【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片花篮，具体涉及一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮。
技术介绍
1、硅片花篮，又称为晶圆花篮，是用于存储和运输半导体生产过程中的薄片（晶圆）的专用容器。在半导体生产中，晶圆的干净和完整性对产品质量至关重要。硅片花篮的目的就是保证晶圆在生产过程中不会受到损害或污染，硅片花篮通常采用聚丙烯材料制成，这种材料具有优异的耐化学腐蚀性、机械强度和温度稳定性。
2、现有的花篮只能承载一种规格的硅片，当需要更换其他尺寸的硅片时需要对花篮上下两面重新开孔再进行点焊固定。这个过程中对孔洞距离测量以及开孔人员技术要求高，容易出错，因此需要不断调整打孔位置，反复确认。这个过程花费时间长，容易导致底座报废，从而增加成本。
技术实现思路
1、本技术针对上述问题，提出一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮。
2、本技术涉及了一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮，包括花篮底座、花篮侧板、固定金属杆、凹槽滑轨和固定螺孔。花篮底座共两个分别位于装置的两端，花篮侧板位于两端的花篮底座之间，...
【技术保护点】
1.一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮，包括花篮底座、花篮侧板、固定金属杆、凹槽滑轨和固定螺孔，花篮底座共两个分别位于装置的两端，花篮侧板位于两端的花篮底座之间，底座的两侧均设置两个花篮侧板，其特征在于：花篮侧板的两端设有定位螺孔，固定金属杆设置在花篮底座的底部与两侧，并且连接两端的花篮底座，花篮底座两侧上位于固定金属杆外侧的部分开有两个凹槽滑轨。
2.根据权利要求1所述的一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮，其特征在于：所述凹槽滑轨为外宽内窄的形状，并且长度为210mm。
3.根据权利要求1所述的一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮，其特征...
【技术特征摘要】
1.一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮，包括花篮底座、花篮侧板、固定金属杆、凹槽滑轨和固定螺孔，花篮底座共两个分别位于装置的两端，花篮侧板位于两端的花篮底座之间，底座的两侧均设置两个花篮侧板，其特征在于：花篮侧板的两端设有定位螺孔，固定金属杆设置在花篮底座的底部与两侧，并且连接两端的花篮底座，花篮底座两侧上位于固定金属杆外侧的部分开有两个凹槽滑轨。
2.根据权利要求1所述的一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮，其特征在于：所述凹槽滑轨为外宽内窄的形状，并且长度为210mm。
3.根据权利要求1所述的一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮，其特征在于：所述凹槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：田浩，蔡剑，王艺澄，冯琰，
申请(专利权)人：江苏美科太阳能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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