侧视图。
具体实施方式实施例
[0026]为使本技术更加清楚明白,下面结合附图对本技术的一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置进一步说明,此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术,并不用于限定本技术。
[0027]参见图1,一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置,包括长方体的盒体1,盒体1的上部设为开口,其特征在于:
[0028]参见图1、图3、图4和图5,盒体1内设有一组晶棒防护装置2,每个晶棒防护装置2包括一对挂板21,挂板21为一面平行于盒体侧壁的竖直板,挂板21的上端向外侧弯折形成挂钩槽211,挂钩槽211正好卡在盒体1的上部,挂板21的下端向内侧弯折形成水平的支撑板212;
[0029]参见图1、图2、图3、图4和图5,挂板21连于盒体1内壁上且两面挂板21的下端之间连有一对条状结构的支撑硅胶22,支撑硅胶22设于盒体1的底部,且其沿着平行于盒体1短边的方向设置;
[0030]支撑硅胶22的上方设有一对水平的导向杆23,导向杆23为圆柱形硅胶丝杆,支撑硅胶22平行于导向杆23设置,且支撑硅胶22和导向杆23分别以挂板21的轴线为中线左右对称设置,以便于将晶棒置于支撑硅胶上;
[0031]参见图1、图4~图6,两根导向杆23上连接一面倾斜的挡板24,其与竖直方向的夹角
α为10
°
,挡板24的底部设于支撑硅胶22上,挡板24上设有一对通孔,导向杆23穿过对应侧的通孔,以便于将挡板固定在导向杆上。
[0032]本技术的装置可以通过硅胶对晶棒进行支撑,减少晶棒与盒体底部的接触面积;相比于传统每刀换水而言,本技术的装置无需刀刀换水,节约能耗;此外,圆形硅胶丝杆可以有效防止硅片在运输过程中松散导致不良;同时倾斜的挡板也可以使放置晶棒时贴合斜坡放置,防止硅片腾空受力导致不良,保证硅棒的品质。
[0033]除上述实施例外,本技术还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案,均落在本技术要求的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于脱胶后晶棒放置的防护装置,包括长方体的盒体(1),盒体(1)的上部设为开口,其特征在于:盒体(1)内设有一组晶棒防护装置(2),每个晶棒防护装置(2)包括一对挂板(21),挂板(21)连于盒体(1)内壁上且两面挂板(21)的下端之间连有一对条状结构的支撑硅胶(22),支撑硅胶(22)的上方设有一对水平的导向杆(23);两根导向杆(23)上连接一面倾斜的挡板(24),挡板(24)的底部设于支撑硅胶(22)上,挡板(24)上设有一对通孔,导向杆(23)穿过对应侧的通孔。2.根据权利要求1所述的用于脱胶后晶棒放置的防护装置,其特征在于:所述挂板(21)为一面平行于盒体(1)侧壁的竖直板,挂板(21)的上端向外侧弯折形成挂钩槽(211),挂钩槽(211)正好卡在盒体(1)的上部,挂板(21)的下端向内侧弯折形成...

【专利技术属性】
技术研发人员:王辉张菁王艺澄冯琰
申请(专利权)人:江苏美科太阳能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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