下载一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮的技术资料

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本技术涉及一种适用于不同尺寸的硅片的可变轴花篮,包括花篮底座、花篮侧板、固定金属杆、凹槽滑轨和固定螺孔。花篮底座共两个分别位于装置的两端,花篮侧板位于两端的花篮底座之间,每侧设置两个花篮侧板,花篮侧板的两端设有定位螺孔,固定金属杆设置在花篮...
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